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公开(公告)号：CN116636141A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202280008025.9
申请日：2022-01-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够在提高材料的自由度的同时，抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备包括压电体层(6)的压电性基板(2)、设置在压电性基板(2)上并且具有多个电极指的IDT电极(8)以及设置在压电性基板(2)与IDT电极(8)之间的电介质膜(7)。在IDT电极(8)中，在从弹性波传播方向观察时，相邻的电极指重合的区域是交叉区域(A)。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，交叉区域(A)包括中央区域(C)和配置为在电极指延伸方向上夹着中央区域(C)的第1区域(E1)及第2区域(E2)。电介质膜(7)的介电常数以及密度低于压电体层(6)的介电常数以及密度。在俯视下，电介质膜(7)设置在与中央区域(C)重叠的部分，并且未设置在与第1区域(E1)及第2区域(E2)重叠的部分。
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公开(公告)号：CN109698681B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201811213199.0
申请日：2018-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 本发明提供一种使用层叠型基板且传播损耗小的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：层叠型基板(2)，具有压电膜(5)、低声速材料层(4)、以及高声速材料层(3)，层叠型基板(2)的倒速度面为凸；以及IDT电极(6)，设置在压电膜(5)上，在IDT电极(6)中，第一电极指(13)的前端与第二汇流条(12)之间的第一间隙以及第二电极指(14)的前端与第一汇流条(11)之间的第二间隙的间隙长度为0.23λ以下，该间隙长度是第一间隙以及第二间隙沿着第一电极指(13)以及第二电极指(14)延伸的方向的尺寸。
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公开(公告)号：CN111164891B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201880063442.7
申请日：2018-09-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 多工器(1)的第一滤波器(11)具有由多个弹性波谐振器(110)构成的梯型滤波器构造。通过将各谐振器(110)具有的一对梳齿状电极(32a、32b)中的一个梳齿状电极(32a)包含的多个电极指(322a)的另一端(e2)彼此连结而得到的假想线(L1)与作为沿着弹性波传播方向(D1)的直线的基准线(L0)交叉。将第一串联谐振器(111s)的假想线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第一倾斜角(α1)，将并联谐振器(111p)的假想线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第二倾斜角(α2)，将弹性波谐振器(112s～114s、113p、114p)的假想线(L1)和基准线(L0)所成的角度设为第三倾斜角(α3)，在该情况下，第一倾斜角(α1)和第二倾斜角(α2)中的至少一者比第三倾斜角(α3)大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115668768A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180037473.7
申请日：2021-05-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够有效地抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和IDT电极(3A～3C)。IDT电极(3A～3C)包括电极指间距相对宽的第一间距部(E)和相对窄的第二间距部(F)。中央区域(B)位于多个电极指延伸的方向上的中央侧，第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)位于中央区域(B)的两侧。在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)设置有多个质量附加膜。多个质量附加膜包括配置于第一间距部(E)的多个第一质量附加膜(9a)和配置于第二间距部(F)的多个第二质量附加膜(9b)。第一质量附加膜(9a)的沿着弹性波传播方向的长度比第二质量附加膜(9b)的沿着弹性波传播方向的长度长。
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公开(公告)号：CN115485973A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180028743.8
申请日：2021-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供损耗小的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电性基板(2)上设置有IDT电极(6)及反射器电极(7、8)，IDT电极(6)的第一电极指(6c)与第二电极指(6d)在弹性波传播方向上重叠的区域为交叉区域(K)，交叉区域(K)具有中央区域(C)、以及位于中央区域(C)的两侧的第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)，电介质膜(9、10)配置为从第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)经过反射器电极(7、8)而到达反射器电极(7、8)的弹性波传播方向外侧的区域。
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公开(公告)号：CN115428337A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180027856.6
申请日：2021-04-12
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供能够在宽频带中抑制高次模式等不需要的波的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备硅基板(2)、设置在硅基板(2)上的第一高声速膜(3)、设置在第一高声速膜(3)上的第一低声速膜(4)、设置在第一低声速膜(4)上的第二低声速膜(5)、设置在第二低声速膜(5)上的第二高声速膜(6)、设置在第二高声速膜(6)上的压电膜(7)及设置在压电膜(7)上的IDT电极(8)。在第一高声速膜(3)传播的体波的声速以及在第二高声速膜(6)传播的体波的声速比在压电膜(7)传播的弹性波的声速高。在第一低声速膜(4)传播的体波的声速以及在第二低声速膜(5)传播的体波的声速比在压电膜(7)传播的体波的声速低。第一低声速膜(4)的材料与第二低声速膜(5)的材料不同。
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公开(公告)号：CN113632376A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080023206.X
申请日：2020-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够提高Q特性的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，依次层叠有能量封闭层(3)、使用了切割角为‑10°以上且65°以下的Y切割X传播的钽酸锂的压电体层(7)以及IDT电极(8)。IDT电极(8)的多个电极指包含层叠体，该层叠体具有Al金属层(15)和杨氏模量为200GPa以上且声阻抗比Al高的高声阻抗金属层(14)。高声阻抗金属层(14)位于比Al金属层(15)更靠压电体层(7)侧。通过由电极指间距规定的波长λ，压电体层(7)的波长相对膜厚tLT可用tLT≤1λ来表示。关于通过Al金属层(15)的密度以及杨氏模量对电极指的各层的膜厚进行了归一化的各归一化膜厚的合计T，满足下述的式1。T≤0.1125tLT+0.0574…式1。
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公开(公告)号：CN107534428B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201680022470.5
申请日：2016-04-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种难以产生纹波的弹性波装置。在压电基板(2)上设置有IDT电极(3)。在IDT电极(3)中，多根第一电极指(13)和多根第二电极指(14)相互交叉插入。在弹性波传播方向上观察时多根第一电极指(13)和多根第二电极指(14)重合的区域为激励区域。在该激励区域的中央部的两侧构成有声速比中央部降低的边缘部。第一汇流条(11)以及第二汇流条(12)具有内侧汇流条部(11A、12A)、中央汇流条部(11B、12B)以及外侧汇流条部(11C、12C)。设置有从内侧汇流条部(11A、12A)朝向第二电极指(14)或第一电极指(13)的前端延伸的第一偏移电极指(17)、第二偏移电极指(18)。
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