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公开(公告)号:CN1440222A
公开(公告)日:2003-09-03
申请号:CN03121782.6
申请日:2003-01-31
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/56 , H01L51/001 , H01L51/005 , H01L51/0059 , H01L51/0078 , H01L51/0081 , H01L51/0084 , H01L51/56
Abstract: 提供了一种能够提高发光器件的可靠性和亮度的制造系统,它使用很高纯度的蒸发用的EL材料。该系统还能有效使用EL材料代替玻璃瓶,使用放入蒸发装置中的容器(第一容器11a),并且材料制造商(18)直接在容器中存储EL材料(12),或者通过升华来提纯和存储。容器然后输送到发光器件制造者(19)处进行蒸发。用该制造系统,可以防止杂质污染高纯度的EL材料。该系统还消除了从玻璃瓶给容器输送EL材料的麻烦。该容器可以由材料制造商回收,并且剩余在容器中的EL材料可以被收集,由制造系统重复使用。
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公开(公告)号:CN1434668A
公开(公告)日:2003-08-06
申请号:CN03103108.0
申请日:2003-01-24
Applicant: 株式会社半导体能源研究所
IPC: H05B33/12 , H01L21/335 , H01L27/15
CPC classification number: H01L27/3248 , H01L27/3211 , H01L27/3216 , H01L27/322 , H01L27/3246 , H01L27/3272 , H01L27/3276 , H01L27/3279 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L51/5253 , H01L2251/5315 , Y10S257/929
Abstract: 提供一种具有高清晰度、大屏幕的象素部分的高可靠性的发光器件。根据本发明的发光器件,在提供在象素电极之间的绝缘体(24)上形成由金属膜制成的辅助电极(21),因而可以制造低电阻和很薄的导电层(20),该导电层与辅助电极接触由透明导电膜制成。此外,利用辅助电极(21)以获得与下层上的电极的连接,因而可以用在EL层上形成的透明导电膜将该电极引出。此外,形成由叠置形成的含有氢的薄膜和氮化硅膜的保护膜(32),由此获得高可靠性。
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