传感装置
    52.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106662477B

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201580041838.8

    申请日:2015-07-01

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种降低了因作用在物理量传感器的传感元件上的应力而产生的误差的、高精度、高可靠性的物理量传感器。本发明的物理量传感装置包括形成在Si基板上的空腔部、将所述空腔部覆盖的绝缘膜和形成于所述绝缘膜的加热部,并且包括检测所述空腔部上的绝缘膜的温度的检测元件,所述检测元件包括第一硅元件和第二硅元件,所述第一硅元件和所述第二硅元件使用不同种类的杂质进行了掺杂。

    流量计
    55.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103649694B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201180072233.7

    申请日:2011-07-13

    CPC classification number: G01F1/34 G01F1/6845 G01F1/692 H01L2224/48247

    Abstract: 本发明提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。该流量计包括:具有形成有发热体的隔膜的硅基板;由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜;层叠在上述硅基板上的有机保护膜;和覆盖上述硅基板的模压树脂,其中,上述隔膜具有从上述有机保护膜露出的露出部,上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜,在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。

    气体传感器
    56.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105074442A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201480015719.0

    申请日:2014-01-14

    CPC classification number: G01N25/00 G01N25/18 G01N33/005

    Abstract: 为了防止因在传感器元件上附着了液体的状态下进行启动造成的传感器元件的恶化、故障,并且为了短时间且低消耗功率地去除液体,气体传感器具备:第一发热体、在上述第一发热体的周围比形成上述第一发热体的面积大地形成的第二发热体,通过将上述第一发热体加热到预定的温度来测量气体的量,在该气体传感器中,在上述气体传感器启动时,加热上述第二发热体,在预定期间内限制上述第一发热体的发热量后,使上述第一发热体上升到上述预定的温度。

    热式流量传感器
    57.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102620781B

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201210019301.X

    申请日:2012-01-20

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F1/692 G01F1/698

    Abstract: 提供一种实现稳定的启动特性和传感器元件的劣化抑制,具有还可应对发热体的进一步小型化的发热体温度控制单元的热式流量传感器。具有:半导体基板;在半导体基板设置的空洞部;在半导体基板上以覆盖空洞部的方式设置的绝缘膜;由绝缘膜覆盖空洞部而形成的薄膜区域;在绝缘膜上的薄膜区域设置的发热电阻体;设置在绝缘膜上的薄膜区域上且电阻值根据温度而变化的第1感温电阻体;基于第1感温电阻体温度来控制发热电阻体温度的发热控制单元;设置在发热电阻体的附近且电阻值根据温度而变化的第2感温电阻体;和基于第2感温电阻体温度来检测流体流量的流量检测单元,发热控制单元基于第1感温电阻体的目标温度和保护温度,控制发热电阻体的温度。

    吸气温度传感器
    59.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102607738B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201110442664.X

    申请日:2011-12-27

    Abstract: 本发明提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。该吸气温度传感器通过插入到设置在吸气管(3)上的开口部中而将温度检测元件(6)配置在吸气管内,该吸气温度传感器构成为,温度检测元件与直接暴露于在吸气管中流动的吸气流中的散热板(4)机械地接合,且根据从所述温度检测元件得到的输出而输出吸气温度。由此,能够减少温度检测元件向吸气流的热阻,从而能够提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。

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