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公开(公告)号:CN107431042B
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN201680021557.0
申请日:2016-03-25
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: H01L21/822 , H01L27/04
Abstract: 本发明提供一种具有耐噪性高的保护电路的半导体芯片。本发明的半导体芯片具有压焊块、保护元件及内部电路,其特征在于,到达至所述压焊块和所述保护元件的路径上的金属配线的电阻值高于所述保护元件的电阻值。
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公开(公告)号:CN106662477B
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201580041838.8
申请日:2015-07-01
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提供一种降低了因作用在物理量传感器的传感元件上的应力而产生的误差的、高精度、高可靠性的物理量传感器。本发明的物理量传感装置包括形成在Si基板上的空腔部、将所述空腔部覆盖的绝缘膜和形成于所述绝缘膜的加热部,并且包括检测所述空腔部上的绝缘膜的温度的检测元件,所述检测元件包括第一硅元件和第二硅元件,所述第一硅元件和所述第二硅元件使用不同种类的杂质进行了掺杂。
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公开(公告)号:CN105393114B
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:CN201480034734.X
申请日:2014-02-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N27/18 , F02D41/18 , F02D2200/0414 , F02D2200/0418 , F02M35/1038 , F02M35/10386 , G01D11/245 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/692 , G01K13/02 , G01K2013/024 , G01K2205/04 , G01M15/102 , G01N1/2252 , G01N9/36 , G01N27/12 , G01N27/121 , G01N27/407 , G01N27/4077 , G01N33/0016
Abstract: 本发明为了提供一种不会因气体中所含的颗粒或液滴等而堵塞气体导入口,从而可长期维持测量精度的气体传感器装置,在气体传感器装置(1)的壳体(3)内形成有膨胀室(6)和测量室(5),膨胀室(6)经由吸气入口(8)与吸气通道(2)连通,测量室(5)经由连通部(7)与膨胀室(6)连通。由于具备气体导入口(8)和连通部(7)这双重的颈缩结构,并且在从气体导入口(8)到测量室(5)的路径上以两级方式设有容积扩大的区域,因此测量室(5)内的空气流动降低。因此,可增大气体导入口(8)的容积而制成不会因颗粒或液滴等而堵塞气体导入口的结构。
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公开(公告)号:CN104081169B
公开(公告)日:2016-10-19
申请号:CN201280066660.9
申请日:2012-01-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01F1/696 , G01F5/00 , G01F15/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种高精度的流量计测装置,其包括:将在主通路中流动的流体的一部分取入的副通路;计测在上述通路内流动的流体的温度的第一测温单元;计测在上述副通路内流动的流体的温度的第二测温单元;检测在上述副通路内流动的流体的流量的检测单元;和基于上述第一测温单元的输出和上述第二测温单元的输出以及上述检测单元的输出,测定在上述主通路内流动的流体的流量的测定单元。
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公开(公告)号:CN103649694B
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201180072233.7
申请日:2011-07-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2224/48247
Abstract: 本发明提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。该流量计包括:具有形成有发热体的隔膜的硅基板;由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜;层叠在上述硅基板上的有机保护膜;和覆盖上述硅基板的模压树脂,其中,上述隔膜具有从上述有机保护膜露出的露出部,上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜,在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。
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公开(公告)号:CN105074442A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201480015719.0
申请日:2014-01-14
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01N25/18
CPC classification number: G01N25/00 , G01N25/18 , G01N33/005
Abstract: 为了防止因在传感器元件上附着了液体的状态下进行启动造成的传感器元件的恶化、故障,并且为了短时间且低消耗功率地去除液体,气体传感器具备:第一发热体、在上述第一发热体的周围比形成上述第一发热体的面积大地形成的第二发热体,通过将上述第一发热体加热到预定的温度来测量气体的量,在该气体传感器中,在上述气体传感器启动时,加热上述第二发热体,在预定期间内限制上述第一发热体的发热量后,使上述第一发热体上升到上述预定的温度。
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公开(公告)号:CN102620781B
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201210019301.X
申请日:2012-01-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/698
Abstract: 提供一种实现稳定的启动特性和传感器元件的劣化抑制,具有还可应对发热体的进一步小型化的发热体温度控制单元的热式流量传感器。具有:半导体基板;在半导体基板设置的空洞部;在半导体基板上以覆盖空洞部的方式设置的绝缘膜;由绝缘膜覆盖空洞部而形成的薄膜区域;在绝缘膜上的薄膜区域设置的发热电阻体;设置在绝缘膜上的薄膜区域上且电阻值根据温度而变化的第1感温电阻体;基于第1感温电阻体温度来控制发热电阻体温度的发热控制单元;设置在发热电阻体的附近且电阻值根据温度而变化的第2感温电阻体;和基于第2感温电阻体温度来检测流体流量的流量检测单元,发热控制单元基于第1感温电阻体的目标温度和保护温度,控制发热电阻体的温度。
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公开(公告)号:CN104395709A
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201380034250.0
申请日:2013-06-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , B81B7/0016 , B81C1/00825 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01P5/12 , H01L21/565 , H01L28/20 , H01L2224/05553 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/49171 , H01L2924/10158 , H01L2924/181 , H01L2924/1815 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于在进行使半导体元件的一部分部分地露出的树脂封固的情况下,提高产品的可靠性。为了达成上述目的,本发明的热式空气流量传感器的特征在于,包括:半导体基板,其具有薄壁部、设置在上述薄壁部上的发热电阻体和设置在上述发热电阻体的上下游的测温电阻体;设置在上述半导体基板上的保护膜;和将上述半导体基板封固的树脂,上述树脂具有使包括上述薄壁部的区域部分地露出的露出部,上述保护膜设置成围绕上述发热电阻体,上述有机保护膜的外周端部比上述薄壁部靠外侧且位于上述露出部。
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公开(公告)号:CN102607738B
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN201110442664.X
申请日:2011-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/6842 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/16 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。该吸气温度传感器通过插入到设置在吸气管(3)上的开口部中而将温度检测元件(6)配置在吸气管内,该吸气温度传感器构成为,温度检测元件与直接暴露于在吸气管中流动的吸气流中的散热板(4)机械地接合,且根据从所述温度检测元件得到的输出而输出吸气温度。由此,能够减少温度检测元件向吸气流的热阻,从而能够提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。
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公开(公告)号:CN104081169A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201280066660.9
申请日:2012-01-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01F1/696 , G01F5/00 , G01F15/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种高精度的流量计测装置,其包括:将在主通路中流动的流体的一部分取入的副通路;计测在上述通路内流动的流体的温度的第一测温单元;计测在上述副通路内流动的流体的温度的第二测温单元;检测在上述副通路内流动的流体的流量的检测单元;和基于上述第一测温单元的输出和上述第二测温单元的输出以及上述检测单元的输出,测定在上述主通路内流动的流体的流量的测定单元。
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