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公开(公告)号：CN101916741B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010223281.9
申请日：2010-07-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海新傲科技股份有限公司
IPC: H01L21/762
Abstract: 本发明涉及一种绝缘体上应变硅制备方法，其特征在于将SOI的顶层硅热氧化减薄至10-30nm，然后在超薄的顶层硅上外延Si1-xGex，Si1-xGex应变层的厚度不超过其临界厚度；进行离子注入，选择合适的能量，使离子注入到埋氧和衬底硅的界面；进行退火工艺，使应变的Si1-xGex层进行弛豫，同时，顶层硅受到拉伸的应力，离子注入使得埋氧和衬底硅的界面疏松，顶层硅成为应变硅；将剩余的Si1-xGex层移除，得到所需的应变硅材料。由此可见，本发明的最大优点是通过离子注入和外延工艺，而不需要键合工艺，直接将外延SiGe材料的应力反转，直接将应力转移到绝缘体上硅的顶层硅中，从而可望大大简化绝缘体上应变硅的制备工艺。
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公开(公告)号：CN101866875B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010189313.8
申请日：2010-06-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海新傲科技股份有限公司
IPC: H01L21/762 , H01L21/20
Abstract: 本发明涉及一种制备绝缘体上锗硅(SGOI)材料的方法。首先在体硅上外延Si1-xGex/Siepi/Si1-yGey结构的多层材料，其中0＜x＜1，0＜y＜1，Si1-xGex为外延材料的上表面。控制外延的Si1-xGex和Si1-yGey薄膜的厚度，使其都小于临界厚度，以保证这两层薄膜都是完全应变的。然后使用层转移的方法将Si1-xGex/Si/Si1-yGey转移到一个SiO2/Si结构的支撑材料上，形成Si1-yGey/Si/Si1-xGex/SiO2/Si结构的多层材料。使用选择性腐蚀的方法去掉顶层的Si1-yGey，最后通过离子注入及退火，使得材料中的Si1-xGex发生弛豫，相应的顶层Si发生应变，得到Si/Si1-xGex/SiO2/Si的SGOI材料。
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公开(公告)号：CN101355024A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810038335.7
申请日：2008-05-30
Applicant: 上海新傲科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/20 , H01L21/762 , H01L21/84 , H01L21/265 , H01L21/00
Abstract: 一种带有绝缘埋层的衬底的制备方法，包括如下步骤：提供第一衬底，所述第一衬底表面具有第一晶体层；在第一晶体层表面生长第二晶体层；提供第二衬底，所述第二衬底表面具有绝缘层；以第二晶体层远离第一衬底的表面和绝缘层远离第二衬底的表面作为键合表面进行键合；除去第一衬底和第一晶体层。本发明的优点在于，采用表面生长的方法形成绝缘埋层以及表面的晶体层，因此可以在较大的范围内调整绝缘埋层以及绝缘埋层表面的晶体层的厚度，且晶体层的表面是借由用于生长该晶体层的表面转变而形成的，因此具有良好的平整度。
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公开(公告)号：CN101339816A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810041517.X
申请日：2008-08-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的二维微动平台及力学参数的测定方法，其特征在于二维微动平台的中心开孔用于安装PZT扫描管，其中在互相垂直的X和Y位置上分别有两个调节旋钮，两个调节旋钮连接两个驱动杆，两个驱动杆与PZT扫描管连接，所述的二维微动平台固定在底座上。本发明所述的二维微动平台水平方向上的移动范围为3×3平方毫米，PZT扫描管的最大扫描位移为20微米。利用经改进的二维微动平台的AFM显微镜可进行在微结构上固定点的力学参数测试，在微取逐点进行力学－位移功能测试以及微区连续弹性系数的测试，均获得很好的一致性结果。
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公开(公告)号：CN101271028A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810036215.3
申请日：2008-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及基于硅硅键合和绝缘层上硅(SOI)的压力传感器芯片及其制作方法，属于传感器芯片领域。其特征在于支撑硅片上的浅槽和导气孔都是通过各向异性腐蚀形成的，通过控制腐蚀时间获得适当的浅槽深度可以实现器件的过压保护。通过硅硅键合技术将支撑片与倒扣的SOI片键合，完成磨片和抛光后在SOI上实现梁－膜结构提高器件的灵敏度和线性度，在加工的梁上制备力敏电阻元件，采用SOI的氧化埋层解决敏感元件和弹性元件的绝缘隔离，提高器件的长期可靠性和高温环境下的适用性。本发明提出的基于键合技术的SOI高灵敏压力传感器芯片工艺可控性和重复性好，成品率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115821318B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202211575788.X
申请日：2022-12-09
Applicant: 复旦大学
IPC: C25B11/091 , C25B3/26 , C25B3/07 , C25B3/25
Abstract: 本发明属于电化学催化技术领域，具体为一种铜基催化剂、铜基催化电极及其制备方法与电化学电解装置。本发明在富CO环境中形成一种新的铜基催化剂，其除铜元素外，还含有一种原子半径较铜大的调节剂金属元素，该调节剂金属元素的原子通过金属键以原子级均相共混形式与铜晶格连接，且该调节剂金属元素的大部分分布于铜晶格表面的晶界处，形成具有富含缺陷的铜基催化剂成分，在铜表面实现强的*CO键以及高的表面*CO覆盖率，从而稳定*OCCO二聚体并促进随后的CO‑OCCOH偶联形成C3产物的效果，提高二氧化碳/一氧化碳电化学还原反应中的单一多碳产物选择性，并提高反应速率、能量转换效率及反应物转化率。
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公开(公告)号：CN119601684A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411631193.0
申请日：2024-11-15
Applicant: 复旦大学
IPC: H01M4/90 , H01M4/92 , H01M4/88 , H01M4/86 , H01M8/1004 , H01M8/1009 , G01R31/378
Abstract: 本发明属于燃料电池技术领域，具体为一种多金属串联催化剂及其制备方法和应用。本发明多金属串联催化剂由两种结构组成：一种为过渡双金属基水滑石材料，呈现片状结构；另一种为均匀分散在碳材料上的贵金属纳米颗粒，平均尺寸低于10纳米。本发明制备的串联催化剂应用于硼氢化钠电氧化反应，双金属基水滑石材料作为硼氢根吸附和初步氧化的活性位点，贵金属纳米颗粒作为硼氢根的初步氧化产物进一步氧化的活性位点。本发明作为直接燃料电池阳极催化剂不仅具有高的电子转移数，同时表现出较高的功率密度。与其它常见的催化剂相比，本发明贵金属的用量较低，制备方法简单可控，在直接硼氢化物燃料电池领域展现出了较高的应用价值。
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公开(公告)号：CN118117105A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410162636.X
申请日：2024-02-05
Applicant: 上海交通大学 , 上海工博士装备集团有限公司 , 复旦大学
Abstract: 一种高比表面积多孔碳基铂催化剂及其制备方法和应用，其中制备方法包括：将2‑氨基苯并咪唑与氯化锌混合放置于密封的石英管内，置于马弗炉中并在高温条件下进行熔融盐反应；反应结束并冷却至室温后，将所得固体研磨，采用水和乙醇洗涤，真空干燥；随后，将干燥后的材料在惰性气氛中进行高温热解处理，得到氮掺杂多孔碳；将氮掺杂多孔碳分散于水溶液中，加入铂盐和过渡金属盐的前驱体，搅拌、减压蒸馏、干燥后转移至管式炉高温煅烧，制得高比表面积多孔碳基铂催化剂。本发明催化剂中的铂合金结晶性好、粒径小、分布均匀、原子利用率高；该催化剂中不仅铂载量低，而且电催化氧还原活性优于商业70％Pt/C催化剂。
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公开(公告)号：CN117926329A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410055329.1
申请日：2024-01-15
Applicant: 复旦大学
IPC: C25B11/091 , C25B3/07 , C25B3/25 , C25B3/26
Abstract: 本发明属于电化学催化技术领域，具体为一种非金属掺杂铜/铜氧化物催化剂及其制备方法。本发明利用真空等离子体处理技术合成富含缺陷的铜基催化剂，即有非金属元素均匀掺杂于铜基催化剂表面，促进铜原子到非金属原子的局域电子转移，使铜原子呈现缺电子特征。该催化剂富含晶界、位错等缺陷，在铜表面形成丰富的表、界面应力，实现强的*CO键以及高的表面*CO覆盖率，同时缺电子的铜位点克服表面*CO吸附过强所带来的C‑C偶联能量壁垒，促进*OCCO二聚体的形成，提高随后的*CO‑*OCCOH偶联概率，提升CO电合成C3产物的效果，提高二氧化碳/一氧化碳电化学还原反应中的长碳链多碳产物选择性，并提高反应速率、能量转换效率及反应物转化率。
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公开(公告)号：CN113827448B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202111288713.9
申请日：2021-11-02
Applicant: 复旦大学
IPC: A61H1/02
Abstract: 本发明涉及医疗器械技术领域，尤其是一种协同康复训练机器人，底座上安装有升降机构，其上安装有手腕康复训练机构，用以驱动手指康复训练机构和手腕康复训练机构上下方向调节和左右方向调节，手指康复训练机构，用以穿戴在患者手部，通过牵引式的手指完成杆机构带动手指运动，手腕康复训练机构，其上安装有手指康复训练机构，并带动腕部在三个自由度上进行辅助运动，满足要求手腕康复训练要求，训练者面对训练机器人坐在座椅上，将手指和腕部放置在手指康复训练机构和手腕康复训练机构，调节升降机构和手指康复训练机构，开始进行手指、腕部协调康复训练，能够在一定程度上让患者摆脱运动范围的限制，对于患者来说是非常具有安全性的。
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