公开(公告)号：CN101339816B

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200810041517.X

申请日：2008-08-08

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 鲍海飞 ,  李昕欣 ,  张波 ,  郭久福

IPC: G12B21/22 ,  G01N13/16

Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的二维微动平台及力学参数的测定方法，其特征在于二维微动平台的中心开孔用于安装PZT扫描管，其中在互相垂直的X和Y位置上分别有两个调节旋钮，两个调节旋钮连接两个驱动杆，两个驱动杆与PZT扫描管连接，所述的二维微动平台固定在底座上。本发明所述的二维微动平台水平方向上的移动范围为3×3平方毫米，PZT扫描管的最大扫描位移为20微米。利用经改进的二维微动平台的AFM显微镜可进行在微结构上固定点的力学参数测试，在微取逐点进行力学-位移功能测试以及微区连续弹性系数的测试，均获得很好的一致性结果。

公开(公告)号：CN101339816A

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200810041517.X

申请日：2008-08-08

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 鲍海飞 ,  李昕欣 ,  张波 ,  郭久福

IPC: G12B21/22 ,  G01N13/16

Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的二维微动平台及力学参数的测定方法，其特征在于二维微动平台的中心开孔用于安装PZT扫描管，其中在互相垂直的X和Y位置上分别有两个调节旋钮，两个调节旋钮连接两个驱动杆，两个驱动杆与PZT扫描管连接，所述的二维微动平台固定在底座上。本发明所述的二维微动平台水平方向上的移动范围为3×3平方毫米，PZT扫描管的最大扫描位移为20微米。利用经改进的二维微动平台的AFM显微镜可进行在微结构上固定点的力学参数测试，在微取逐点进行力学－位移功能测试以及微区连续弹性系数的测试，均获得很好的一致性结果。