一种基于微球光学谐振增强的硅薄膜光探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104409561B

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201410578408.7

    申请日:2014-10-27

    Applicant: 复旦大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种基于微球阵列实现更强光响应的硅薄膜光探测器及其制备方法。制备方法包括在衬底上制备单层或多层单分散微球阵列作为光学谐振层;借助原子层沉积技术修饰微球阵列;通过单晶硅薄膜的制备/剥离以及转移技术在光学谐振层上形成单晶硅纳米薄膜制作光探测功能层。在制备过程中,通过对微球尺寸以及微球修饰层介电常数控制,调节光谐振层发生强光学谐振时对应的光波频率。在特定频率的光信号作用下,本发明光探测器可以比没有光学谐振层的同类器件获取更强的光响应。该探测器设计新颖,特定光波段下灵敏度高,为弱光信号的探测及传感、光通讯等领域开辟了新的前景。

    一种二维纳米薄膜锂离子电池负极材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN106207147A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610758071.7

    申请日:2016-08-30

    Applicant: 复旦大学

    CPC classification number: H01M4/483 B82Y40/00 H01M4/1391 H01M10/0525

    Abstract: 本发明属于电化学技术领域,具体为一种二维纳米薄膜锂离子电池负极材料及其制备方法。本发明通过制备TiO2二维纳米结构来解决TiO2负极材料在大电流充放电时容量急剧衰减和稳定性差的问题。本发明制备步骤为:首先利用原子层沉积的方法在海绵上生长TiO2纳米薄膜;达到沉积次数后将包覆有TiO2纳米薄膜的海绵进行热处理除去海绵得到TiO2二维纳米薄膜,并将该薄膜用于锂离子电池负极。通过简单改变沉积次数,可以得到不同厚度的纳米薄膜。本发明工艺简单,重复性好,产量高。本发明制备的锂离子的电池负极材料具有结构稳定,循环性能好的优点。

    一种染料敏化太阳能电池光阳极的制备方法

    公开(公告)号:CN102832051B

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201210374126.6

    申请日:2012-10-07

    Applicant: 复旦大学

    CPC classification number: Y02E10/542 Y02P70/521

    Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种染料敏化太阳能电池光阳极的制备方法。制备方法包括:首先采用掺杂的方法提高高分子聚合物纺丝液的导电性能,接着利用静电纺丝的方法制备光催化剂的负载薄膜,然后通过原子层沉积(ALD)的方法在负载薄膜上生长纳米TiO2。将负载有TiO2的纳米薄膜附着于太阳能电池的光阳极,利用电纺纳米薄膜的多孔性和较高的比表面积来提高太阳能电池的光吸收率和光电转换效率。

    一种基于微球光学谐振增强的硅薄膜光探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104409561A

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201410578408.7

    申请日:2014-10-27

    Applicant: 复旦大学

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/18 H01L31/0232 H01L31/09

    Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种基于微球阵列实现更强光响应的硅薄膜光探测器及其制备方法。制备方法包括在衬底上制备单层或多层单分散微球阵列作为光学谐振层;借助原子层沉积技术修饰微球阵列;通过单晶硅薄膜的制备/剥离以及转移技术在光学谐振层上形成单晶硅纳米薄膜制作光探测功能层。在制备过程中,通过对微球尺寸以及微球修饰层介电常数控制,调节光谐振层发生强光学谐振时对应的光波频率。在特定频率的光信号作用下,本发明光探测器可以比没有光学谐振层的同类器件获取更强的光响应。该探测器设计新颖,特定光波段下灵敏度高,为弱光信号的探测及传感、光通讯等领域开辟了新的前景。

    一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN102539379B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201110434380.6

    申请日:2011-12-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法。制备方法包括:在衬底上制备一层有机物牺牲层;然后在其上沉积具有较高折射率的无机氧化物功能薄膜,并且通过沉积参数的控制,在该功能层中引入预应力梯度;利用有机溶剂去掉牺牲层,释放功能薄膜,使其成为自由薄膜。受预应力梯度的影响,该自由薄膜弯曲成管道结构;将该结构置于流体中,探测光波在管道结构光学微腔中的谐振模式,根据谐振波长的移动,可以判断出流体折射率的变化。该光流体探测器件灵敏度高,制备方便,在生物传感等领域具有重要的应用前景。

    一种高催化性质TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法及应用

    公开(公告)号:CN102660763A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201210136973.9

    申请日:2012-05-07

    Applicant: 复旦大学

    CPC classification number: Y02W10/37

    Abstract: 本发明属于光催化技术领域,具体为一种高催化性质TiO2纳米管阵列薄膜的制备方法及应用。其步骤为:先清洗Ti片表面;再用阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列薄膜;然后将TiO2纳米管阵列薄膜置于氧化铝坩埚中;然后将氧化铝坩埚中放入管式炉中,通入适当的气氛,同时在气氛中掺入水蒸汽得到混合气体,进行热处理;冷却后取出,即得。本发明工艺简单,制备温度低,所得TiO2纳米管阵列薄膜具备比纯气体气氛退火的样品具有更好的锐钛矿结晶性,及更高的光催化降解能力,为二氧化钛纳米管阵列薄膜的应用开辟了新的前景。

    一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN102539379A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110434380.6

    申请日:2011-12-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种基于无机氧化物薄膜的光流体探测器件及其制备方法。制备方法包括:在衬底上制备一层有机物牺牲层;然后在其上沉积具有较高折射率的无机氧化物功能薄膜,并且通过沉积参数的控制,在该功能层中引入预应力梯度;利用有机溶剂去掉牺牲层,释放功能薄膜,使其成为自由薄膜。受预应力梯度的影响,该自由薄膜弯曲成管道结构;将该结构置于流体中,探测光波在管道结构光学微腔中的谐振模式,根据谐振波长的移动,可以判断出流体折射率的变化。该光流体探测器件灵敏度高,制备方便,在生物传感等领域具有重要的应用前景。

    一种色温均匀的高显色性能白光LED

    公开(公告)号:CN102227012A

    公开(公告)日:2011-10-26

    申请号:CN201110176061.X

    申请日:2011-06-28

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于LED技术领域,具体为一种色温均匀的高显色性能白光LED。本发明白光LED包括通常白光LED的如下基本部件:LED芯片、封装支架、硅胶、荧光片、透镜、反光杯、热沉;其中,所述荧光片采用中心厚、边缘薄的球冠形状;并且荧光片位于LED芯片上方,荧光片与LED芯片分离,两者之间填充透明硅胶;荧光片吸收LED芯片所发射光子,光子能量下转换,成为波长更长光子,与所述LED芯片所发射、并透过所述荧光片的光子混合生成白光。本发明白光LED设计精巧,消除普通白光LED侧向发光偏黄效应,色温在空间各个角度均匀,一致性好;适用于制造低成本、高性能白光LED。

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