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公开(公告)号：CN113885298B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202111110519.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装于安装位；控制电路，其用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，实现了微动台多自由度位姿调整。
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公开(公告)号：CN114264476A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111648331.2
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，属于精密仪器及机械技术领域，本发明为了解决现有静压气浮轴承静动态性能测试装置无法根据实际工况调整解耦球的角度，无法实现复杂工况下静压气浮轴承的静态性能测试，并且在对被测部件加载时存在一定的偏差的问题，本发明提供的一种适用于多尺寸静压气浮轴承的静态性能测试装置，通过单独的气浮承载模块和工况调节模块，独立的气浮承载模块切断了气浮与主体结构的传力路径，保证了承载力测试的准确性，工况调节模块可以更加精确的实现了静压气浮轴承及其运动解耦连接结构的静态性能测试。
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公开(公告)号：CN113944691A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917793A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110518.7
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的实施例提供了一种支撑机构及光刻机，包括：底座；移动部件，其装设于所述底座的底部；气足，其装设于所述底座的底部，且其最低点高于所述移动部件的最低点，其上具有气孔，在通气时，在其底部形成支撑所述底座的气层；支撑部件，其安装于所述底座的底部，其具有第一状态和第二状态，当其处于第一状态时，其最低点低于所述移动部件的最低点以支撑所述底座；当其处于第二状态时，其最低点高于所述移动部件，以使得所述移动部件带动所述底座移动。
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公开(公告)号：CN113917791A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111109804.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113885298A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111110519.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装于安装位；控制电路，其用于控制每个上电磁铁和每个下电磁铁的磁力大小，实现了微动台多自由度位姿调整。
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公开(公告)号：CN113835305A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111108262.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板冷却装置，包括至少两个冷却板，电路板贴合于所述冷却板，所述冷却板内设有冷却水路，至少两个所述冷却板的所述冷却水路相连通，其中一个所述冷却板上设有进水口，另一个所述冷却板上设有出水口，所述进水口及所述出水口均设有温度传感器，所述冷却水路均包括相连通的主水路和辅水路。本发明通过设置主水路和辅水路，主水路用于电路板的常规冷却，辅水路对应电路板中发热较多部位设置，增大发热部位与冷却水路的接触面积，提高冷却效率。同时，通过设置在进水口与出水口的温度传感器的水温反馈，实时调整冷却液的流量，实现了对电路板温度的精确控制。
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公开(公告)号：CN113833763A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110723.3
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
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公开(公告)号：CN108438261A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810230347.3
申请日：2018-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种旋翼式火星无人机单旋翼系统气动特性测试装置及其测试方法，它涉及无人机单旋翼系统气动特性测试技术领域。本发明解决了现有的旋翼升阻特性测试装置存在难以实现模拟火星大气环境并测量旋翼系统的小升力、低扭矩测量，适用性差且测量误差大，只能用于地球无人机旋翼系统的升阻特性评估的问题。本发明的真空罐的外形为圆柱状的罐状空心结构，真空罐的外壁设有舱口，所述真空罐的舱口处安装舱门，真空泵组和二氧化碳瓶分别与真空罐的外壁连接，多组冷凝脂模块均布于火星大气环境模拟装置的真空罐的内壁，旋翼运动模块与升阻特性测试模块连接布置于火星大气环境模拟装置的真空罐的中心。本发明用于实现模拟火星大气环境并对旋翼系统的升力与扭矩进行测量。
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公开(公告)号：CN107985582A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711237972.2
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64C27/10
CPC classification number: B64C27/10
Abstract: 一种火星旋翼式无人机的共轴反桨双叶片旋翼系统，本发明涉及一种火星旋翼式无人机的共轴反桨双叶片旋翼系统，本发明为了解决现有技术中现有旋翼式无人机难以在火星低雷诺数大气环境中不能完成飞行、悬停的问题，它包括上旋翼模块、下旋翼模块和动力模块,上旋翼模块包括上桨毂、上旋翼模块内轴和上旋翼桨叶组件，下旋翼模块包括下旋翼轴承套筒、下桨毂、下旋翼模块外轴、下旋翼桨叶组件和转轴深沟球轴承，动力模块包括电机外罩固定套筒、下旋翼模块主动齿轮、电机底罩、上旋翼模块从动齿轮、上旋翼模块主动齿轮、下旋翼模块从动齿轮、下旋翼模块从动套筒、外筒式高速电机、电机固定套筒、第一组高速电机，本发明属螺旋桨领域。
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