超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103626115B

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201310107025.7

    申请日:2013-03-29

    Abstract: 本发明提供超薄氮化物微纳静电驱动器及其制备方法,该方法能够解决厚膜氮化物悬空器件的加工问题,获得厚度可控的超薄氮化物微纳静电驱动器。该氮化物微纳静电驱动器实现在高阻硅衬底氮化物晶片上,采用电子束曝光技术定义微纳静电驱动器,并采用离子束轰击或反应离子束刻蚀方法在氮化物器件层实现器件结构;结合光刻技术,定义隔离槽,并采用反应离子束刻蚀方法刻蚀氮化物器件层至硅衬底;结合背后对准和深硅刻蚀技术,去除微纳静电驱动器下方硅衬底层,采用氮化物背后减薄刻蚀技术,实现驱动器固定部分和可移动部分的分离,获得硅衬底超薄氮化物微纳静电驱动器。

    一种高Q值微型圆形谐振腔器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN103018827B

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201210570246.3

    申请日:2012-12-25

    Abstract: 本发明公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件,采用SOI晶片作为载体,所述SOI晶体从上到下依次为顶层硅器件层、氧化埋层和硅衬底层;所述顶层硅器件层刻蚀有一个C型谐振腔、2个光波导、2列入射光栅和一个光子晶体阵列,其中,一个光波导的一端与C型谐振腔的开口连接,另一个光波导的一端与C型谐振腔的外周连接;光子晶体阵列由数个圆孔型空气介质柱周期性光子晶体组成,围绕C型谐振腔和光波导规则排列;每列入射光栅均由数个线性光栅纵向平行排列而成,两列入射光栅的一端分别连接两个光波导的另一端。此种器件可实现对入射光的二次选频,提高器件的Q值。本发明还公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件的制备方法。

    基于马尔科夫过程的无线异构网络吞吐量优化方法

    公开(公告)号:CN102711259B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201210103848.8

    申请日:2012-04-05

    Abstract: 本发明公开了一种基于马尔科夫过程的无线异构网络吞吐量优化方法,用于由两种具有重叠覆盖区域的无线网络组成的异构网络。本发明方法将用户的移动性作为影响无线网络资源分配的一个因素考虑,利用经典的马尔科夫模型来分析信道分配情况,从而得到系统的吞吐量模型,通过最大化系统吞吐量,来高效利用异构网络无线资源。本发明还公开了一种无线异构网络,利用上述方法对网络吞吐量进行优化。本发明可实现无线异构网络资源利用最大化,且为无线异构网络中协同无线资源管理的理论研究提供了一种新的思路。

    悬空氮化物光波导器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN103630966A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310107094.8

    申请日:2013-03-29

    Abstract: 本发明提供一种悬空氮化物光波导器件及其制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片,所述硅衬底氮化物晶片包括顶层氮化物器件层和位于顶层氮化物器件层下部的硅衬底层;该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离,利用氮化物器件层和空气的折射率差异,实现悬空氮化物光波导器件;所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件结构,结合背后对准和深硅刻蚀技术,去除氮化物光波导器件下方的硅衬底层,得到悬空氮化物光波导器件;进一步的可以采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得厚度可控的氮化物光波导器件,降低光波导器件的模式损耗。

    一种高Q值微型圆形谐振腔器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN103018827A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210570246.3

    申请日:2012-12-25

    Abstract: 本发明公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件,采用SOI晶片作为载体,所述SOI晶体从上到下依次为顶层硅器件层、氧化埋层和硅衬底层;所述顶层硅器件层刻蚀有一个C型谐振腔、2个光波导、2列入射光栅和一个光子晶体阵列,其中,一个光波导的一端与C型谐振腔的开口连接,另一个光波导的一端与C型谐振腔的外周连接;光子晶体阵列由数个圆孔型空气介质柱周期性光子晶体组成,围绕C型谐振腔和光波导规则排列;每列入射光栅均由数个线性光栅纵向平行排列而成,两列入射光栅的一端分别连接两个光波导的另一端。此种器件可实现对入射光的二次选频,提高器件的Q值。本发明还公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件的制备方法。

    基于多属性决策和群组决策的网络选择方法

    公开(公告)号:CN102781072A

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN201210262674.X

    申请日:2012-07-27

    Abstract: 异构网络场景下无线资源管理的一个关键问题是网络选择,本发明提供了一种基于多属性决策和群组决策的网络选择方法。首先由多属性决策方法来得到主观与客观决策结果,利用层次分析法以及熵权法分别得到主观和客观决策结果,然后采用群组决策对主观和客观决策结果进行综合,并采用群组决策中的相容性理论对综合后结果的合理性进行判断,判断是否具有合理性,如果不合理,则需要修改决策,重新进行综合。最后将综合后的结果来对网络进行决策,为用户选择合适的网络。该方法不仅考虑到网络的客观属性,还考虑到了用户的偏好,保证了用户不会因为自己的偏好而选择一些性能较差的网络。本发明不但可以有效减少切换的次数而且还可以为用户提供满意的服务质量。

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