公开(公告)号：CN103630966A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310107094.8

申请日：2013-03-29

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 王永进 ,  高绪敏 ,  于庆龙 ,  施政 ,  贺树敏 ,  李欣 ,  巩玉先 ,  江运力

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/13

Abstract: 本发明提供一种悬空氮化物光波导器件及其制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，所述硅衬底氮化物晶片包括顶层氮化物器件层和位于顶层氮化物器件层下部的硅衬底层；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，利用氮化物器件层和空气的折射率差异，实现悬空氮化物光波导器件；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件结构，结合背后对准和深硅刻蚀技术，去除氮化物光波导器件下方的硅衬底层，得到悬空氮化物光波导器件；进一步的可以采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得厚度可控的氮化物光波导器件，降低光波导器件的模式损耗。