-
公开(公告)号：CN209623647U
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201920304590.5
申请日：2019-03-11
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本实用新型系统不仅拥有较高的精度，还简化了系统结构与检测过程，能够提供完备的直线度信息。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN218646268U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202223163871.4
申请日：2022-11-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了一种基于多点光谱探测的彩色共焦测量装置及其系统，包括：水平运动平台、配置在水平运动平台上方的照明组件、准直镜、光谱组件；准直镜配置在照明组件第一端部前，光谱组件配置在准直镜第一端部前，水平运动平台、光谱组件用于与数据处理终端连接，水平运动平台用于放置待测物品；照明组件配置为生成多束并行的不同波长的单色光，并聚焦到待测物品表面，再反射至准直镜；光谱组件配置为接收以及横向展开准直镜反射的反射光，将接收到的光线数据发送至数据处理终端。旨在解决现有光谱共焦技术大多只能实现单点测量，在测量物体时，还需进行多次、反复的扫描，需要耗费大量的时间，且测量效率不高的问题。
-
公开(公告)号：CN216791124U
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202220337538.1
申请日：2022-02-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及其系统，包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件；二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构，外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上，外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙，外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件，测量桥组件用于采集待测工件形貌值，外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动；高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低，成本高昂，装调要求严苛的问题。
-
公开(公告)号：CN209512777U
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201920424850.2
申请日：2019-03-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本实用新型提供一种基于分离式光栅的测量装置，包括控制模块、基座、平面移动平台、光栅刚体以及光栅读数头和测头，所述光栅刚体上开设有穿孔，所述测头与所述光栅刚体的栅面位于同一平面，所述光栅刚体上设置有两组以上的栅线组，所述栅线组包括多条相互平行且等间距依次排列的栅线，所述光栅读数头的数量与所述栅线组的数量相同，各所述光栅读数头与各所述栅线组一一对应布置，且所述测头与所述光栅读数头之间的连线和与该光栅读数头对应的所述栅线组中的所述栅线垂直布置。本实用新型实现了零阿贝误差设计，对导向元件的精度要求相对较低，成本也相对较低；同时，环境适应性较强，适用范围相对较广。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN208520339U
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201821271334.2
申请日：2018-08-08
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型提供了一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置，包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统；复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜；还包括一光谱仪，所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤；所述光谱仪连接所述输出光纤，所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统；还包括一扫描系统，所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维移动台；所述待测件置于所述二维移动台上。应用本技术方案可实现扫描物体三维形貌不需要进行轴向扫描，装置调试使用方便，缩短了测量时间。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217637202U
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202220056236.7
申请日：2022-01-11
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型涉及一种基于像栅的直线位移测量系统。该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本实用新型提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。
-
公开(公告)号：CN217110835U
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202220289302.5
申请日：2022-02-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及其系统，包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块；高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件，外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端，误差光学测量组件配置在测量桥组件第一端面，外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件上表面耦合形成薄膜气隙，测量桥组件随二维运动模组作二维运动，带动误差光学测量组件作二维运动；误差光学测量组件配置为将外置基准光学平晶的下表面与误差光学测量组件发生靠近或远离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件的形貌值。旨在解决现有光学三维测量方案存在测量精度低，成本高昂的问题。
-
公开(公告)号：CN214200005U
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202120191637.9
申请日：2021-01-22
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。
-
公开(公告)号：CN213956279U
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202120203489.8
申请日：2021-01-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。
-
公开(公告)号：CN213714231U
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202023275536.4
申请日：2020-12-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本实用新型涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
60
records
(took 0.026 seconds)
