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公开(公告)号：CN112857253B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202110089853.7
申请日：2021-01-22
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。
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公开(公告)号：CN116608784A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310311425.3
申请日：2023-03-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法，包括光学气浮平台、六自由度误差修正的三维运动测量系统、二维运动机台、基准光学平晶、彩色共聚焦测量桥组件、相机测量桥组件以及薄膜干涉组件；本发明中的相机测量桥架模块采集所述像栅传感器系统中同心圆的图像，所述同心圆图像基于亚像素处理与同心圆识别获取高精度横向位移，基于线性插值计算的方式在X、Y两个方向形成两条虚拟测量线，测量线的交点处便为彩色共聚焦测头的摆放位置，在测头的正下方放置所述薄膜干涉组件，所述薄膜干涉组件以超精密光学平晶作为测量基准，以此使本发明满足三维零阿贝误差，三轴零耦合误差，提高了三维运动测量平台的测量精度。
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公开(公告)号：CN115979165A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211500361.3
申请日：2022-11-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种基于多点光谱探测的彩色共焦测量系统，包括：数据处理终端、水平运动平台、配置在水平运动平台上方的照明组件、反射组件、光谱组件；反射组件配置在照明组件第一端部前，光谱组件配置在反射组件第一端部前，水平运动平台、光谱组件与所述数据处理终端连接，水平运动平台用于放置待测物品；照明组件配置为生成多束并行的不同波长的单色光，并聚焦到待测物品表面，再反射至反射组件；光谱组件配置为接收以及横向展开反射组件反射的反射光，将接收到的光线数据发送至数据处理终端。旨在解决现有光谱共焦技术大多只能实现单点测量，在测量物体时，还需进行多次、反复的扫描，需要耗费大量的时间，且测量效率不高的问题。
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公开(公告)号：CN111288928B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202010172381.7
申请日：2020-03-12
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种物体表面三维形貌特征测量方法、装置、设备及存储介质，方法包括：获取M个高度点相对应的M张彩色图像；基于自适应质心提取算法提取彩色图像在不同位置处N个光纤光点的质心；其中，并行测量的光纤束由N根光纤组成；根据光点质心截取彩色图像中与光纤光点位置对应的目标图像；将目标图像进行颜色空间转换，获得与波长相关的色调参数H值；对色调参数H值进行筛选过滤，获得对应的标准H值；根据标准H值及与标准H值对应的高度，获得光纤的H值‑高度的标定曲线；将待测目标物体代入至标定曲线输入，测量待测目标的物体表面的三维形貌特征。能够修正相邻光纤之间的横向串扰带来的测量误差，实现对物体表面三维形貌的测量。
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公开(公告)号：CN109916315A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910249806.7
申请日：2019-03-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种基于分离式光栅的测量装置，包括控制模块、基座、平面移动平台、光栅刚体以及光栅读数头和测头，所述光栅刚体上开设有穿孔，所述测头与所述光栅刚体的栅面位于同一平面，所述光栅刚体上设置有两组以上的栅线组，所述栅线组包括多条相互平行且等间距依次排列的栅线，所述光栅读数头的数量与所述栅线组的数量相同，各所述光栅读数头与各所述栅线组一一对应布置，且所述测头与所述光栅读数头之间的连线和与该光栅读数头对应的所述栅线组中的所述栅线垂直布置。本发明实现了零阿贝误差设计，对导向元件的精度要求相对较低，成本也相对较低；同时，环境适应性较强，适用范围相对较广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108955568A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810895728.3
申请日：2018-08-08
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置及其使用方法，包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统；复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜；还包括一光谱仪，所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤；所述光谱仪连接所述输出光纤，所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统；还包括一扫描系统，所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维位移台；所述待测件置于所述二维移动台上。应用本技术方案可实现扫描物体三维形貌不需要进行轴向扫描，装置调试使用方便，缩短了测量时间。
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公开(公告)号：CN109883362B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201910180509.1
申请日：2019-03-11
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本发明系统不仅拥有较高的精度，还简化了系统结构与检测过程，能够提供完备的直线度信息。
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公开(公告)号：CN117451534A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311542543.1
申请日：2023-11-17
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种用于折叠屏的损伤测试装置，包括基座、治具和动力构件；所述基座设有一机箱外壳以及工作台；所述治具包含定治具、以及动治具；所述动力构件具有一配置在机箱外壳内的驱动件、和与驱动件相传动连接的连杆组件；通过相对开合设置的定治具和动治具，在动治具受到动力后沿开合方向往复摆动，形成测试空间，在固定折叠屏后可适用于对折叠屏的折弯损失测试，避免屏幕正面再次所受到的装夹力，减少了外界因素对测试的干扰；进一步将折叠屏以正面朝上的方式固定在动治具的贴合面上，定治具的穿线孔利于排线电连接至折叠屏的背面，在测试过程中可以确保折叠屏进行点亮展示内容，方便于用户直接观测出弯折损伤的整个过程。
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公开(公告)号：CN111289540B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202010172383.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 华侨大学(CN)
IPC: G01N21/958 , G01N21/01 , G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种光学玻璃瑕疵检测装置以及光学玻璃厚度计算方法，装置包含光源发射机构和成像机构；其中，所述光源发射机构包含复色光源以及色散构件，所述色散构件包括用于将复色光源发射的光线进行分光为不同波长的光线的光纤束、以及用于将经光纤束进行分光后的光线沿轴向进行色散以使不同波长的光线分别聚焦在被测光学玻璃的不同高度位置处的平面上的色散管镜；所述成像机构包含有用于供所述被测光学玻璃预设高度的平面反射出的光线通过的小孔阵列、以及用于将通过小孔阵列的光线成像的相机，实现了对光学玻璃上下表面、亚表面和内部缺陷瑕疵的检测。
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公开(公告)号：CN114485476A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210207622.6
申请日：2022-03-03
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种晶圆测量设备、系统及方法，包括：减震平台、配置在减震平台上的二维运动模组、配置在二维运动模组上的晶圆放置台、配置在晶圆放置台上方的滑轨、可移动配置在滑轨上的光路产生系统、以及可移动配置在滑轨上的光路接收系统；晶圆放置台用于放置待测晶圆和基准平晶；二维运动模组用于带动所述晶圆放置台在平行与所述减震平台的平面进行二维平面运动；所述光路产生系统用于产生照射在所述待测晶圆和所述基准平晶上的准直光束；所述光路接收系统用于接收所述准直光束在所述待测晶圆和所述基准平晶反射产生的干涉图像。解决了现有技术中的测量系统无法测量面积较大的晶圆的问题和避免因光路细微的偏离，导致测量的结果存在误差。
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