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公开(公告)号：CN114485476B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202210207622.6
申请日：2022-03-03
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种晶圆测量设备、系统及方法，包括：减震平台、配置在减震平台上的二维运动模组、配置在二维运动模组上的晶圆放置台、配置在晶圆放置台上方的滑轨、可移动配置在滑轨上的光路产生系统、以及可移动配置在滑轨上的光路接收系统；晶圆放置台用于放置待测晶圆和基准平晶；二维运动模组用于带动所述晶圆放置台在平行与所述减震平台的平面进行二维平面运动；所述光路产生系统用于产生照射在所述待测晶圆和所述基准平晶上的准直光束；所述光路接收系统用于接收所述准直光束在所述待测晶圆和所述基准平晶反射产生的干涉图像。解决了现有技术中的测量系统无法测量面积较大的晶圆的问题和避免因光路细微的偏离，导致测量的结果存在误差。
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公开(公告)号：CN110778869A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911104947.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种二维运动平台，包括水平布置的载物板、用于驱动所述载物板移动的驱动模块、用于支撑所述载物板的支承模块以及用于控制所述驱动模块运动的控制模块，所述载物板水平布置在所述驱动模块和所述支承模块的上方，所述载物板和所述驱动模块刚性连接，且所述载物板和所述支承模块柔性铰接。通过设置驱动模块和支承模块两个导向模块形成差动系统，在保证运动精度的情况下有效提高了运动行程，能够同时实现高精度和大行程。同时将运动平台的各部分按功能模块化，将运动导向元件模块化为驱动模块和支承模块；将运动平台的工作载物平面模块化为载物板部分，各模块均为通用元器件，且可按需增减部分模块，二次开发灵活性较好。
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公开(公告)号：CN104006764A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410212609.5
申请日：2014-05-20
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/245
Abstract: 本发明公开一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法，装置包括激光光源、DMD、第一CCD相机及第二CCD相机；激光光源发出光束照射在DMD表面，经由DMD表面的微镜反射后，于反射空间内出现一对互补像，该一对互补像的对应反射光束分别被第一CCD相机和第二CCD相机同时接收，将所接收的一对互补像进行叠加处理，即实现消除DMD微镜抖动，从而可以消除DMD用于表面形貌测量时所产生的重要误差源。去除抖动装置结构简单，去除抖动方法简洁、易于控制，所达到的去除抖动效果优良。
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公开(公告)号：CN112857253B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202110089853.7
申请日：2021-01-22
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。
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公开(公告)号：CN116288751B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202211666687.3
申请日：2022-12-23
Applicant: 华侨大学 , 厦门纳莱科技有限公司
Abstract: 本发明涉及静电纺丝领域，公开了一种同轴光辅助多射流静电纺丝检测系统及其使用方法，包括静电纺丝装置、激光光源组件、图像采集模块和计算机控制模块，静电纺丝装置的纺丝喷头上设有同轴针头，激光光源组件用于在内针头内形成朝向垂直向下的激光光束，图像采集模块用于采集同轴针头静电纺丝时的射流图像，计算机控制模块用于根据射流图像通过图像处理算法得到电纺射流的特征信息，并自动控制高压电源和可控注射泵调整电纺电压和可控注射泵的注射速度，激光光束和同轴针头上的射流耦合，使得图像采集模块能够清楚采集射流的特征信息，有利于计算机控制模块及时调整供液速度和电压，保证射流的稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108592814B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201810186622.6
申请日：2018-03-07
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法，包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面，得到彩色共焦测量系统的基本“位移‑波长”曲线；以色卡为被测物，得到各波长的“位移‑波长”曲线；计算各波长的“位移‑波长”曲线相对于基本“位移‑波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向，将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表；利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息，从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi；利用已标定的基本“位移‑波长”曲线，得到对应被测物面上各颜色的“位移‑波长”曲线；根据步骤四得到的“位移‑波长”曲线，计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。
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公开(公告)号：CN109916315A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910249806.7
申请日：2019-03-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种基于分离式光栅的测量装置，包括控制模块、基座、平面移动平台、光栅刚体以及光栅读数头和测头，所述光栅刚体上开设有穿孔，所述测头与所述光栅刚体的栅面位于同一平面，所述光栅刚体上设置有两组以上的栅线组，所述栅线组包括多条相互平行且等间距依次排列的栅线，所述光栅读数头的数量与所述栅线组的数量相同，各所述光栅读数头与各所述栅线组一一对应布置，且所述测头与所述光栅读数头之间的连线和与该光栅读数头对应的所述栅线组中的所述栅线垂直布置。本发明实现了零阿贝误差设计，对导向元件的精度要求相对较低，成本也相对较低；同时，环境适应性较强，适用范围相对较广。
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公开(公告)号：CN109916315B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201910249806.7
申请日：2019-03-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种基于分离式光栅的测量装置，包括控制模块、基座、平面移动平台、光栅刚体以及光栅读数头和测头，所述光栅刚体上开设有穿孔，所述测头与所述光栅刚体的栅面位于同一平面，所述光栅刚体上设置有两组以上的栅线组，所述栅线组包括多条相互平行且等间距依次排列的栅线，所述光栅读数头的数量与所述栅线组的数量相同，各所述光栅读数头与各所述栅线组一一对应布置，且所述测头与所述光栅读数头之间的连线和与该光栅读数头对应的所述栅线组中的所述栅线垂直布置。本发明实现了零阿贝误差设计，对导向元件的精度要求相对较低，成本也相对较低；同时，环境适应性较强，适用范围相对较广。
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公开(公告)号：CN116288751A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211666687.3
申请日：2022-12-23
Applicant: 华侨大学 , 厦门纳莱科技有限公司
Abstract: 本发明涉及静电纺丝领域，公开了一种同轴光辅助多射流静电纺丝检测系统及其使用方法，包括静电纺丝装置、激光光源组件、图像采集模块和计算机控制模块，静电纺丝装置的纺丝喷头上设有同轴针头，激光光源组件用于在内针头内形成朝向垂直向下的激光光束，图像采集模块用于采集同轴针头静电纺丝时的射流图像，计算机控制模块用于根据射流图像通过图像处理算法得到电纺射流的特征信息，并自动控制高压电源和可控注射泵调整电纺电压和可控注射泵的注射速度，激光光束和同轴针头上的射流耦合，使得图像采集模块能够清楚采集射流的特征信息，有利于计算机控制模块及时调整供液速度和电压，保证射流的稳定性。
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