一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统

    公开(公告)号:CN109001207A

    公开(公告)日:2018-12-14

    申请号:CN201810426578.1

    申请日:2018-05-07

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明公开了一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统,检测系统包括:光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序。光学测量系统用于光的输出并接收被测透明材料表面及内部缺陷的反射光,将其输出到光学分析系统;光学分析系统,用于接收透明材料表面及内部缺陷的反射光;彩色共焦数据处理程序,用于对光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值,再对此波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。本发明还提供了基于上述检测系统的透明材料表面及内部缺陷的检测方法。本发明的透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统,能够快速、无损、准确的对透明材料表面及内部缺陷进行定性定量地测量。

    用于彩色共焦测量的颜色标定方法

    公开(公告)号:CN108592814B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201810186622.6

    申请日:2018-03-07

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法,包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面,得到彩色共焦测量系统的基本“位移‑波长”曲线;以色卡为被测物,得到各波长的“位移‑波长”曲线;计算各波长的“位移‑波长”曲线相对于基本“位移‑波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向,将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表;利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息,从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi;利用已标定的基本“位移‑波长”曲线,得到对应被测物面上各颜色的“位移‑波长”曲线;根据步骤四得到的“位移‑波长”曲线,计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。

    无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN108955568A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810895728.3

    申请日:2018-08-08

    Applicant: 华侨大学

    CPC classification number: G01B11/24

    Abstract: 本发明提供了一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置及其使用方法,包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统;复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜;还包括一光谱仪,所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤;所述光谱仪连接所述输出光纤,所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统;还包括一扫描系统,所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维位移台;所述待测件置于所述二维移动台上。应用本技术方案可实现扫描物体三维形貌不需要进行轴向扫描,装置调试使用方便,缩短了测量时间。

    一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统

    公开(公告)号:CN109001207B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201810426578.1

    申请日:2018-05-07

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明公开了一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统,检测系统包括:光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序。光学测量系统用于光的输出并接收被测透明材料表面及内部缺陷的反射光,将其输出到光学分析系统;光学分析系统,用于接收透明材料表面及内部缺陷的反射光;彩色共焦数据处理程序,用于对光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值,再对此波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。本发明还提供了基于上述检测系统的透明材料表面及内部缺陷的检测方法。本发明的透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统,能够快速、无损、准确的对透明材料表面及内部缺陷进行定性定量地测量。

    一种彩色共焦三维形貌测量方法与系统

    公开(公告)号:CN109373927A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811141205.6

    申请日:2018-09-28

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及彩色共焦三维形貌测量方法与系统,采用的是复色光源,通过轴向色散来获得波长颜色和位移的关系,可以避免轴向扫描带来的耗时问题,提高了测量速度;通过小孔滤除非焦平面的杂散信号,获取位于焦平面的锐利信号,具有很高的轴向分辨率;采用彩色相机作为数据接收端,一次拍照即可获取视场内被测物表面全部的高度信息,提高了测量速度,尤其适用于彩色共焦并行扫描系统。本发明的实施,仅需一次成像即可完成对被测物点的高度信息提取,结合二维位移系统提供的二维信息,获取被测物面的三维形貌特征。本发明将为物体表面三维形貌检测提供新的途径。

    用于彩色共焦测量的颜色标定方法

    公开(公告)号:CN108592814A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810186622.6

    申请日:2018-03-07

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法,包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面,得到彩色共焦测量系统的基本“位移-波长”曲线;以色卡为被测物,得到各波长的“位移-波长”曲线;计算各波长的“位移-波长”曲线相对于基本“位移-波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向,将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表;利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息,从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi;利用已标定的基本“位移-波长”曲线,得到对应被测物面上各颜色的“位移-波长”曲线;根据步骤四得到的“位移-波长”曲线,计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。

    无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置

    公开(公告)号:CN208520339U

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201821271334.2

    申请日:2018-08-08

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本实用新型提供了一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置,包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统;复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜;还包括一光谱仪,所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤;所述光谱仪连接所述输出光纤,所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统;还包括一扫描系统,所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维移动台;所述待测件置于所述二维移动台上。应用本技术方案可实现扫描物体三维形貌不需要进行轴向扫描,装置调试使用方便,缩短了测量时间。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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