一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及方法、系统

    公开(公告)号:CN114485471A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210131865.6

    申请日:2022-02-14

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及方法、系统,包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件;二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构,外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上,外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙,外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件,测量桥组件用于采集待测工件形貌值,外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动;高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值;位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低,成本高昂,装调要求严苛的问题。

    一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及其系统

    公开(公告)号:CN216791124U

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN202220337538.1

    申请日:2022-02-14

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本实用新型提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及其系统,包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件;二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构,外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上,外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙,外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件,测量桥组件用于采集待测工件形貌值,外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动;高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值;位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低,成本高昂,装调要求严苛的问题。

    一种应用于袋笼的连接装置

    公开(公告)号:CN212039472U

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201922122795.4

    申请日:2019-12-02

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种应用于袋笼的连接装置;所述连接装置包括前侧连接块和后侧连接块,所述后半筋条凹槽与所述前半筋条凹槽合在一起形成夹持住所述上环圈筋条、下环圈筋条的筋条凹槽从而将上环圈筋条和下环圈筋条连接在一起。采用本实用新型的连接装置,其拆装便捷、方便运输,连接稳固,生产成本低。

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