温坪测量装置
    51.
    发明公开
    温坪测量装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117928780A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202410113381.8

    申请日:2024-01-26

    Abstract: 本发明涉及温坪测量装置,包括:固定框架;主轴,设置于所述固定框架上;旋转盘,活动设置于所述主轴上;滑环电连接器,设置于所述主轴上,且运动部位与所述旋转盘连接、固定部位与所述固定框架连接;相变容器,设置于所述旋转盘上,多个所述相变容器关于所述主轴对称;电控热流系统,包覆于所述相变容器外部。本发明可实现在不同引力条件下工质的相变点温坪测量。

    一种推进器羽流离子能谱空间分布的测量装置和方法

    公开(公告)号:CN117425259B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202311743457.7

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明提出了一种推进器羽流离子能谱空间分布的测量装置和方法,属于航空航天技术领域,通过在羽流中设置特殊设计的长条形滞止能量分析器(Bar‑shape retarding potential analyzer,BRPA),通过对该羽流BRPA分析器进行平移与旋转,获得该断面的扫描电压‑收集电流的投影数据,并通过滤波反投影法获得该平面每个点扫描电压‑收集电流分布。通过将长条形装置沿推力器轴向平移并重复上述过程,获得羽流中的羽流离子能谱三维空间分布;本发明相比于一般的单个滞止势探针(Retarding potential analyzer,RPA),具有空间分辨率高,测试范围广的明显优点,相比于RPA探针阵列,能够大幅简化电路和布线,且具有明显的简单快捷的优势。

    一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置

    公开(公告)号:CN117420120B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311743366.3

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置,涉及等离子体诊断技术领域,解决了现有等离子体光学诊断方法信噪比低、无法检测不发光物质、设备昂贵、灵敏性差的问题。本发明包括放电圆环、支撑装置、绝缘管、导电线和光纤,光纤表面设置有导电涂层,导电涂层与外部设备连接;光纤外部套装有绝缘管;光纤头部的导电涂层上开设有光学窗口,另一端和外部设备连接;光纤上对应光学窗口的位置处设置有放电圆环;放电圆环与地线连接。本发明通过通过控制放电结构内的电子参数,对探针头部位置的物质进行不同程度激发,当中间产物被激发为可荧光激发态后,发光被光学窗口采集并传输至光谱仪,实现对多种不发光中间产物进行探测。

    一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法

    公开(公告)号:CN117423600A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311743393.0

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法,涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域,装置包括:包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机;所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置,所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域;两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧,第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置,所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置,第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置;该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度,具有原位、同时性、无侵扰的特点。

    等离子体测量装置
    56.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114245555A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111474864.3

    申请日:2021-12-03

    Abstract: 本发明涉及一种等离子体测量装置,包括:探针组件,用于收集等离子体的电子和离子电流;高压扫描电源模块,用于产生电压波形并施加于所述探针组件;信号调理模块,用于切换所述探针组件的工作模式,并对所述探针组件反馈的电压和电流信号进行调理;数据采集模块,用于采集不同工作模式下经过调理的所述电压和电流信号,并对所述电压和电流信号进行处理后获得等离子体参数;所述工作模式包括扫描单探针、直流偏置单探针、扫描双探针和直流偏置三探针。由此,本发明通过切换四种探针工作模式,可以实现大范围等离子体密度和温度测量,满足稳态和瞬态等离子体参数的测量,同时极大地提高了等离子体参数的测量精度和效率。

    静电探针电流测量装置
    57.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114236222A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111465080.4

    申请日:2021-12-03

    Abstract: 本发明涉及一种静电探针电流测量装置,包括:采样电阻(1),用于采集所述静电探针反馈的信号;放大电路(2),用于接收所述采样电阻(1)采集的信号并进行放大;采集器(3),用于对经过所述放大的信号进行模数转换;处理器(4),用于对经过所述模数转换的信号进行处理得到测量结果;所述放大电路(2)对其接收的信号按量程分多路进行放大,所述采集器(3)对经过所述放大的多路信号分别进行模数转换,所述处理器(4)对经过所述模数转换的多路信号进行合并处理。本发明的测量装置可以实现大动态范围信号的自动测量,保证信号测量的精度,可实现无人值守的自动测量,尤其适用于信号大小未知的不可重复试验,保证信号能完整测量。

    一种等离子体测量装置
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111654966A

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN202010504516.5

    申请日:2020-06-05

    Abstract: 本公开实施例公开了一种等离子体测量装置,该等离子体测量装置包括:移动台,用于在第一方向或第二方向上移动,第一方向与第二方向不同;支撑架,位于移动台上,能够跟随移动台的移动而移动;至少两个探针,位于支撑架上,用于通过支撑架的移动,与等离子体的至少两个点接触并同时测量至少两个点的等离子体特征参数。通过本公开实施例,能够提高测量效率及精度。

    一种真空下温度传感器校准用均温系统

    公开(公告)号:CN103115699A

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201310048769.6

    申请日:2013-02-06

    Abstract: 一种真空下温度传感器校准用均温系统,所述均温系统既可以实现热辐射式测温,又可以实现热传导式测温,从而有利于实现真空下温度传感器校准,其特征在于,包括恒温槽,所述恒温槽内有恒温介质,所述恒温槽的槽口上设置有覆盖所述槽口的吊固平台,所述吊固平台将均温真空室吊装固定在所述恒温槽内的恒温介质中,所述均温真空室的上方与弯管的一端连接,所述弯管从所述吊固平台穿越,所述弯管的另一端设置有连接真空抽气系统的接口,所述均温真空室的外壁设置有铜管,所述铜管的底端被封堵,所述铜管的顶端穿越在所述吊固平台之外,所述均温真空室内设置有绝热传感器固定支架。

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