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公开(公告)号：CN116313168A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211626404.2
申请日：2022-12-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种激光聚变点火的靶支撑结构及其MEMS加工方法，包括：下压缩锥支撑片，其位于底部，设置有下压缩锥装配孔和夹持端；上压缩锥支撑片，其与下压缩锥支撑片平行，其设置有上压缩锥装配孔；点火锥支撑片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有点火锥装配孔；承托片，其竖向设置，连接下压缩锥支撑片和上压缩锥支撑片，其设置有调整观测孔；装配孔均设置有点胶槽。本发明模块化设计满足打靶实验对于靶加工的高灵活性需求，MEMS加工技术解决高尺寸精度的问题，SOI硅片的使用从技术层面实现了不同批次零部件加工结果的高均一性。对于靶支撑结构形成可靠的技术线路，满足点火实验对各个参数靶的灵活需求和批量化生产要求。
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公开(公告)号：CN113956516B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111429264.5
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种CH聚合物球壳靶的制备方法，所述方法包括：提供CH聚合物溶液；将所述CH聚合物溶液在平面基底上形成薄膜，得到聚合物平面膜；将所述聚合物平面膜从所述平面基底剥离后，平铺在固定于网格中的球模上；将所述聚合物平面膜和所述球模一同置于烘箱中缓慢升至预设温度，并保温预设时长后随炉冷却，得到球冠膜；对所述球冠膜激光切割后沿切割轮廓进行剥离，得到CH聚合物球壳靶。本发明的制备方法具有简单高效的优点，所制备的CH聚合物球壳靶适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN114242270A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111558082.8
申请日：2021-12-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种复合抛物面聚光靶型及其制备工艺，所述靶型包括：复合抛物面靶壳，其内表面为由抛物线沿中心轴旋转180°而成的轴对称壳体，所述壳体由曲面沿着抛物面延长线截断，保证激光聚焦点位于激光输出端口以外；垂直靶架，用于支撑所述复合抛物面靶壳，并将所述复合抛物面靶壳进行垂直固定。利用精密加工工艺，实现金属材料壳体的制作，结合精密车削技术、厚金属电镀技术、双模态腐蚀技术实现抛物面壳体制备；利用高精度3D打印技术完成其垂直靶架的制作。该复合抛物面聚光靶型的设计可使激光从靶壳入射口进入，经过最多一次反射便可通过激光输出端口聚焦在一点，有效减轻聚变点火所需激光功率。
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公开(公告)号：CN113956516A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111429264.5
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种CH聚合物球壳靶的制备方法，所述方法包括：提供CH聚合物溶液；将所述CH聚合物溶液在平面基底上形成薄膜，得到聚合物平面膜；将所述聚合物平面膜从所述平面基底剥离后，平铺在固定于网格中的球模上；将所述聚合物平面膜和所述球模一同置于烘箱中缓慢升至预设温度，并保温预设时长后随炉冷却，得到球冠膜；对所述球冠膜激光切割后沿切割轮廓进行剥离，得到CH聚合物球壳靶。本发明的制备方法具有简单高效的优点，所制备的CH聚合物球壳靶适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN112366127B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202011071633.3
申请日：2020-10-09
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种固态掩膜聚焦的大气压低温等离子体射流加工方法及应用，包括：在待加工材料表面上旋涂一层掩膜材料，经固化后形成固态掩膜层；采用大气压低温等离子体射流刻蚀固态掩膜层，并使大气压低温等离子体射流刻穿固态掩膜层，在固态掩膜层形成漏斗状结构，对大气压低温等离子体射流起到聚焦作用；之后大气压低温等离子体射流穿过漏斗状结构与待加工材料表面接触，对待加工材料表面进行微加工；刻蚀完成后，去除所述固态掩膜层。本发明对于待加工材料表面无需加工的区域起到保护作用，杜绝加工区域周边出现牛顿环现象，同时降低了大气压低温等离子体射流的加工线宽，从而有效提高表面加工质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111609887A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010475567.X
申请日：2020-05-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性聚合物封闭膜仿生纤毛微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括纤毛、柔性膜、SOI硅-玻璃电容结构，SOI硅-玻璃电容结构包括上层硅结构(Z向及转角检测电极、公共电极及支撑层)、中间层硅结构(动梳齿电极的检验质量块、X向水平电极、静梳齿电极、硅穿孔铜引线柱)、底层玻璃结构(底层Z向及转角检测轴向电极、公共电极以及引线、引脚)，能测量纤毛转动角度。纤毛受流场作用后，带动硅连接柱及检验质量块发生角位移偏转，使检验质量块与四周的电极形成的转角电容变化，转角电容由流场输入大小、柔性膜扭转刚度和静电控制力矩决定。通过检测电容和静电力矩反馈平衡电压，测量得到输入的流速或剪应力。
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公开(公告)号：CN111595381A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010475556.1
申请日：2020-05-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种背面引线的仿生纤毛电容式微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括顶层、中间层、底层；顶层为聚合物纤毛，中间层为硅结构，底层为pyrex玻璃结构；硅结构与pyrex玻璃结构阳极键合并形成密闭的电容腔室；pyrex玻璃结构内部嵌入有导电引线柱；pyrex玻璃结构靠近硅结构的一侧中部设置有公共电容极板；公共电容极板周侧均匀分布有扇形的差分电容极板；pyrex玻璃结构远离硅结构的一侧设置有圆形的信号引脚。置传感器于流场中，运动流体引起纤毛柱变形，作为电容上极板的悬浮薄膜变形，引起电容变化，测量差分电容变化得到薄膜变形，从而得到被测二维矢量流速或剪应力信息。
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公开(公告)号：CN106370172B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN104593256B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201510005890.X
申请日：2015-01-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种生物微机电系统技术领域的电极可重复使用的PCR芯片，由上而下包括电极芯片和反应腔室芯片两部分，并通过导热硅脂薄层贴合而成，其中：腔室芯片包括设置有腔室结构的聚合物盖片和上基板，电极芯片包括绝缘钝化层、金属加热与传感电极组合和下基板。该PCR芯片至少包含一个反应腔室，可用于不同温控条件下多种基因的并行扩增。本发明PCR芯片的电极芯片使用后可与腔室芯片分离并能重复使用，且采用玻璃基板、聚合物腔室并利用MEMS微加工技术批量制造，PCR芯片的成本大为降低。
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公开(公告)号：CN105548606A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510909210.7
申请日：2015-12-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P5/12
CPC classification number: G01P5/12
Abstract: 一种基于MEMS的柔性流速传感器及其应用和制备方法，包括通过MEMS技术制备的：柔性衬底、支撑膜、绝缘保护层、环境测温热电阻、嵌入设置于绝缘保护层和支撑膜之间的加热热电阻和测温热电阻对，其中：柔性衬底、支撑膜和绝缘保护层依次相连，加热热电阻位于支撑膜中央，测温热电阻对的测温热电阻对称设置于加热热电阻的两侧，环境测温热电阻嵌入设置于柔性衬底和绝缘保护层之间，柔性衬底的底部设有隔热空腔；加热热电阻、三个测温热电阻对和环境测温热电阻构成四路热温差型和热损失型惠斯通电桥电路，对流速进行测量；本发明体积小，成本低，可用于具有复杂曲率的表面，并且具备极低流速到高流速的测速量程。
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