半导体器件及其形成方法
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115884660A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202210820904.3

    申请日:2022-07-12

    Abstract: 本发明的实施例公开了半导体器件及其形成方法。公开了用于磁阻随机存取存储器(MRAM)的图案化磁隧道结(MTJ)的改进方法以及由其形成的半导体器件。在一个实施例中,一种方法包括:在半导体衬底上方沉积底部电极层;在底部电极层上方沉积MTJ膜堆叠件;在MTJ膜堆叠件上方沉积顶部电极层;图案化顶部电极层;实施第一蚀刻工艺,以图案化MTJ膜堆叠件;在MTJ膜堆叠件上实施第一修整工艺;在实施第一修整工艺之后,在MTJ堆叠件上方沉积第一间隔件层;以及在沉积第一间隔件层之后,实施第二蚀刻工艺,以图案化第一间隔件层、MTJ膜堆叠件、和底部电极层,以形成MRAM单元。

    磁存储器及其制造方法
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115884601A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211499465.7

    申请日:2022-11-28

    Abstract: 本公开涉及半导体器件及其制造技术领域,具体涉及磁存储器及其制造方法,所述磁存储器至少包括:反铁磁层,所述反铁磁层的材料为非共线反铁磁材料;磁隧道结,设置于所述反铁磁层上,所述磁隧道结自下而上依次包括自由层、隧穿势垒层和参考层;其中,当所述反铁磁层通入电流时,利用所述反铁磁层的自旋轨道矩效应改变所述反铁磁层与所述自由层形成的交换偏置场方向,进而翻转所述自由层的磁矩方向。可以借助非共线反铁磁材料的反铁磁层其内部的自旋轨道矩效应进行磁矩翻转,从而大幅降低了写入电流,进而降低了该磁存储器的功耗,也更易于驱动该磁存储器。

    一种单晶磁性/铁电多层膜异质结及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN112349828B

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202011138507.5

    申请日:2020-10-22

    Abstract: 本发明公开了一种单晶磁性/铁电多层膜异质结及制备方法和应用,该多层膜异质结由下至上依次为单晶铁电衬底、单晶缓冲层、单晶磁性层以及保护层。在衬底与磁性层间插入缓冲层能间接减小衬底与磁性层间的晶格失配,从而在单晶铁电衬底上外延生长单晶磁性层。将电场发生装置与多层膜异质结连接,对铁电衬底施加大小和方向可控的电场,铁电衬底由于逆压电效应产生应力,该应力经由氧化物缓冲层传递至磁性层,磁性层由于逆磁致伸缩效应或磁性转变效应产生相应的磁性响应。通过改变所施加电场的大小和方向,可以实现电场对磁性的调控,大大减小器件的能耗。

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