利用具有绝缘层的薄膜谐振器探测物质的装置和方法

    公开(公告)号:CN104764802B

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201510137979.1

    申请日:2009-09-29

    申请人: 西门子公司

    IPC分类号: G01N29/02 G01N29/036

    摘要: 本发明涉及利用具有绝缘层的薄膜谐振器探测物质的装置和方法。用于探测流体的至少一种物质的装置包括具有至少一个压电层、设置在压电层处的电极层、至少一个设置在压电层处的其他电极层的压电声学薄膜谐振器和至少一个用于积聚流体的物质的积聚面,其中压电层、电极层和积聚面被设计和彼此设置,使得通过电极层的电触发可以将激励交变场耦合输入到压电层中,薄膜谐振器由于耦合输入到压电层中的激励交变场可以以谐振频率fR被激励成谐振振荡并且谐振频率fR取决于在积聚面处所积聚的物质的量。该装置的特征在于,直接在电极层的至少一个的背离压电层的侧上设置至少一个用于电绝缘电极层的电绝缘层。

    气体传感器和气体检测方法

    公开(公告)号:CN107870183A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201710866292.0

    申请日:2017-09-22

    IPC分类号: G01N27/00

    摘要: 本发明提供一种高精度地进行气体检测的气体传感器。气体传感器包括:第1检测元件、第2检测元件、第3检测元件和运算部。上述第1检测元件因特定气体的吸附而发生共振频率变化,包括具有规定结构的第1振子和设置在上述第1振子上的吸附上述气体的第1吸附膜。上述第2检测元件因上述气体的水分而发生共振频率变化,包括具有上述规定结构的第2振子和设置在上述第2振子上的吸附上述水分的第2吸附膜。上述第3检测元件包括具有上述规定结构的第3振子,因上述气体的温度而发生共振频率变化。上述运算部,基于上述第2检测元件的共振频率变化和上述第3检测元件的共振频率变化对上述第1检测元件的共振频率变化进行修正。