公开(公告)号：CN101218503B

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200680024868.9

申请日：2006-07-04

Applicant: 芬兰国立技术研究中心

Inventor： H·瑟帕 ,  K·塔普拉 ,  J·土普瑞尼恩 ,  T·玛蒂拉 ,  A·阿拉斯塔洛 ,  H·海勒 ,  A·欧加

IPC: G01N29/02 ,  G01N29/22 ,  B81B7/04

CPC classification number: G01N29/022 ,  B81B2201/0292 ,  G01N29/036 ,  G01N29/2462 ,  G01N29/30 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/106

Abstract: 本发明涉及适用于分析液态样品的微机械传感器以及这类传感器的阵列。本发明也关注适用于检测液态样品的方法以及适用于微机械分析液相样品的纵向体声波的使用。这种传感器包括主体以及与主体分开的平面波导部分。至少一个电-机械换能器元件用于响应于电激励而将纵向体声波激励到波导部分，并还用于将声波转换成电信号。波导部分具有样品接受区域，可以将样品引入到它上面。藉助于本发明，能够提高微机械液态传感器的灵敏度。

公开(公告)号：CN101218503A

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：CN200680024868.9

申请日：2006-07-04

Applicant: 芬兰国立技术研究中心

Inventor： H·瑟帕 ,  K·塔普拉 ,  J·土普瑞尼恩 ,  T·玛蒂拉 ,  A·阿拉斯塔洛 ,  H·海勒 ,  A·欧加

IPC: G01N29/02 ,  G01N29/22 ,  B81B7/04

CPC classification number: G01N29/022 ,  B81B2201/0292 ,  G01N29/036 ,  G01N29/2462 ,  G01N29/30 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/106

Abstract: 本发明涉及适用于分析液态样品的微机械传感器以及这类传感器的阵列。本发明也关注适用于检测液态样品的方法以及适用于微机械分析液相样品的纵向体声波的使用。这种传感器包括主体以及与主体分开的平面波导部分。至少一个电－机械换能器元件用于响应于电激励而将纵向体声波激励到波导部分，并还用于将声波转换成电信号。波导部分具有样品接受区域，可以将样品引入到它上面。借助于本发明，能够提高微机械液态传感器的灵敏度。