公开(公告)号：CN110783251A

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201910644993.9

申请日：2019-07-17

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 籾山大 ,  佐佐木均

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够在提高RF敏感性的同时提高等离子体密度的面内均匀性。具体而言，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面及所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑陶瓷电介体基板；及至少一个第1电极层，设置在陶瓷电介体基板的内部，连接于高频电源，其特征为，在从基座板朝向陶瓷电介体基板的Z轴方向上，第1电极层设置在第1主面与第2主面之间，第1电极层具有第1主面侧的第1面及第1面相反侧的第2面，第2面的表面粗糙度大于第1面的表面粗糙度。

公开(公告)号：CN110277341A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201910149165.8

申请日：2019-02-28

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 山口康介 ,  白石纯 ,  板仓郁夫 ,  籾山大 ,  西愿修一郎

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够实现电弧放电的降低及气体流动的顺畅化。提供一种静电吸盘，其特征为，陶瓷电介体基板具有位于第1主面与第1多孔质部之间的第1孔部，陶瓷电介体基板及第1多孔质部中的至少任意一个具有位于第1孔部与第1多孔质部之间的第2孔部，在与从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向大致正交的第2方向上，第2孔部的尺寸比第1多孔质部的尺寸更小，比第1孔部的尺寸更大。

公开(公告)号：CN105575461B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201610029931.3

申请日：2012-04-10

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 籾山大 ,  柿沼保夫 ,  高桥悠也 ,  石黑明 ,  安藤茂 ,  川上晃

IPC: H01B1/08 ,  H01M4/90 ,  H01M8/1246

Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池，使MgO散布于固体电解质层即LSGM的晶界。从夹着LDC而形成在与LSGM相反一侧的燃料极扩散的Ni成分被该散布的MgO粒子捕捉，抑制其在电解质层中向空气极侧扩散。

公开(公告)号：CN103460476B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201280016377.5

申请日：2012-03-30

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 安藤茂 ,  石黒明 ,  川上晃 ,  岛津惠美 ,  籾山大 ,  柿沼保夫

IPC: H01M4/90 ,  C01F17/00

Abstract: 本发明提供一种铈系复合氧化物的制造方法，是防止固体氧化物型燃料电池单电池的燃料极和电解质之间的反应的反应防止层所使用的铈系复合氧化物的制造方法，其特征在于，具备:混合选自La、Pf、Nd中任意的至少1种金属元素的化合物和铈化合物而得到混合物的工序;及对所述混合物进行烧成而得到烧成物的工序，还具有固溶率调节工序，用于在所述烧成物整体中将相对于构成所述烧成物的各个二氧化铈晶粒的所述金属元素的固溶率控制在规定范围内，由此，可防止运行停止时的电解质产生裂纹或单电池发生破损的不良现象，可抑制输出性能下降。

公开(公告)号：CN103682405B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201310417223.3

申请日：2013-09-13

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 安藤茂 ,  古屋正纪 ,  籾山大 ,  端山洁 ,  冈本修 ,  渡边直树 ,  井坂畅夫 ,  佐藤真树

IPC: H01M8/1226 ,  H01M8/1253 ,  H01M8/1286 ,  H01M8/00 ,  H01M8/0236

CPC classification number: H01M8/023 ,  H01M8/004 ,  H01M8/0236 ,  H01M8/1226 ,  H01M8/1253 ,  H01M8/1286 ,  H01M2008/1293 ,  Y02E60/525 ,  Y02P70/56

Abstract: 本发明提供一种燃料电池单电池，可防止形成含有Ca及其它元素的扩散层，并防止因烧成而导致电解质的结晶结构崩溃，且低温下的发电性能优异。一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠内侧电极、固体电解质及外侧电极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其特征在于，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石而构成，至少在所述内侧电极层叠侧的表面区域中，以CaO换算Ca元素含量为0.2质量%以下。

公开(公告)号：CN104518232A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410497919.6

申请日：2014-09-25

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 渡邉直树 ,  井坂畅夫 ,  星子琢也 ,  佐藤真树 ,  田中修平 ,  安藤茂 ,  冈本修 ,  古屋正纪 ,  籾山大 ,  端山洁

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/02 ,  H01M8/24

CPC classification number: H01M8/1246 ,  H01M2/065 ,  H01M8/0202 ,  H01M8/0271 ,  H01M8/0273 ,  H01M8/0282 ,  H01M8/0286 ,  H01M8/0662 ,  H01M8/12 ,  H01M2008/1293 ,  Y02P70/56

Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池装置的制造方法，使用陶瓷粘接剂气密地接合燃料电池模块内的构成部件。本发明是一种固体氧化物型燃料电池装置的制造方法，其特征在于，具备：粘接剂附着工序，使陶瓷粘接剂附着于接合部，以气密地构成引导燃料的流路；及干燥固化工序，使陶瓷粘接剂干燥固化，干燥固化工序具有：作业可能固化工序，使陶瓷粘接剂以规定的第1温度固化至可实施下一个制造工序的状态；及溶剂除去固化工序，在反复执行多次粘接剂附着工序及作业可能固化工序后进行，溶剂除去固化工序通过上升至比第1温度高，且与发电运行时的燃料电池单电池的温度大致相等的第2温度，从而使各作业可能固化工序中固化的陶瓷粘接剂进一步固化。

公开(公告)号：CN104518231A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410502996.6

申请日：2014-09-26

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 安藤茂 ,  渡邉直树 ,  星子琢也 ,  田中修平 ,  佐藤真树 ,  井坂畅夫 ,  籾山大 ,  古屋正纪 ,  端山洁 ,  柿沼保夫 ,  冈本修

IPC: H01M8/10

CPC classification number: H01M8/2465 ,  H01M8/006 ,  H01M8/0217 ,  H01M8/0236 ,  H01M8/1226 ,  H01M8/1231 ,  H01M8/1286 ,  H01M8/2425 ,  H01M2008/1293

Abstract: 本发明提供固体氧化物型燃料电池电堆，增大绝缘支撑体的热传导率而使起动停止时间变为较短时间，减小比重而设置作业性良好，以及提高高温的体积电阻率，发电性能优异，其具备两个以上在内部具备气体流路的具有透气性的多孔质绝缘支撑体上依次层叠内侧电极、电解质、外侧电极而构成的发电元件，在两个以上的发电元件中，邻接的两个发电元件中的一个发电元件的内侧电极与另一个发电元件的外侧电极通过互连器而被电连接，由此串联连接有两个以上的发电元件，绝缘支撑体含有镁橄榄石，在绝缘支撑体的至少发电元件层叠侧的表面区域内，Mg元素及Si元素含量分别以MgO及SiO2换算合计为90质量％以上，互连器含有由(A，B)(Ti，C)O3-δ表示的钛系钙钛矿型氧化物。

公开(公告)号：CN104078696A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410123757.X

申请日：2014-03-28

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 安藤茂 ,  冈本修 ,  端山洁 ,  古屋正纪 ,  籾山大 ,  井坂畅夫 ,  佐藤真树 ,  田中修平 ,  星子琢也 ,  渡边直树 ,  柿沼保夫

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/02

CPC classification number: H01M8/0236 ,  C04B35/20 ,  C04B38/067 ,  C04B2111/00853 ,  C04B2111/00913 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/72 ,  H01M4/8621 ,  H01M4/8885 ,  H01M4/9025 ,  H01M4/905 ,  H01M4/9066 ,  H01M8/004 ,  H01M8/0243 ,  H01M8/0245 ,  H01M8/0252 ,  H01M8/0637 ,  H01M8/1097 ,  H01M8/1226 ,  H01M8/124 ,  H01M8/1246 ,  H01M2008/1293 ,  Y02E60/521 ,  Y02E60/525 ,  Y02E60/566 ,  Y02P70/56

Abstract: 本发明的目的在于提供一种固体氧化物型燃料电池单电池，能够在多孔质支撑体中对燃料气体进行重整而使发电效率提高。提供一种固体氧化物型燃料电池单电池，是在多孔质支撑体的表面上依次层叠燃料极、固体电解质及空气极而构成的固体氧化物型燃料电池单电池，其为，所述多孔质支撑体含有镁橄榄石和镍元素而构成，Ni及／或NiO微粒露出并存在于构成所述多孔质支撑体的镁橄榄石烧结体的表面上。

公开(公告)号：CN103493268A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201280018035.7

申请日：2012-04-10

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 籾山大 ,  柿沼保夫 ,  高桥悠也 ,  石黑明 ,  安藤茂 ,  川上晃

IPC: H01M8/02 ,  H01B1/08 ,  H01M8/12

CPC classification number: H01M8/1016 ,  H01B1/08 ,  H01M4/9025 ,  H01M8/1246 ,  H01M2300/0074 ,  Y02E60/521 ,  Y02E60/525 ,  Y02P70/56

Abstract: 本发明提供一种固体电解质型燃料电池，使MgO散布于固体电解质层即LSGM的晶界。从夹着LDC而形成在与LSGM相反一侧的燃料极扩散的Ni成分被该散布的MgO粒子捕捉，抑制其在电解质层中向空气极侧扩散。

公开(公告)号：CN118841357A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202410078362.6

申请日：2024-01-19

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 池口雅文 ,  小林幸太 ,  籾山大

IPC: H01L21/683 ,  B32B9/04 ,  B32B15/20 ,  B32B7/12 ,  B32B3/08 ,  B32B3/24 ,  B32B33/00 ,  C09J183/04

Abstract: 本发明提供一种能够使接合层的厚度及拉伸弹性模量适当化，并能够降低施加在电介体基板上的热应力的静电吸盘。具体而言，静电吸盘(10)具备电介体基板(100)和由金属材料形成的底盘(200)以及被设置在电介体基板(100)和底盘(200)之间的接合层(300)。在使接合层(300)的厚度为T(μm)，使‑100℃下的接合层(300)的拉伸弹性模量为E(MPa)时，满足E≦0.04×T‑0.04的条件。