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公开(公告)号：CN100595942C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200710091649.9
申请日：2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/047 , B41J2/14 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置，该驱动装置，具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300)，并且，使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上，从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。
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公开(公告)号：CN112810318B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202011265376.7
申请日：2020-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在抑制裂纹的产生的同时，提高振动板的刚性的液体喷出头以及液体喷出头的制造方法。本发明的液体喷出头在第一方向上排列设置有：压电体；振动板，其相对于压电体而被设置于第一方向的一方侧；压力室基板，其相对于振动板而被设置于一方侧，且具备对向液体施加压力的压力室进行划分的多个划分壁，在该液体喷出头中，当将压力室内的与第一方向交叉的第二方向上的两个位置中的、在第二方向上至位于最近的位置的划分壁为止的第二方向的距离较长的一个位置设为第一位置，并将该距离较短的一个位置设为第二位置时，在第一位置以及第二位置上均设置有压电体和振动板这双方，且第二位置处的振动板的厚度小于第一位置处的振动板的厚度。
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公开(公告)号：CN111746119B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202010213771.4
申请日：2020-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本公开内容涉及一种液体喷出头、以及液体喷出装置，并涉及使较多量的液体从喷嘴喷出的技术。液体喷出头具备：喷嘴，其喷出液体；压力腔列，其以使与喷嘴连通的压力腔沿着第一轴方向而排列多个的方式而被形成；第一贮留部以及第二贮留部，所述第一贮留部以及所述第二贮留部以共用的方式而与多个压力腔连通，压力腔列包括与第一贮留部连通的第一压力腔、和与第二贮留部连通的第二压力腔，液体喷出头还具备连通流道，所述连通流道将第一压力腔和所述第二压力腔以共用的方式而与一个所述喷嘴连通。
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公开(公告)号：CN114801482A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210092477.1
申请日：2022-01-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的裂纹的发生的同时提升了振动板的位移量的液体喷射头以及液体喷射装置。所述液体喷射头设为如下结构：压电致动器(300)在作为压力室(12)的并排设置方向的第一方向上，在与压力室(12)的两端部相对应的振动板(50)的第一区域(P1)具备压电体层(70)被第一电极(60)和第二电极(80)夹着的活性部(310)，在与压力室(12)的中央部相对应的第二区域(P2)不具备活性部(310)，并且振动板(50)在第一方向上，在第一区域(P1)具有预定厚度的厚壁部(55)，在第二区域(P2)具有与厚壁部(55)相比厚度较薄的薄壁部(56)。
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公开(公告)号：CN114523765A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202111254404.X
申请日：2021-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供用于解决有可能因在驱动时的压电体层的发热而使压电致动器损伤的问题的压电器件、液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的制造方法。当将第二电极(80)的与第一方向交叉的第二方向上的两个区域中的、距第二电极(80)的端部(80b)较远的一个区域设为第一区域(S1)，且将距第二电极(80)的端部(80b)较近的一个区域设为第二区域(S2)时，第一区域(S1)的压电体层(70)进行(100)面择优取向，使第二区域(S2)的压电体层的(100)面取向率低于第一区域(S1)的压电体层(70)的(100)面取向率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111823714B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010300803.4
申请日：2020-04-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动板的位移量较大的液体喷出头以及打印机。液体喷出头包括：喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；振动板，其被设置于所述硅基板上；压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包括含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。
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公开(公告)号：CN113442586A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110301259.X
申请日：2021-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 高部本规
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种抑制振动板和压电元件的裂纹的液体喷出头、液体喷出装置及致动器。该液体喷出头具有压电元件、划分与压电元件对应的压力室的压力室基板、设在压电元件与压力室基板间的振动板。在将多个压力室排列方向设为第一方向，多个压力室各自延伸方向设为第二方向，第二方向的压力室内的特定位置设为第一位置，第二方向的压力室内的特定位置且在第二方向上比第一位置更靠近压力室的端部位置设为第二位置时，振动板在第一及第二位置处具有第一部分和第一方向上比第一部分离压力室的端部更远且具有与第一部分不同厚度的第二部分。第一位置处第二部分的第一方向的宽度为第一宽度，第二位置处第二部分的第一方向的宽度为小于第一宽度的第二宽度。
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公开(公告)号：CN110091603B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201910079269.6
申请日：2019-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 高部本规
Abstract: 本发明提供一种压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。压电器件具备：基板，其形成有多个第一凹部；振动板，其被设置于基板的一面侧；压电元件，其具有隔着振动板而被设置于基板的一面侧的第一电极、被设置于第一电极上的压电体层和被设置于压电体层上的第二电极，在压电元件中，压电体层的由第一电极与第二电极夹持的活性部针对每个第一凹部独立设置，第一电极构成针对各活性部而独立设置的独立电极，第二电极构成由多个活性部共用设置的共用电极，在压电体层上设置有第二凹部，第二凹部被设置于活性部的外侧且向与基板的相反侧开口，在基板与压电元件的层压方向上，振动板在至少与第二凹部的底面重叠的区域的第二电极侧的最上层具有氮化膜。
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公开(公告)号：CN110654117A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910562578.9
申请日：2019-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其能够减少回收侧的共有流道的液体的即将喷射完成的液体喷射压对于新被喷射的液体造成的影响。安装有具有多个喷嘴的喷嘴板的流道形成基板通过向多个喷嘴的液体供给所共用的共有供给通道、和从该共有供给通道分支而到达压力室的每个喷嘴的独立供给通道而形成供给流道，并通过与每个喷嘴的连通通道连通的每个喷嘴的独立回收通道和该独立回收通道汇合且被共用于来自多个喷嘴的液体回收的共有回收通道而形成回收流道，其中，所述每个喷嘴的连通通道对喷嘴与压力室进行连通。而且，共有供给通道跨及流道区域而被具有挠性的供给侧可挠板液密性地封闭，共有回收通道被具有挠性的回收侧可挠板液密性地封闭。
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公开(公告)号：CN110091603A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910079269.6
申请日：2019-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 高部本规
Abstract: 本发明提供一种压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。压电器件具备：基板，其形成有多个第一凹部；振动板，其被设置于基板的一面侧；压电元件，其具有隔着振动板而被设置于基板的一面侧的第一电极、被设置于第一电极上的压电体层和被设置于压电体层上的第二电极，在压电元件中，压电体层的由第一电极与第二电极夹持的活性部针对每个第一凹部独立设置，第一电极构成针对各活性部而独立设置的独立电极，第二电极构成由多个活性部共用设置的共用电极，在压电体层上设置有第二凹部，第二凹部被设置于活性部的外侧且向与基板的相反侧开口，在基板与压电元件的层压方向上，振动板在至少与第二凹部的底面重叠的区域的第二电极侧的最上层具有氮化膜。
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