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公开(公告)号：CN103518165A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201280022338.6
申请日：2012-04-05
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。
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公开(公告)号：CN101258456B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200680031548.6
申请日：2006-08-28
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： G01F1/42 , F16K37/0091 , G05D7/0635
摘要： 能够不将阀从流体供给系统的配管路径拆下而利用具有压力传感器的流量控制装置的功能简单且迅速、正确地检查组装在使用流量控制装置的流体供给系统中的多个阀的动作不良及座泄漏等异常。具体而言，在装备有包括流量设定机构、流量及压力的显示机构及或流量自诊断机构的具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统中，利用上述流量控制装置的上述压力的显示值及或流量自诊断机构的诊断值检测上述流量控制装置及设在其上游侧及或下游侧的控制阀的异常。
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公开(公告)号：CN101253458B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200680031240.1
申请日：2006-05-10
申请人： 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要： 本发明的目的在于，不分解、组装压力式流量控制装置，就能简单地更换其节流器，从而可容易地进行控制流量的切换。本发明的节流器更换型压力式流量控制装置，在具有流体供给用配管的连接部的入口侧安装用块(39)和具有流体取出用配管的连接部的出口侧安装用块(43)之间，配置压力式流量控制装置(A)的控制阀(2)的阀体(23)，通过使该阀体(23)的流体入口侧与前述入口侧安装用块(39)、前述阀体(23)的流体出口侧与前述出口侧安装用块(43)分别能够分解地以气密状态连接，形成气体通过前述控制阀(2)流通的流路，并且，在设置于前述阀体(23)的出口侧的垫片型节流器插入孔(42c)与出口侧安装用块(43)的垫片型节流器插入孔(43b)之间，拆装自如地插入压力式流量控制装置(A)的垫片型节流器(38)。
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公开(公告)号：CN102057340A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200980121364.2
申请日：2009-04-06
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要： 在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P2)和控制压的设定值(Pst)，利用比例控制方式而向压力调整阀(15)的压电元件驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，通过使积分动作无效，将控制器的所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的控制。
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公开(公告)号：CN102016740A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114746.2
申请日：2009-02-18
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7762
摘要： 本发明提供一种具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路。在具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路(5)中，与控制部的驱动电路并联地设置用于使控制阀高速关闭的关闭电路(8)，通过使流量自身诊断时的阀的关闭时间延迟减少，在流量自身诊断时获得高精度的诊断结果。
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公开(公告)号：CN101258456A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680031548.6
申请日：2006-08-28
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： G01F1/42 , F16K37/0091 , G05D7/0635
摘要： 能够不将阀从流体供给系统的配管路径拆下而利用具有压力传感器的流量控制装置的功能简单且迅速、正确地检查组装在使用流量控制装置的流体供给系统中的多个阀的动作不良及座泄漏等异常。具体而言，在装备有包括流量设定机构、流量及压力的显示机构及或流量自诊断机构的具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统中，利用上述流量控制装置的上述压力的显示值及或流量自诊断机构的诊断值检测上述流量控制装置及设在其上游侧及或下游侧的控制阀的异常。
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公开(公告)号：CN101253458A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200680031240.1
申请日：2006-05-10
申请人： 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要： 本发明的目的在于，不分解、组装压力式流量控制装置，就能简单地更换其节流器，从而可容易地进行控制流量的切换。本发明的节流器更换型压力式流量控制装置，在具有流体供给用配管的连接部的入口侧安装用块(39)和具有流体取出用配管的连接部的出口侧安装用块(43)之间，配置压力式流量控制装置(A)的控制阀(2)的阀体(23)，通过使该阀体(23)的流体入口侧与前述入口侧安装用块(39)、前述阀体(23)的流体出口侧与前述出口侧安装用块(43)分别能够分解地以气密状态连接，形成气体通过前述控制阀(2)流通的流路，并且，在设置于前述阀体(23)的出口侧的垫片型节流器插入孔(42c)与出口侧安装用块(43)的垫片型节流器插入孔(43b)之间，拆装自如地插入压力式流量控制装置(A)的垫片型节流器(38)。
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公开(公告)号：CN109074104B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN112272809A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201980032448.2
申请日：2019-06-19
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明提供一种使用流量控制装置(100)进行的在流量上升时的流量控制方法，流量控制装置(100)具备：设置于流路第一控制阀(6)；设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)；和对第一控制阀的下游侧且第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)，流量控制方法包含：(a)在将第二控制阀关闭的状态下，使用压力传感器求出在第一控制阀的下游残留的压力的步骤；和(b)通过基于压力传感器的输出调整第二控制阀的开度，对在第一控制阀下游残留的压力进行控制，在第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体的步骤。
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公开(公告)号：CN110114601B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201780080823.1
申请日：2017-12-22
申请人： 株式会社富士金
摘要： 一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。
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