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公开(公告)号：CN104028898A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410229233.9
申请日：2014-05-23
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/122 , B23K26/70
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/082 , B23K26/083 , B23K26/123 , B23K26/40 , B23K2101/18 , B23K2103/50 , C23C14/28
Abstract: 本发明公开了一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置，加工装置主要包括：保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层、悬浮颗粒、进气管，容器所设空腔内装有工作液体；在激光作用下工作液在基材下表面产生沉积层，固液接触面处液体中的悬浮颗粒和上述沉积层结合增强对激光能量的吸收，使得激光焦点附近蓝宝石材料温度达到其熔化和气化温度；并且在激光辐照下，以悬浮颗粒为中心产生大量微小气泡，气泡爆破冲击力冲刷切槽，利于碎屑的排出，两者共同作用最终实现对材料的去除。本发明加工方法中切槽热效应小，加工区域无重凝层，加工质量好，可以实现成形切割。本发明的加工方法操作简单，方便实用，具有较高的加工速率且加工成本极低。
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公开(公告)号：CN115989975B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202310070785.9
申请日：2023-01-13
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开一种对接组件以及清洁系统，该对接组件包括对接安装座、供液管以及自适应弹性件；所述对接安装座固定设置在基站上，该对接安装座上设有中空的安装内腔，该安装内腔的侧壁设有至少两个第一安装槽；所述供液管的一端延伸至对接安装座的安装内腔中，且与清洁设备的补液管连通，该供液管的一端上设有至少两个第二安装槽；所述自适应弹性件设有至少两个；所述自适应弹性件的一端延伸至第一安装槽中，该自适应弹性件的另一端延伸至第二安装槽中。本发明的对接组件具有较大的对接活动自由度，能够容许较大的对接偏差，确保一次对接成功。
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公开(公告)号：CN115381337A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211069263.9
申请日：2022-08-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开一种扫拖机器人和的越障方法，其中扫拖机器人包括底盘，底盘的下侧设有转向轮、变径行走组件和顶升装置；变径行走组件包括行走轮和变径件，当扫拖机器人需要越过障碍时，变径件可向行走轮的外侧伸出；顶升装置包括下伸件，当需要越过障碍时，下伸件可向下伸出并把底盘的后侧顶起；扫拖机器人还包括运动检测组件，运动检测组件用于检测扫拖机器人是否越过障碍。当扫拖机器人不能越过障碍时，变径驱动装置可驱动变径件向行走轮的外侧伸出，相当于增大了行走轮的外径，顶升装置中的下伸驱动装置可带动下伸件向下伸出并把底盘顶起，调整底盘的角度姿态，可以增加行走轮与地面接触、底盘摆脱障碍的可能性，提高扫拖机器人的越障能力。
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公开(公告)号：CN115361785A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202211013249.7
申请日：2022-08-23
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及电路板修复的技术领域，更具体地，涉及一种精细线路的制备/修复方法及系统，包括以下步骤：S10.通过第一CCD视觉系统定位或识别线路板的开路缺陷位置；S20.选用空间光调制器，将激光加工系统发出的激光束调制为弧形激光束；S30.将步骤S20中调制得到的弧形激光束聚焦于牺牲层实现供体靶材转移沉积在步骤S10中的开路缺陷位置；步骤S20中，按以下步骤进行：S21.激光加工系统加工得到原始光束；S22.选用空间光调制器中的轴棱锥透镜，通过调节轴棱锥透镜图案的底部和顶部之间的相位差进行光场调制；S23.通过调整在空间调制器上加载的轴棱锥透镜图案的位置，将激光束调制成弧形激光束。本发明可以实现大接收间隙下较高的修复效率和修复精度，可满足精细线路的修复要求或精细线路的制备要求。
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公开(公告)号：CN113644035A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110904415.1
申请日：2021-08-06
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，更具体地，涉及一种半导体晶圆及其激光加工方法、系统，包括晶圆本体，所述晶圆本体包括基板层和设置于所述基板层上表面的low‑k层，所述low‑k层上排列有多个芯片，相邻的芯片之间具有预定的切割道，所述晶圆本体底部设置垫层，所述low‑k层上沿切割道的延伸方向设有隔离道，所述隔离道不与基板层相通；所述隔离道内沿其延伸方向设有分割道，所述分割道与low‑k层、基板层、垫层均相通。本发明能够有效避免切割过程中low‑k层产生裂纹、崩角或剥离的问题，防止芯粒性能受影响，提高半导体晶圆的加工质量与加工效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113547736A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110708018.7
申请日：2021-06-24
Applicant: 广东工业大学
IPC: B29C64/135 , B29C64/268 , B29C64/273 , B29C64/393 , B29C64/245 , B22F10/20 , B22F10/366 , B22F10/85 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y50/02
Abstract: 本发明涉及3D打印的技术领域，更具体地，涉及一种多材料激光诱导转移3D打印方法及装置，包括以下步骤：激光器产生激光束，将激光束调整为水平偏振状态，后对激光束进行扩束准直；经准直的激光束经反射进入空间光调制器调制得到目标光光束形状；对调整好的激光束进行收拢聚焦，使得激光束发散角度变小，并对收拢的激光束进行再次准直得到平行激光束；平行激光束中特定波长的激光经物镜再次聚焦用于加工，同时，CCD视觉系统实时监测加工过程。本发明的多材料激光诱导转移3D打印方法及装置，通过空间光调制器对激光光束整形并结合激光诱导转移技术，实现对任意形状、多材料的3D微结构的制备，扩大了激光诱导向前转移技术的适用范围。
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公开(公告)号：CN112255191A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011020559.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明涉及激光加工的技术领域，更具体地，涉及激光诱导击穿光谱与声反射结合的在线监测系统及方法，包括三轴平台、飞秒激光加工系统、等离子体光谱检测系统、ICCD摄像系统及声反射检测系统、图像采集系统及控制端：待加工工件安装于三轴平台；等离子体光谱检测系统对等离子体辐射的光进行光谱分析；ICCD摄像系统拍摄激光作用产生的等离子照片；声反射检测系统检测加工过程待加工工件表面声音信号；图像采集系统实时拍摄待加工工件表面得到表面形貌照片。本发明结合激光诱导击穿光谱与声反射的优势，不仅可以监测扫线扫面加工过程声信号的变化，而且可实现在线原位检测，在不干扰中断加工过程的前提下，对物理过程变化及成分信息进行快速实时的监测。
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公开(公告)号：CN106430177B
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201610633550.6
申请日：2016-07-29
Applicant: 广东工业大学
IPC: C01B32/205 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供了一种限制层作用下的纳米石墨颗粒的激光连续制备方法，其步骤如下：1)将石墨片靶材置于工作台上；2)将限制层贴合放置在石墨片上方；3)将脉冲激光聚焦在石墨靶材与限制层的交界面处，对石墨靶材进行扫描填充烧蚀；4)在限制层作用下，激光诱导等离子体的冲击作用将所获得的石墨颗粒推到液流运输通道中，液流将颗粒运输到容器当中；5)将容器中的溶液干燥后，可以得到纳米尺寸的石墨颗粒。本发明无需使用昂贵的设备，在限制层的作用下，通过操作简单的激光烧蚀法，使用廉价碳质原料就可得到具有耐高温、导电导热性良好、润滑性能好、化学稳定性好等优点的石墨纳米颗粒，在相关领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN107283067A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201710568014.7
申请日：2017-07-06
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23K26/364 , B23K26/60
CPC classification number: B23K26/364 , B23K26/60
Abstract: 本发明公开了一种金属基板微热管不等宽微槽道的激光制备方法，包括如下步骤：1)清洗金属基板，得到干净的金属基板；2)将金属基板平整放置于工作台，调整激光焦点聚焦于金属基板表面；3)在金属基板一端垫一定厚度的纸板，使金属基板倾斜1～2°；4)激光焦点位置固定不变，振镜沿X/Y方向扫描，通过激光刻蚀的方法在金属基板上制备出不等宽微槽道。该发明通过倾斜放置金属基板，使金属基板在X方向上每一处的离焦量不同，由此加工出不等宽微槽道。本发明提供的激光制备方法简单，成本低廉，安全环保，微槽道尺寸小、数目多，为工质液体回流提供的毛细压力大，有助于提高平板微热管的传热性能。
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公开(公告)号：CN104308728B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201410535599.9
申请日：2014-09-27
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明是一种带真空吸盘的抛光头，抛光头能够快速稳定吸附工件，能独立旋转并且转速可由抛光机调节，能改变抛光压力。抛光头由吸盘、高速旋转接头、真空软管、真空发生器按顺序串联组成，其中所述吸盘有两种方案：1.吸盘包括盘面、盘底、真空管、连接盘面和盘底的螺栓、不同质量的压块，使用不同质量压块组合调节工件上的抛光压力；2.吸盘包括盘面、盘底、定位轴、真空管、定位筒、弹簧、调压螺母、保持架、限位架、保持架端面环，通过调压螺母压缩弹簧改变作用于工件上的抛光压力。本发明能代替传统的胶水、可溶性蜡等物质粘结工件的方法，并且成本低，操作简单，可以提高加工效率和加工精度。本发明与旋转摆动重力式研磨抛光机组合使用。
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