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公开(公告)号:CN101101062A
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200710011709.1
申请日:2007-06-12
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明一种可动真空装置,属于真空密封领域,特别适用于在制造微流控芯片的热压、键合设备中实现密封腔频繁开合的侧壁真空密封。一种可动真空装置由上密封腔、下密封腔、抽真空管和气液软管组成,上密封腔为圆柱形,内腔为圆环形,上密封腔顶部平面上均匀安装有多个与外部动力源联接的内六角圆柱头螺钉;下密封腔为圆柱形,有间隙的安装在上密封腔的内腔中,下密封腔的下平面上均匀安装有多个与外部机构固定的内六角圆柱头螺钉;下密封腔的圆柱面上有环形凹槽,气液软管逆时针旋绕于下密封腔环形凹槽中。本发明密封方式实用性好、适用性强,腔室能够实现快速频繁开合及在真空密封后做相对运动,降低了制造成本低,运动灵活且精度高。
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公开(公告)号:CN101088912A
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200710011530.6
申请日:2007-05-30
申请人: 大连理工大学
CPC分类号: B29C65/08 , B01L3/502707 , B01L2300/0877 , B29C66/12463 , B29C66/30223 , B29C66/322 , B29C66/3242 , B29C66/534 , B29C66/53461 , B29C66/54 , B29C66/73921 , B29C66/929 , B29C66/939 , B29C66/949 , B29L2031/756 , B81B2201/058 , B81B2203/0338 , B81C3/001 , B81C2203/032
摘要: 一种导能导流和精密定位的聚合物微结构超声波键合结构,属于聚合物微机电系统加工技术领域,用于聚合物微流控芯片的键合。其特征在于该结构包括微导能梁、微导流槽和微定位舌,利用模具热压、注塑或精密机械加工聚合物基片获得微流控芯片的微通道、微导能梁、微导流槽和微定位舌;在塑料超声波焊机上采用超声波键合的方式将微通道封接,获得微流控芯片。本发明的效果和益处是采用超声波键合的方法提高了键合效率,导能导流和精密定位微结构有利于形成稳定的键合强度,解决了精密定位困难,提高芯片制作成品率。
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公开(公告)号:CN1710428A
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:CN200510046645.X
申请日:2005-06-08
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: G01P21/00
摘要: 本发明高载微构件动态特性测试装置,是属于微机电系统中动态测试装置领域。一种高载微构件动态特性测试装置,由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成。高速转台的一端是转臂,另一端为轴套形状。真空室通过螺栓安装在高速转台的转臂上,光纤旋转接头安装在高速转台轴套中;隔振泡沫、减振质量、压电激振器、微构件、光纤探头夹持装置和光纤探测头均安装在真空室内。使用该发明可以测试常态、动态下结构的动态特性,便于分析研究。其结构简单、易于调试。扩充了仪器的功能,测试精度较高;可用它对微加速度传感器进行标定。
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公开(公告)号:CN1704329A
公开(公告)日:2005-12-07
申请号:CN200410020675.9
申请日:2004-06-04
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明一种电热驱动柔性微夾钳,属于微机电系统领域中的微执行器类。电热驱动柔性微夾钳由驱动和钳体两部分组成,驱动部分为V形梁阵列。微夹钳钳体结构为一整体柔性结构,它由钳体固定部分、电极、柔性铰、柔性铰、连接杆、柔性铰、钳臂、夹持端、V形梁阵列、钳体中间上部、下部不同的几何形体构成,无需任何装配。钳体的中间上部由两个半圆环状通过三条筋板状结构相连并与杆状钳体中间下部相连,钳体的中间上部和中间下部可以改变为多种形状。这种微夾钳结构紧凑,控制简单,输出位移大,可用于微操作和微装配中。
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公开(公告)号:CN114714241A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202210294043.X
申请日:2022-03-24
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明属于精密加工和测量技术领域,提供一种高精度齿轮渐开线样板微进刀纯滚动研磨装置及其使用方法,其结构包括:油石、油石夹具、压电促动器、连接块、连接桥、连接桥挡板和位姿调整螺钉;通过压电促动器实现研磨过程中油石纳米量级的进刀,在研磨过程中可以实现渐开线样板的可控定量去除,有利于提高渐开线样板的研磨效率和研磨精度。本发明装置有利于降低齿轮渐开线样板的齿廓偏差和齿面的表面粗糙度并改变齿轮渐开线样板经磨削后的表面纹理,可用于高精度齿轮渐开线样板的加工,具有良好的应用前景与推广价值。
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公开(公告)号:CN113478026B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202110734391.X
申请日:2021-06-30
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明属于精密加工和测试技术领域,涉及一种用于高精度渐开线纯滚动展成装置的线轮驱动机构。其结构包括:线轮驱动组件、电动直线滑台、L板、立柱滑台、立柱底座和平台;通过电动直线滑台带动线轮驱动组件运动,进而利用钢丝绳缠绕在线轮绳槽中产生的摩擦力矩驱动滚动组件在导轨上做纯滚动运动;左、右线轮采用同一根钢丝绳缠绕,可保证钢丝绳与左、右线轮间摩擦力矩的一致性;钢丝绳为柔性,可减弱该装置的误差及外界干扰等因素对齿轮渐开线样板加工和测量的影响;通过调整钢丝绳的张紧量可控制摩擦力矩的大小;该装置可用于高精度渐开线纯滚动展成装置的驱动,具有良好的市场应用前景与推广价值。
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公开(公告)号:CN113199092B
公开(公告)日:2022-03-29
申请号:CN202110609123.5
申请日:2021-06-01
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: B23F19/02
摘要: 本发明属于精密齿轮加工技术领域,涉及一种齿轮对研装置的研磨剂涂敷与防护装置,该装置利用齿形羊毛毡轮,将研磨剂均匀涂敷到齿形羊毛毡轮上,在两个对研齿轮的带动下,浮动轴系上的齿形羊毛毡轮将研磨剂均匀地涂敷到对研齿轮上,凃敷回转轴系采用三重密封的结构,可以有效防止研磨剂污染凃敷回转轴系;防护罩由透明的亚克力板粘接制成,将两个对研齿轮与外部隔离,该齿轮对研装置的研磨剂涂敷与防护装置具有结构简单,成本低,防护效果好的优点。
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公开(公告)号:CN114111547A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202111359142.3
申请日:2021-11-17
IPC分类号: G01B7/00
摘要: 一种齿轮螺旋线样板的纯滚动测量方法与装置,利用分度台准确控制直线导轨滑块组件可按不同基圆螺旋角数值进行转动;测点的高度值为展成导轨工作面的安装高度;齿轮螺旋线样板纯滚动时,滑块在两根固定导轨工作面上作直线运动,电感微位移测头完成对不同基圆螺旋角的齿轮螺旋线样板螺旋线偏差的测量,驱动齿轮螺旋线样板作纯滚动运动的精度及电感微位移测头高精度直线运动的精度,不直接影响齿轮螺旋线样板测量精度,测量误差源少,测量精度高。本发明符合渐开线螺旋面的生成原理,经过误差补偿后可实现1级精度齿轮螺旋线样板螺旋线偏差的测量。
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公开(公告)号:CN113865470A
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN202111128762.6
申请日:2021-09-26
申请人: 大连理工大学
IPC分类号: G01B5/252
摘要: 本发明属于精密装配技术领域,提供一种用于矩形零件在回转台上对称安装的回转轴系及调整方法。为实现矩形零件在回转台上的对称安装,首先调整高精度芯轴和回转台回转轴线的同轴度不大于3μm,然后以芯轴作为装调基准将00级平尺贴合在矩形零件两平行定位面,利用高精度的回转轴系实现千分表的回转,搜索千分表与平尺从接触到分离过程中的示数极值,最后通过微调矩形零件的位置直至两次示数极值相等,实现矩形零件在回转台上沿半径方向或直径方向的对称安装。本发明提供的一种用于矩形零件在回转台上的对称装调方法具有结构简单、装调精度高、操作方便等优点,广泛应用于矩形零件或类似零件在回转台上对称安装和定位操作,具有良好的市场应用前景。
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公开(公告)号:CN113478024A
公开(公告)日:2021-10-08
申请号:CN202110734306.X
申请日:2021-06-30
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明属于精密加工与测试技术领域,涉及一种高精度渐开线纯滚动展成装置、装配及应用,装置包括平台、基圆盘定位挡板、滚动组件和导轨组件;滚动组件结构对称,质量平衡,便于保证纯滚动过程中的稳定性;滚动组件径向参考基准统一,并以齿轮渐开线样板工件的两端面为轴向安装基准;基圆盘与导轨之间的摩擦系数较大,抑制基圆盘滚动过程中打滑;弹性增摩软带增大基圆盘与导轨之间的阻尼和摩擦力,具有减振功能,提高了滚动组件运动的平稳性。装配方法及其应用可提高高精度渐开线纯滚动展成装置的装配精度,扩展该装置在展成加工、测量渐开线方面的应用领域,可用于1级精度齿轮渐开线样板的加工与测量领域,具有良好的市场应用前景与推广价值。
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