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公开(公告)号:CN101499619B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200910007989.8
申请日:2007-03-06
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供:包含在发光部分形成的,并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体的涂膜的氮化物半导体发光器件;和制备所述氮化物半导体发光器件的方法。本发明还提供包含氮化物半导体层和栅极绝缘膜的氮化物半导体晶体管器件,所述栅极绝缘膜与所述氮化物半导体层接触并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体。
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公开(公告)号:CN102136673A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN201110041101.X
申请日:2006-10-08
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01S5/2231 , B82Y20/00 , H01L33/44 , H01S5/0021 , H01S5/028 , H01S5/0282 , H01S5/34333
Abstract: 本发明提供了一种氮化物半导体发光器件。该氮化物半导体发光器件,包括:III-V族氮化物半导体层;设置在III-V族氮化物半导体层中的腔;以及在腔的端面上形成的端面涂覆膜;其中,端面涂敷膜具有在其面对腔的端面的一侧上的氧化铝层,设置在端面涂覆膜和腔的端面之间的由氮化铝形成的隔离层;以及隔离层具有1nm以上且20nm以下的厚度。
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公开(公告)号:CN1983748B
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200610171711.0
申请日:2006-12-15
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01S5/34333 , B82Y20/00 , H01L33/44 , H01S5/028 , H01S5/2036 , H01S5/22
Abstract: 在光射出部形成涂膜的氮化物半导体发光元件,是一种光射出部由氮化物半导体构成、与光射出部相接的涂膜由氧氮化物构成的氮化物半导体发光元件。还有一种氮化物半导体激光元件的制造方法,是制造在共振器端面形成涂膜的氮化物半导体激光元件的方法,包括通过解理形成共振器端面的工序和在共振器端面形成由氧氮化物构成的涂膜的工序。
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公开(公告)号:CN102044843A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN201010559244.5
申请日:2006-10-08
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01S5/028
CPC classification number: H01S5/2231 , B82Y20/00 , H01L33/44 , H01S5/0021 , H01S5/028 , H01S5/0282 , H01S5/34333
Abstract: 本发明提供了一种氮化物半导体发光器件。该氮化物半导体发光器件,包括:III-V族氮化物半导体层;设置在III-V族氮化物半导体层中的腔;以及在腔的端面上形成的端面涂覆膜;其中,端面涂敷膜具有在其面对腔的端面的一侧上的氧化铝层,设置在端面涂覆膜和腔的端面之间的由氮化铝形成的隔离层;以及隔离层具有1nm以上且20nm以下的厚度。
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公开(公告)号:CN101950920A
公开(公告)日:2011-01-19
申请号:CN201010294325.7
申请日:2008-06-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明公开了一种发光装置及其制造方法。该发光装置包括光吸收膜(5),其形成在用在激光器装置中的典型地为激光器芯片(1)的激光器芯片的发光侧的端部表面的最外表面上,并且该光吸收膜吸收部分所发射的光。通过形成该光吸收膜(5),抑制了由与所发射的光反应引起的污染物的附着和聚集。
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公开(公告)号:CN101453098B
公开(公告)日:2010-09-22
申请号:CN200810178899.0
申请日:2008-12-08
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01S5/028 , B82Y20/00 , H01S5/0281 , H01S5/0282 , H01S5/2201 , H01S5/34333
Abstract: 本发明公开了一种发光元件及其制造方法。在使用具有六方晶体结构的氮化物半导体的激光芯片1中,-c面被用作第一谐振器端面A,其为通过其光被发射得激光芯片1侧。在第一谐振器端面A上,也就是在-c面上,形成端面保护膜14。这确保在第一谐振器端面A和端面保护膜14之间稳固地接合,并减轻第一谐振器端面A的退化。
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公开(公告)号:CN101794965A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN201010003506.X
申请日:2007-04-24
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01S5/34333 , B82Y20/00 , H01S5/0014 , H01S5/028 , H01S5/221 , H01S5/2231
Abstract: 本发明公开一种氮化物半导体发光元件以及该氮化物半导体发光元件的制造方法,是在光出射部上依次形成涂层膜和反射率调整膜的半导体发光元件,其中,光出射部由氮氧化物半导体构成,涂层膜由铝的氧化物膜或铝的氮化物膜构成,反射率调整膜由氧化物膜构成。
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公开(公告)号:CN101383481A
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN200810004011.1
申请日:2006-08-28
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 对具有氮化物半导体层的衬底解理,以形成谐振器端面,在所述谐振器端面上形成涂覆膜,从而制成氮化物半导体激光棒。将其划分为氮化物半导体激光元件。在谐振器端面形成涂覆膜之前,将谐振器端面暴露于由含有氮气的气体生成的等离子体气氛中。当以“a”表示所述暴露之前所述谐振器端面的表面内的氮镓比率,以“b”表示在所述暴露之前自所述谐振器端面的表面起的内部的氮镓比率的平均值,以“d”表示在暴露于所述等离子体气氛之后所述谐振器端面的表面内的氮镓比率,以“e”表示在所述暴露之后自所述谐振器端面的表面起的内部的氮镓比率的平均值时,将由g=(b·d)/(a·e)表示的值“g”设为满足g≥0.8的值。
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公开(公告)号:CN101043063A
公开(公告)日:2007-09-26
申请号:CN200710085676.5
申请日:2007-03-06
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供:包含在发光部分形成的,并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体的涂膜的氮化物半导体发光器件;和制备所述氮化物半导体发光器件的方法。本发明还提供包含氮化物半导体层和栅极绝缘膜的氮化物半导体晶体管器件,所述栅极绝缘膜与所述氮化物半导体层接触并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体。
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公开(公告)号:CN1983654A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610168827.9
申请日:2006-12-14
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L33/00 , H01S5/00 , H01L21/314
CPC classification number: H01S5/028 , B82Y20/00 , H01L33/44 , H01S5/0021 , H01S5/2231 , H01S5/34333 , H01S2304/00
Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光器件,该氮化物半导体发光器件含有涂有涂膜的发光部分,所述发光部分由氮化物半导体形成,并且与发光部分接触的涂膜由与发光部分相邻沉积的氧氮化物膜和沉积在所述氧氮化物膜上的氧化物膜形成。还提供一种制备含有具有被涂膜涂覆的小面的空腔的氮化物半导体激光器的方法,该方法包括以下步骤:提供解理以形成空腔的小面;和用涂膜涂覆空腔的小面,所述涂膜由与空腔的小面相邻沉积的氧氮化物膜和沉积在氧氮化物膜的氧化物膜形成。
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