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公开(公告)号：CN111426287A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010327424.4
申请日：2020-04-23
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种并行彩色共聚焦平面度测量系统。该述系统中分光镜设置在复色光源的出射光路上；按照设定排布方式排列的多个光纤构成的柔性光纤束设置在分光镜的出射光路上；按照设定排布方式排列的多个微色散透镜单元构成的微色散透镜阵列与柔性光纤束的出射端耦合；微色散透镜阵列的出射光路上设置待测物，使色散后的不同波长的光聚焦在不同位置上；待测物将到达其表面的光反射至分光镜；按照设定排布方式排列的小孔阵列设置在分光镜的反射光路上以透过聚焦在待测物表面的光；彩色相机对透过小孔阵列的光进行拍摄得到彩色图像，进而确定待测物表面的平面度、弯曲度和翘曲度。本发明能实现多点并行测量，提高待测物体的平面度的测量效率。
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公开(公告)号：CN111412863A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010327432.9
申请日：2020-04-23
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统，其特征在于，包括：从上至下依次排列的复色光源、分光模块、色散模块、载物模块以及位于分光模块一侧的成像模块，被测物位于色散模块和载物模块之间，复色光源发出的复色光经分光模块分光后传播至色散模块进行并行色散，使得不同波长的光线按照波长规律聚焦在各自轴向的不同高度位置处，光线到达被测物表面并由被测物表面反射至分光模块中，再由分光模块对光线进行再次反射，聚焦在被测物表面的波长的光线经反射后到达成像模块成像。本发明的并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统，使用方便，测量效率和测量精度高。
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公开(公告)号：CN110778869A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911104947.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种二维运动平台，包括水平布置的载物板、用于驱动所述载物板移动的驱动模块、用于支撑所述载物板的支承模块以及用于控制所述驱动模块运动的控制模块，所述载物板水平布置在所述驱动模块和所述支承模块的上方，所述载物板和所述驱动模块刚性连接，且所述载物板和所述支承模块柔性铰接。通过设置驱动模块和支承模块两个导向模块形成差动系统，在保证运动精度的情况下有效提高了运动行程，能够同时实现高精度和大行程。同时将运动平台的各部分按功能模块化，将运动导向元件模块化为驱动模块和支承模块；将运动平台的工作载物平面模块化为载物板部分，各模块均为通用元器件，且可按需增减部分模块，二次开发灵活性较好。
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公开(公告)号：CN217740508U
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202221838983.2
申请日：2022-07-18
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/687
Abstract: 本实用新型提供了一种用于承载不同直径衬底的承载样品台及其装置，包括承载衬底直径依次递减的第一、第二、第三、第四承载机构；第一承载机构包括中心部为空的第一承载面、可拆卸配置在第一承载面的第一位置上的第一悬臂梁结构，第一悬臂梁结构用于承载衬底，第一承载面的第二位置用于与承载样品装置可拆卸连接；依次类推，可得到第二、第三、第四承载机构，第二承载面的第二位置可拆卸配置在第一承载面的第一位置上，第三承载面的第二位置可拆卸配置在第二承载面的第一位置上，所述第四承载面的第二位置可拆卸配置在第三承载面的第一位置上。此外，现有承载设备在承载大直径衬底时，存在补偿范围过大，影响补偿精度、测量具有不确定度的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN211423758U
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201921953127.X
申请日：2019-11-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供一种二维运动平台，包括水平布置的载物板、用于驱动所述载物板移动的驱动模块、用于支撑所述载物板的支承模块以及用于控制所述驱动模块运动的控制模块，所述载物板水平布置在所述驱动模块和所述支承模块的上方，所述载物板和所述驱动模块刚性连接，且所述载物板和所述支承模块柔性铰接。通过设置驱动模块和支承模块两个导向模块形成差动系统，在保证运动精度的情况下有效提高了运动行程，能够同时实现高精度和大行程。同时将运动平台的各部分按功能模块化，将运动导向元件模块化为驱动模块和支承模块；将运动平台的工作载物平面模块化为载物板部分，各模块均为通用元器件，且可按需增减部分模块，二次开发灵活性较好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN214591203U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202120377887.1
申请日：2021-02-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了一种基于超声振动减摩现象箝位式压电步进电机，包括第一换能器、第二换能器、第一导轨夹具、第二导轨夹具、第一换能器夹具、第二换能器夹具、直线运动动子、叠层压电陶瓷、连接杆和基座；第一换能器由第一换能器夹具固定在基座上，第二换能器由第二换能器夹具固定并且第二换能器夹具与基座之间滑动连接；第一导轨夹具及第二导轨夹具与第一换能器及第二换能器固定连接；所述叠层压电陶瓷的一端与基座连接，所述叠层压电陶瓷的另一端通过所述连接杆与第二换能器夹具连接。应用本技术方案可实现在保持实现纳米级分辨率的同时还可以进行双向无限行程的运动。
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公开(公告)号：CN214470666U
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202120208346.6
申请日：2021-01-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其包括照明光路、水平运动平台、反射光路、采集光路和计算模块。水平运动平台上能安装被测物。照明光路的入射光部分聚焦至被测物表面，再反射至所述反射光路，再在反射光路上反向射回，并经过反射光路上的分光镜侧向射出反射光路，射向所述采集光路。所述计算模块连接于所述采集光路和所述水平运动平台。本测量系统以倾斜射入测试光波的方式对被测物表面信息进行采集，采集光路采集到的波长信息代表当前测量物表面的相对轴向高度，计算模块通过结合水平运动平台扫描测量被测物整个表面的高度变化值，生成表面三维形貌图。本实用新型不仅适用于水平表面的探测，也适用于竖直表面的探测。
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公开(公告)号：CN213956278U
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202120202250.9
申请日：2021-01-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统，包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块，色散成不同波长的多个光束，再聚焦至运动载物模块上的被测物，移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集，光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来，射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息，通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据，将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成表面形貌图像。本测量系统和检测方法适用于在几何空间受限时，检测样品表面形貌。
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公开(公告)号：CN210719020U
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201921300999.6
申请日：2019-08-13
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型公开了基于光场栅的位移测量装置，包括测量系统、线性位移工作平台和光电探测器模块；测量系统包括系统光源、半透半反分光平面镜、两激光扩束准直器和两平面反射镜；第一平面反射镜能相对该整体摆动以能调节偏转角度，线性位移工作平台能相对该整体平移和旋转；系统光源发出的一束光入射到半透半反分光平面镜后被分为传播方向互相垂直且能量相等的两束相干光；两束相干光分别经第一激光扩束准直器与第二激光扩束准直器放大直径；通过第一平面反射镜和第二平面反射镜控制光路，使两束相干光都打在线性位移工作平台上表面以能产生两个椭圆光斑。该方法在保证高精度的同时，简化了测量系统的结构，减小了安装误差。
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