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公开(公告)号：CN113064325B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110302889.9
申请日：2021-03-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , B29C64/124 , B33Y10/00
Abstract: 本发明属于激光直写技术领域，更具体地，涉及一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用。其将自由基单体、自由基光引发剂、自由基交联剂、阳离子单体和阳离子光引发剂混合均匀，得到复合型光刻胶，然后将飞秒激光聚焦在复合型光刻胶之中，控制飞秒激光的波长、功率及加工速度，使自由基体系和阳离子体系分别聚合交联，从而形成不同材料的三维微纳结构。本发明方法只需使用一种光刻胶前驱体即可在同一微纳结构内实现多组分的高精度材料集成，且仅经过一次显影过程，操作步骤简单。同时，其控制手段稳定简便，不需要添加其他组件，可直接应用于大部分微纳激光3D打印装置。
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公开(公告)号：CN114839772A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210776431.1
申请日：2022-07-04
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种复振幅调制超表面器件的设计与实现方法，属于超表面领域。方法包括：使用具有不同几何尺寸的各向同性的单元结构作为超表面器件的基本组成单位；所述单元结构为圆柱体，通过改变其半径和高度实现同时对波前的透过率和相位的调节。具有对偏振不敏感的特点，同时还能够实现复振幅调制。此外，本发明还提出了一种搜索算法，具有鲁棒性强，实施简单的特点，可以非常容易的从二维参数扫描数据中查找均匀分布的离散值结构，不仅适用于本发明，在其他具有类似搜索需求的场景下也同样适用。
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公开(公告)号：CN114545619A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210173204.X
申请日：2022-02-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及光学扫描领域，特别是涉及一种基于4f系统的远心扫描装置，包括光路设置的第一反射镜、第二反射镜和场镜，其特征在于，还包括依次沿光路设置在第一反射镜和第二反射镜之间的第一透镜和第二透镜；所述第一反射镜和第二反射镜为具有不共线固定旋转轴的偏转镜；所述第一透镜和第二透镜的焦距分别为f1和f2；所述第一反射镜、第一透镜、第二透镜、第二反射镜在一条光轴上依次放置，间距依次为f1、f1+f2和f2；所述场镜的物方焦点位于第二反射镜上。本发明通过结合4f系统的设计，消除了二维激光扫描装置中两个反射镜无法重合导致的远心光束角度偏移，提高了光束扫描的精度，本发明具有的简单巧妙的结构，有效控制了生产成本。
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公开(公告)号：CN114171370A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111363171.7
申请日：2021-11-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于材料制备技术领域，更具体地，涉及一种相对封闭区域固相法制备石墨烯的方法。该方法在衬底上沉积碳源层和催化金属层后得到石墨烯制备前驱体，直接将该石墨烯制备前驱体倒置或者在该前驱体表面放置惰性盖体，形成封闭区域，然后加热退火制备得到免转移大面积高质量石墨烯，相对于正着放置或不设置盖体的开放区域固相法制备，该相对封闭区域固相法制备得到的石墨烯质量更好，无金属残留，碳源选择范围更大。
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公开(公告)号：CN112859538B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110045996.8
申请日：2021-01-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于声光偏转器的双光子聚合激光直写加工系统，包括：利用声光偏转器实现每秒50000行的高速激光扫描，使激光点的扫描速度达到5000mm/s以上。本发明消除了超快激光经过声光偏转器产生的角色散，补偿了声光偏转器高速扫描引入的像散，使扫描范围内的激光点均能实现紧聚焦，具有相同的峰值功率，实现扫描范围内任意位置处的加工特征尺寸相同且达到衍射极限值，进而实现对任意三维微纳结构的高速、高精度加工。本发明通过消除超快激光经过声光偏转器产生的角色散，补偿声光偏转器高速扫描引入的像散，实现了与传统双光子聚合激光直写加工系统相同的加工特征尺寸，同时大幅提高了加工速度，可将加工效率提高500倍以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113064325A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110302889.9
申请日：2021-03-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , B29C64/124 , B33Y10/00
Abstract: 本发明属于激光直写技术领域，更具体地，涉及一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用。其将自由基单体、自由基光引发剂、自由基交联剂、阳离子单体和阳离子光引发剂混合均匀，得到复合型光刻胶，然后将飞秒激光聚焦在复合型光刻胶之中，控制飞秒激光的波长、功率及加工速度，使自由基体系和阳离子体系分别聚合交联，从而形成不同材料的三维微纳结构。本发明方法只需使用一种光刻胶前驱体即可在同一微纳结构内实现多组分的高精度材料集成，且仅经过一次显影过程，操作步骤简单。同时，其控制手段稳定简便，不需要添加其他组件，可直接应用于大部分微纳激光3D打印装置。
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公开(公告)号：CN110518117B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201910779092.0
申请日：2019-08-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L45/00
Abstract: 本发明属于微电子技术领域，公开了一种二维材料异质结的忆阻器及其制备方法，该忆阻器自下而上包括衬底、底电极层、二维材料异质结层及顶电极层，其中，所述二维材料异质结层作为中间介质层，是由两种不同的金属硫化合物构成的两层叠层结构，该叠层结构中的每一层对应其中一种金属硫化合物。本发明通过对器件所采用的关键功能层材料及器件整体结构设计等进行改进，与现有技术相比，完全基于二维材料构建了新型忆阻器，颠覆了传统的MIM结构，具有较低的工作电压、抗疲劳性和循环稳定特性；并且，该忆阻器在模拟神经元传递信息上表现出与神经突触传递信息高度的相似性，在未来类脑结构开发上具有极大的应用前景。
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公开(公告)号：CN110642978B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201910944989.4
申请日：2019-09-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C08F220/54 , C08F222/38 , C08J9/28 , C08L33/24
Abstract: 本发明公开了一种刺激响应性多孔水凝胶的制备方法，包括将聚合物单体、引发剂、交联剂和水按照预设的质量比在0～4℃下均匀混合，得到前驱液；将得到的前驱液置于‑10～‑40℃中冷冻聚合1～9h，获得冷冻凝胶；将所述冷冻凝胶置于4～20℃下的恒温环境中解冻聚合1～9h，得到刺激响应性多孔水凝胶。本发明提供的方法，采用先冷冻聚合后解冻聚合，冷冻条件为‑10～‑40℃，有利于冰晶的快速形成，从而大幅缩短了聚合时间，降低了制造成本。同时将得到的冷冻凝胶置于4～20℃下解冻聚合1～9h，冷冻凝胶在冰晶融化的同时快速的交联聚合，提高了水凝胶的弹性和抗疲劳性，由于冰晶融化后的多孔效应，提高了水凝胶的热响应特性和溶胀比。
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公开(公告)号：CN110518117A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910779092.0
申请日：2019-08-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L45/00
Abstract: 本发明属于微电子技术领域，公开了一种二维材料异质结的忆阻器及其制备方法，该忆阻器自下而上包括衬底、底电极层、二维材料异质结层及顶电极层，其中，所述二维材料异质结层作为中间介质层，是由两种不同的金属硫化合物构成的两层叠层结构，该叠层结构中的每一层对应其中一种金属硫化合物。本发明通过对器件所采用的关键功能层材料及器件整体结构设计等进行改进，与现有技术相比，完全基于二维材料构建了新型忆阻器，颠覆了传统的MIM结构，具有较低的工作电压、抗疲劳性和循环稳定特性；并且，该忆阻器在模拟神经元传递信息上表现出与神经突触传递信息高度的相似性，在未来类脑结构开发上具有极大的应用前景。
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公开(公告)号：CN110303257A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910693520.8
申请日：2019-07-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/046 , B23K26/06
Abstract: 本发明属于激光加工应用技术领域，公开了一种激光复合切割分离透明脆性材料的方法及装置，该方法是采用超短脉冲激光和连续激光两者同时作为贝塞尔激光光源，将两者同光轴合束得到贝塞尔合成激光束对透明脆性材料进行激光扫描，同时基于该贝塞尔合成激光束中超短脉冲激光部分对透明脆性材料的烧蚀改性机理、以及连续激光部分的热应力切割分离机理，实现激光复合切割分离透明脆性材料。本发明通过对切割方法的切割原理、加工工艺流程的整体设计，以及对应装置的各构成组件及它们的连接关系等进行改进，可一次高速完成切割分离透明脆性材料，无需后续施加分离力或温差进行分离工序，能够简化工艺流程，提高激光切割分离透明脆性材料的加工效率。
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