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公开(公告)号：CN117687129B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202311847795.5
申请日：2023-12-29
Abstract: 本发明公开了一种光寻址像素化空间光调制器与空间光场调制方法，属于微纳光学领域，本发明根据调控方式设计超像素超表面器件；计算光场调控量的空间分布并将其编码为结构光场分布；利用结构光场编码投影模块生成对应结构光束作用于超像素超表面器件，从而实现目标光场调制；能够实现高精度、高速度的像素化复杂光场调控；本发明提供的超像素超表面器件，借助于晶胞单元的小结构尺寸和优异的光场调控能力，能够实现高精度光场调控；借助于超晶胞的器件设计概念，结合结构光场编码投影模块可以实现像素化的任意光场调控。通过同时照射多个子结构以及对子结构进行复用设计，可增强器件的调制能力如实现复振幅调控等，具有较大的优化和功能挖掘潜力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116430678B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202310286115.0
申请日：2023-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。
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公开(公告)号：CN116430678A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310286115.0
申请日：2023-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于多焦点超透镜的飞秒激光直写系统，属于激光加工技术领域，包括：飞秒激光器，用于出射飞秒激光；光路调制组件，对飞秒激光的偏振态、功率和偏转方向进行调制，得到调制激光；多焦点超透镜，用于聚焦调制激光并在光刻胶内部产生多个焦点，同时具有消色差和消像差功能，得到目标激光；工作台组件，用于平移样品以使其处于目标激光的照射区域并利用目标激光进行三维微纳结构加工；观察组件，用于对样品的三维微纳结构加工过程激提供实时观察。本发明利用多焦点超透镜直接替代传统的聚焦物镜实现紧聚焦，实现对任意微纳结构的高通量、高精度、大视场加工，由此解决现有激光直写系统复杂度高、操作繁琐和不易维护的技术问题。
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公开(公告)号：CN114839772B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210776431.1
申请日：2022-07-04
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种复振幅调制超表面器件的设计与实现方法，属于超表面领域。方法包括：使用具有不同几何尺寸的各向同性的单元结构作为超表面器件的基本组成单位；所述单元结构为圆柱体，通过改变其半径和高度实现同时对波前的透过率和相位的调节。具有对偏振不敏感的特点，同时还能够实现复振幅调制。此外，本发明还提出了一种搜索算法，具有鲁棒性强，实施简单的特点，可以非常容易的从二维参数扫描数据中查找均匀分布的离散值结构，不仅适用于本发明，在其他具有类似搜索需求的场景下也同样适用。
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公开(公告)号：CN117687129A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311847795.5
申请日：2023-12-29
Abstract: 本发明公开了一种光寻址像素化空间光调制器与空间光场调制方法，属于微纳光学领域，本发明根据调控方式设计超像素超表面器件；计算光场调控量的空间分布并将其编码为结构光场分布；利用结构光场编码投影模块生成对应结构光束作用于超像素超表面器件，从而实现目标光场调制；能够实现高精度、高速度的像素化复杂光场调控；本发明提供的超像素超表面器件，借助于晶胞单元的小结构尺寸和优异的光场调控能力，能够实现高精度光场调控；借助于超晶胞的器件设计概念，结合结构光场编码投影模块可以实现像素化的任意光场调控。通过同时照射多个子结构以及对子结构进行复用设计，可增强器件的调制能力如实现复振幅调控等，具有较大的优化和功能挖掘潜力。
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公开(公告)号：CN114839772A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210776431.1
申请日：2022-07-04
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种复振幅调制超表面器件的设计与实现方法，属于超表面领域。方法包括：使用具有不同几何尺寸的各向同性的单元结构作为超表面器件的基本组成单位；所述单元结构为圆柱体，通过改变其半径和高度实现同时对波前的透过率和相位的调节。具有对偏振不敏感的特点，同时还能够实现复振幅调制。此外，本发明还提出了一种搜索算法，具有鲁棒性强，实施简单的特点，可以非常容易的从二维参数扫描数据中查找均匀分布的离散值结构，不仅适用于本发明，在其他具有类似搜索需求的场景下也同样适用。
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