玻璃上的微器件
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103460336A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201180069724.6

    申请日:2011-03-30

    Abstract: 本发明提出了一种在玻璃上制备具有微特征的微器件的方法。该方法包括以下步骤:预设第一玻璃基板,并在所述第一玻璃基板上制备金属图案,预设第二玻璃基板并在所述第二玻璃基板上设一个或多个通孔,在可控的升温中加热所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板,通过加压的方式键合所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板,以形成一个键合基板,其中,所述金属图案嵌于所述键合基板内,在可控的降温中冷却所述键合基板,然后将所述键合基板保持在一个适宜蚀刻的温度,蚀刻所述键合基板内的金属图案,其中,蚀刻剂通过所述通孔流入金属图案,在键合基板内形成的一个空间,其中,所述空间具有微特征。

    制造微流体器件的方法
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101668711A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200880013743.5

    申请日:2008-02-27

    Abstract: 本文描述了制造包含玻璃材料或含玻璃材料的微流体器件的方法,与使用现有技术生产的类似玻璃成形制品相比,本发明方法成本降低并且/或者维度性质提高。具体地说,提供具有图案化模塑表面的第一片刚性不粘材料片;提供第一用量的含玻璃组合物;使第一用量的含玻璃组合物接触图案化模塑表面,并且在图案化模塑表面和第二表面之间进行压制;将该片刚性不粘材料和第一用量的含玻璃组合物一起加热至足以软化该用量的含玻璃组合物的程度,从而在第一用量的含玻璃组合物中复制图案化模塑表面,形成含玻璃成形制品;密封含玻璃成形制品的至少一部分,形成其间具有至少一个流体通道的微流体器件。

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