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公开(公告)号：CN111128838B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN201910976997.7
申请日：2019-10-15
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够进一步抑制电弧放电的发生。具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路；及第1多孔质部，设置在所述基座板与所述陶瓷电介体基板的所述第1主面之间且与所述气体导入路相对的位置，其特征为，所述第1多孔质部具有分别具有多个孔且相互离开设置的多个疏松部分，所述多个疏松部分分别在相对于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向以规定角度倾斜的方向上延伸。
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公开(公告)号：CN111128837B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201910976863.5
申请日：2019-10-15
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够进一步抑制电弧放电的发生。具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；及第1多孔质部，设置在与所述气体导入路相对的位置，其特征为，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部，所述第1多孔质部具有：多孔部，具有多个孔；及第1致密部，比所述多孔部更致密，在向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时，构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠，所述多孔部与第1孔部并不重叠。
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公开(公告)号：CN110277342B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN201910149338.6
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
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公开(公告)号：CN111668151A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010143616.X
申请日：2020-03-04
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、向所述第1主面开口的槽；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述气体导入路之间，所述陶瓷电介体基板具有多个孔，其连通所述槽与所述气体导入路，在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向上穿通所述陶瓷电介体基板，所述第1多孔质部具有：多孔区域，具有多个孔；及致密区域，比所述多孔区域更致密，所述多孔区域还具有致密部，当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时，设置于所述陶瓷电介体基板的所述多个孔的至少1个构成为与所述致密部的至少1个发生重叠。
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公开(公告)号：CN111508884A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201911324485.9
申请日：2019-12-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：基座板；及陶瓷电解质基板，具有第1主面，其特征在于，所述第1主面至少包含第1区域、第2区域，所述第1主面的所述第1区域设置有多个第1槽、至少1个第1气体导入孔，所述多个第1槽包含：第1边界槽，最靠近于所述第1区域和所述第2区域之间的第1边界而设置，且沿着所述第1边界延伸；及至少1个第1区域内槽，在所述第1主面的所述第2区域中，设置有多个第2槽、至少1个第2气体导入孔，所述多个第2槽包含沿着所述第1边界延伸的第2边界槽，所述第1边界槽和所述第2边界槽之间的槽端部间距离比所述第1边界槽和邻接于所述第1边界槽的所述第1区域内槽之间的槽端部间距离更小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110277343A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910149763.5
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够提高强度。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述穿通孔，其特征为，所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域，所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触，所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。
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公开(公告)号：CN103843180B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280047932.0
申请日：2012-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01M8/1213 , H01M8/243 , H01M8/00 , H01M8/0282 , H01M8/0252
CPC classification number: H01M8/0282 , H01M8/004 , H01M8/0252 , H01M8/0271 , H01M8/1213 , H01M8/243
Abstract: 本发明提供一种固体氧化物型燃料电池（SOFC）装置，在SOFC装置（1）的构成燃料电池模块（2）的燃料电池单电池单元（16）中，集电帽（86a）隔着作为银密封部的密封材料（96）而与内侧电极层（90）连接。另外，密封材料（96）的上端面（96a）上被玻璃涂层（30）（致密体）包覆，该玻璃涂层（30）被设置为填充内侧电极层（90）及电解质层（94）与集电帽（86a）之间。如此，燃料电池单电池单元（16）具备：作为银密封部的密封材料（96），隔离燃料气体侧和氧化剂气体侧；及玻璃涂层（30），形成为覆盖该密封材料（96）的位于燃料气体侧的部位及位于氧化剂气体侧的部位中至少任意一方的至少一部分。
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公开(公告)号：CN102414894A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080019134.8
申请日：2010-03-31
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/04373 , C01B3/382 , C01B3/384 , C01B2203/0233 , C01B2203/0244 , C01B2203/0261 , C01B2203/066 , C01B2203/0811 , C01B2203/1058 , C01B2203/1064 , C01B2203/1258 , C01B2203/1604 , C01B2203/1609 , C01B2203/1619 , C01B2203/1685 , H01M8/0271 , H01M8/04014 , H01M8/04089 , H01M8/04223 , H01M8/04225 , H01M8/04228 , H01M8/0618 , H01M8/2428 , H01M8/243 , H01M8/2484 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明是一种固体电解质型燃料电池，其具有：配置在燃料电池模块(2)内的燃料电池单电池(84)；重整器(20)；检测其重整状态温度的重整器温度传感器148；及控制燃料电池模块的运行的控制部(110)，该控制部在执行了固体电解质型燃料电池模块的运行停止的状态下至少在POX温度区域内的高温区域中执行运行的再起动时，禁止基于通常起动时的POX的起动，而执行与该通常起动时的POX不同的再起动控制。
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公开(公告)号：CN101950810A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010226418.6
申请日：2010-07-08
Applicant: TOTO株式会社
CPC classification number: H01M8/243 , H01M8/2484 , H01M2008/1293
Abstract: 本发明的目的在于提供一种燃料电池，具体为，可向构成电堆的所有单电池均等、有效地供给反应气体。具体为，该燃料电池具备多个单电池(4)和配设在由多个单电池(4)构成的电堆(30)外侧的第一侧壁(71)、(72)。在第一侧壁(71)、(72)上形成有向电堆(30)供给反应气体的孔(713a)。单电池(4)沿着从孔(713a)喷出的反应气体的喷出方向配设为列状。孔(713a)形成为，从此处喷出的反应气体的一部分至少掠过配设在离第一侧壁(71)、(72)最近的位置上的单电池(4)，反应气体的剩余部分未掠过该配设在最近位置上的单电池(4)。
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公开(公告)号：CN101944626A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010223273.4
申请日：2010-07-02
Applicant: TOTO株式会社
Abstract: 本发明提供一种燃料电池，在组装时等不与燃料电池单电池干涉，能够向燃料电池单电池集合体整体均等、有效地供给反应气体。具体为，该燃料电池具备利用反应气体进行工作且直立设置的多个单电池(4)和配设在由多个单电池(4)构成的电堆(30)外侧的侧壁(71)及(72)。单电池(4)与侧壁(71)及(72)相对且沿着侧壁(71)及(72)并列设置，在侧壁(71)及(72)上沿着单电池(4)的并列设置方向形成有喷出反应气体从而向电堆(30)供给反应气体的孔。形成于第一区域(X)的孔的开口面积的合计开口面积比形成于第二区域(Y)的孔的合计开口面积大。
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