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公开(公告)号：CN1725306A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200510078649.6
申请日：2005-06-21
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G11B5/84 , G11B5/66 , H01L21/3065
摘要： 本发明提供一种可将被蚀刻层高精度地加工成所需的凹凸图形的形状的干式蚀刻方法，采用该方法的磁记录介质的制造方法，以及记录层由凹凸图形形成的、可确实获得良好的磁特性的磁记录介质。在基板上按顺序形成记录层(被蚀刻层)、主掩模层、副掩模层，将副掩模层加工成规定的凹凸图形(S106)，接着通过以氧或臭氧为反应气体的反应性离子蚀刻，去除凹部的主掩模层(S108)，此外，通过干式蚀刻，去除凹部的记录层，加工成上述凹凸图形的形状(S110)。主掩模层的材料的主要成分为碳，并且副掩模层的材料采用相对于主掩模层加工工序(S108)的反应性离子蚀刻的蚀刻率比碳低的材料。
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公开(公告)号：CN1697029A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200510067073.3
申请日：2005-04-27
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B11/10584 , B82Y10/00 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855
摘要： 本发明提供一种用非磁性材料基本上完全填充了作为凹凸图形的凸部而形成的记录要素之间的凹部的可靠性高的磁记录介质。磁记录介质(10)是包含有基板(12)、记录层(14)和非磁性材料(20)的板状体，上述记录层是在该基板上以规定的凹凸图形形成，而记录信息用的记录要素(16)作为上述凹凸图形的凸部而形成，上述非磁性材料填充在上述记录要素之间的凹部(18)中，该记录要素的侧面(16A)向着面向板状体的表面中上述记录要素在上述凹凸图形中突出一侧的表面(10A)的方向倾斜，并且该记录要素的侧面相对于与上述表面垂直的方向所构成的倾斜角(θ)小于90°，且为5°或5°以上。
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公开(公告)号：CN1661679A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200510008346.7
申请日：2005-02-17
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： B82Y10/00 , G11B5/012 , G11B5/65 , G11B5/74 , G11B5/743 , G11B5/855 , G11B2005/0002 , G11B2005/0005 , G11B2005/001 , G11B2005/0021 , G11B2005/0029
摘要： 本发明提供一种面记录密度高、记录·再现精度良好的磁记录再现装置。磁记录再现装置包括磁记录介质；用于加热磁记录介质并部分地降低磁道的矫顽磁力的加热磁头；用于将记录磁场施加给磁记录介质的被加热部分并在磁道上记录磁数据的记录磁头；以及用于检测磁道的再现磁场的再现磁头，其中磁记录介质的磁记录层由凹凸图案形成且磁道由预定的磁道宽度的凸部形成，磁道在磁道宽度方向上以预定的磁道间隔多个并列设置，有效记录区域的有效记录宽度限制在磁道宽度或以上且在磁道宽度和二倍的磁道之间的凹部宽度合计值或以下。
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公开(公告)号：CN1591586A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410068643.6
申请日：2004-09-03
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/7315 , C03C15/00 , C03C17/002 , C03C17/09 , C03C17/22 , C03C17/34 , C03C2204/08 , G11B5/82 , G11B5/8404 , Y10T428/265
摘要： 本发明的课题在于提供表面粗糙度小、低成本的磁记录媒体用衬底和含有该磁记录媒体用衬底的磁记录媒体及其制造方法。磁记录媒体用衬底(10)包括主衬底(12)和副衬底(14)；该主衬底(12)至少以一个面作为基面(12A)；该副衬底(14)通过偏置溅射法等的施加偏置功率的成膜方法，形成于该主衬底(12)的基面(12A)上；副衬底(14)的表面粗糙度小于主衬底(12)的基面(12A)的表面粗糙度。
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公开(公告)号：CN100454391C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610084244.8
申请日：2006-05-30
申请人： TDK股份有限公司
摘要： 本发明提供记录层以凹凸图案形成且生产效率高的磁记录介质、具有该磁记录介质的磁记录再现装置、用于制造该磁记录介质的压模、该压模的制造方法以及磁记录介质的制造方法。记录层(22)的伺服区域部分的一部分由不正规伺服凹凸图案形成，其中，相对基本的伺服凹凸图案，在上述不正规伺服凹凸图案的凹部和凸部之间的边界的角部中至少一部分角部比与该角部相当的基本伺服凹凸图案的角部更尖锐，而且，上述基本伺服凹凸图案是指，用于记录0以及1的信息中的任意一方的方格状区域为构成凹部的凹部单位区域(CU)且用于记录另一方信息的方格状区域为构成凸部的凸部单位区域(PU)的伺服凹凸图案。
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公开(公告)号：CN100419861C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200510079094.7
申请日：2005-06-24
申请人： TDK股份有限公司
摘要： 提供一种具有分割为多个记录要素的记录层的磁记录媒体及具备这种磁记录媒体的磁记录重放装置，可以抑制记录磁场的扩宽并可以有效地对记录对象的记录要素施加记录磁场。磁记录媒体(12)是一种垂直记录型的离散轨道型磁盘，包含基板(22)、形成在基板(22)上的软磁性层(24)和形成在软磁性层(24)上的记录层(26)，记录层(26)被取向为在垂直于表面的方向上具有磁各向异性且按规定的凹凸图案被分割为多个记录要素(26A)，将凹凸图案的凹部(28)形成到软磁性层(24)的厚度方向的途中。
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公开(公告)号：CN100411016C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200480027882.5
申请日：2004-09-24
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/667 , G11B5/7325 , G11B5/84 , G11B5/851 , G11B5/855
摘要： 提供一种表面粗糙度小而且低成本的磁记录介质以及磁记录介质的制造方法。软磁层16是将基板12侧的第一软磁层26、和记录层20侧的第二软磁层28层叠而构成；以第二软磁层28在记录层20侧的面28A的表面粗糙度小于基板12的基面12A的表面粗糙度，并且也小于第一软磁层26在记录层20侧的面26A的表面粗糙度的方式形成第二软磁层28。
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公开(公告)号：CN100407372C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200510005922.2
申请日：2005-01-19
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/00 , G03F7/00
CPC分类号： B29C43/021 , B29C43/003 , B29C43/52 , B29C2043/025 , B29D17/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/855 , G11B7/263
摘要： 本发明提供凹凸图形不产生变形及脱落，而且能够以短时间形成凹凸图形的压印方法。解决的手段是，依次进行将基材(盘片状基材(11)、磁性层(12)及金属层(13)的层叠体)的表面涂布树脂材料而形成的树脂层(14)加热至所述树脂材料的玻化温度以上的规定温度并在该状态下将压印模(20)按压在树脂层(14)上的压印模按压处理；以及一面维持加热树脂层(14)的状态或将加热的树脂层(14)保温的状态，一面从树脂层(14)剥离压印模(20)的压印模剥离处理，从而将压印模(20)的凹凸图形(33)的凹凸形状复印到树脂层(14)上，在基材上形成凹凸图形。
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