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公开(公告)号：CN100395819C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200510008346.7
申请日：2005-02-17
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： B82Y10/00 , G11B5/012 , G11B5/65 , G11B5/74 , G11B5/743 , G11B5/855 , G11B2005/0002 , G11B2005/0005 , G11B2005/001 , G11B2005/0021 , G11B2005/0029
摘要： 本发明提供一种面记录密度高、记录·再现精度良好的磁记录再现装置。磁记录再现装置包括磁记录介质；用于加热磁记录介质并部分地降低磁道的矫顽磁力的加热磁头；用于将记录磁场施加给磁记录介质的被加热部分并在磁道上记录磁数据的记录磁头；以及用于检测磁道的再现磁场的再现磁头，其中磁记录介质的磁记录层由凹凸图案形成且磁道由规定的磁道宽度的凸部形成，磁道在磁道宽度方向上以规定的磁道间隔多个并列设置，有效记录区域的有效记录宽度限制在磁道宽度以上且在磁道宽度和二倍的磁道之间的凹部宽度合计值以下。
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公开(公告)号：CN1305035C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200410089611.4
申请日：2004-10-28
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G11B5/84
CPC分类号： G11B5/855 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/49043 , Y10T29/49046 , Y10T29/49048 , Y10T29/49052
摘要： 本发明提供一种磁记录媒体的制造方法，能够确实高效率地制造具有表面充分平坦且记录·再现精度高的凹凸图案的记录层的磁记录媒体。包括在凹凸图案的记录层(32)上形成封顶膜(42)的封顶膜形成工序；在封顶膜(42)上形成下侧非磁性膜(36A)的下侧非磁性膜形成工序；在下侧非磁性膜(36A)上形成上侧非磁性膜(36B)的上侧非磁性膜形成工序，至少在上侧非磁性膜形成工序中对被加工体施加偏置功率，而且，在下侧非磁性膜形成工序中不施加偏置功率，或者相比于上侧非磁性膜形成工序将偏置功率抑制得小，将非磁性材料(36)填充到凹凸图案的凹部(34)内。
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公开(公告)号：CN1674107A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510063732.6
申请日：2005-03-24
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855
摘要： 本发明涉及信息记录媒体。本发明的目的在于提供能够减少其表面和磁头之间接触引起的两者的磨损，并且能够降低因贴合引起的两者的损坏的发生率的信息记录媒体。其手段是，在基体材料(11)的至少一个面上形成规定的凹凸图案的磁性层(14)的各凹部(22)埋入非磁性材料，同时在所述磁性层(14)的各凸部(21)的各上表面(21a)的至少一部分的区域，利用非磁性材料形成非磁性层(15)，所述非磁性层(15)形成为，其一部分比除该部分的其他部分更向与凸部(21)的突出方向相同的方向突出。
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公开(公告)号：CN100347757C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200510078649.6
申请日：2005-06-21
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G11B5/84 , G11B5/66 , H01L21/3065
摘要： 本发明提供一种可将被蚀刻层高精度地加工成所需的凹凸图形的形状的干式蚀刻方法，采用该方法的磁记录介质的制造方法，以及记录层由凹凸图形形成的、可确实获得良好的磁特性的磁记录介质。在基板上按顺序形成记录层(被蚀刻层)、主掩模层、副掩模层，将副掩模层加工成规定的凹凸图形(S106)，接着通过以氧或臭氧为反应气体的反应性离子蚀刻，去除凹部的主掩模层(S108)，此外，通过干式蚀刻，去除凹部的记录层，加工成上述凹凸图形的形状(S110)。主掩模层的材料的主要成分为碳，并且副掩模层的材料采用相对于主掩模层加工工序(S108)的反应性离子蚀刻的蚀刻率比碳低的材料。
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公开(公告)号：CN100336111C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200510071394.0
申请日：2005-05-20
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855
摘要： 本发明提供一种具有由预定的凹凸图案分割成多个记录要素的记录层，且记录/再现特性良好的磁记录介质以及可以效果良好地制造这种磁记录介质的磁记录介质制造方法。磁记录介质(10)包括基板(12)，形成在基板(12)上的软磁性层(14)，在与表面垂直方向上定向成具有磁的各相异性并形成在软磁性层(14)上、且由预定的凹凸图案分割成多个记录要素(16A)的记录层(16)，以及形成在记录层(16)和软磁性层(14)之间的非磁性中间层(18)，在数据区域中以预定的轨道形状形成记录要素(16A)。
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公开(公告)号：CN1873531A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610088681.7
申请日：2006-06-02
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027 , G11B5/62
摘要： 本发明提供一种能够以高精度形成相当于伺服信息的、微细且复杂的凹凸图案的凹凸图案形成方法以及利用该方法的磁记录介质的制造方法。在该凹凸图案形成方法中，将形成在树脂层支承材料上的树脂层(52)加工成不正规凹凸图案，并基于该树脂层(52)而对记录层(树脂层支承材料)进行蚀刻，从而将该记录层加工成使上述不正规凹凸图案接近上述基本凹凸图案的凹凸图案，其中，上述不正规凹凸图案是，相对规定的基本凹凸图案，在该基本凹凸图案的部分凹部上形成分割用凸部(52A)，而使该基本凹凸图案的至少一部分凹部分割了的凹凸图案。
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公开(公告)号：CN1702835A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200510005922.2
申请日：2005-01-19
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/00 , G03F7/00
CPC分类号： B29C43/021 , B29C43/003 , B29C43/52 , B29C2043/025 , B29D17/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/855 , G11B7/263
摘要： 本发明提供凹凸图形不产生变形及脱落，而且能够以短时间形成凹凸图形的压印方法。解决的手段是，依次进行将基材(盘片状基材(11)、磁性层(12)及金属层(13)的层叠体)的表面涂布树脂材料而形成的树脂层(14)加热至规定温度并在该状态下将压印模(20)按压在树脂层(14)上的压印模按压处理；以及一面维持加热树脂层(14)的状态或将加热的树脂层(14)保温的状态，一面从树脂层(14)剥离压印模(20)的压印模剥离处理，从而将压印模(20)的凹凸图形(33)的凹凸形状复印到树脂层(14)上，在基材上形成凹凸图形。
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公开(公告)号：CN1591588A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410068543.3
申请日：2004-08-26
申请人： TDK股份有限公司
IPC分类号： G11B5/84
CPC分类号： C03C17/002 , B05D1/42 , G11B5/855
摘要： 本发明提供一种能使凹凸图案的凹部深度均匀、并且能防止凹凸图案变形或剥落的形成凹凸图案用压印模。形成凹凸图案用压印模24通过按压基材表面的树脂层，在其表面的环形区域26上形成能在树脂层上形成凹凸图案的形成凹凸图案用的凸部31，并在相对环形区域26位于其外侧位置的外侧区域27及相对环形区域26位于其内侧位置的内侧区域28中至少一个区域上形成能将按压树脂层时的压力分散的分散压力用凸部32。
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公开(公告)号：CN1591587A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410064475.3
申请日：2004-08-27
申请人： TDK股份有限公司
CPC分类号： G11B5/855
摘要： 本发明提供一种磁记录媒体的制造方法，其能够有效可靠地制造具有形成了规定的凹凸图案的记录层且表面充分平坦的磁记录媒体，该制造方法，在非磁性材料填充步骤中，将作为每单位时间的成膜厚度的成膜率V、上述偏置功率为0的情况下的上述成膜率Vo、非磁性材料的成膜厚度t、记录元件的宽度L、记录元件之间的凹部的深度d，以满足下述关系式(I)的方式，调节成膜加工条件，并向被加工体(10)成膜·填充非磁性材料，其中该关系式为，0.1≤V/Vo≤－0.003×(L·d/t)+1.2……(I)。
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