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公开(公告)号：CN114477076B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210096469.4
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于双层梁结构的法布里珀罗加速度敏感芯片加工方法，包括以下步骤：首先在SOI晶圆的器件层刻蚀键合定位槽，完成后交替沉积氧化硅和氮化硅薄膜，并图形化形成增反膜；之后利用剥离工艺制作铝掩蔽，并采用深反应离子刻蚀技术刻蚀释放弹簧支撑梁的背腔；然后将两片经过上述步骤加工后的SOI晶圆进行键合，并利用刻蚀释放质量块结构；接着湿法腐蚀玻璃晶圆制作法布里珀罗腔的腔体，完成后在腔体表面沉积氧化硅和氮化硅多层增反膜；最后将弹簧质量结构与玻璃腔体进行小片胶合键合。本发明提供的方法可以完成基于双层全对称弹簧质量结构的法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片的加工，并且具有加工精度高、工艺简单、成品率高的优势。
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公开(公告)号：CN119177391A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411051285.1
申请日：2024-08-01
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微‑纳尺度陶瓷颗粒增强高铬铸铁基复合材料及其制备方法和应用，采用SnCl2和PdCl2分别对微米ZTA陶瓷颗粒进行酸洗、敏化处理和活化处理，接着借助磁力搅拌器对ZTA陶瓷颗粒化学镀NiMo金属镀层，镀液呈碱性，随后将NiMo@ZTA、V粉、高铬铸铁粉和酒精在球磨机上混合均匀，随后注入石墨模具；在压力作用下，通过放电等离子烧结技术制备复合材料，弥散分布的V与基体中的碳原位反应生成纳米VC陶瓷颗粒。微米ZTA陶瓷颗粒提供优异的耐磨性，同时纳米VC陶瓷增加了基体的强度和硬度，因此，获得了微‑纳尺度陶瓷颗粒增强铁基复合材料耐磨件。
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公开(公告)号：CN118486233A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410779517.9
申请日：2024-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种加密形变像素针网超结构及加密形变装置，包括输入形状、输出形状、张紧机构、针网超结构框架和针；若干针均匀排布在针网超结构框架内，且针能够轴向移动，形成针网；张紧机构设置在针网超结构框架上，且所有针均通过张紧机构连接在一起；输入形状位于针网的一侧，挤压针网后在针网的另一侧形成输出形状，输入形状和输出形状不同。本发明可实现形状转换和信息加密的功能，且功能的实现均通过机械结构实现，不依赖于任何电子元件，从而使可形变像素针网超结构的应用更为可靠，且受应用场合的限制更少。
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公开(公告)号：CN118408654A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410570021.0
申请日：2024-05-09
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于无线无源的位移温度复合式传感器，应答天线实现温度被测物的温度变化测量，询问天线和应答天线共同实现位移被测物的位移变化测量。应答天线和询问天线之间通过电磁波进行信息获取，询问天线实现将温度信息和位移信息传递给外部，从而实现基于无线无源的位移温度复合式传感器。
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公开(公告)号：CN113814966B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202111177206.8
申请日：2021-10-09
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种凸轮辅助的柔性连续体机器人单元，包括上单元块、柔性结构、凸轮高副和下单元块；上单元块和下单元块之间通过柔性结构进行连接；上单元块和下单元块间设置有凸轮高副；上单元块和下单元块的外围均分布有若干用于线驱动的穿线通孔。本发明的连续体机器人末端受到驱动线的施加的压力后，各相邻的两个单元块间受压，单元块绕着圆柱型接触辅助单元进行转动，同时使对应的柔性结构发生弯曲变形，以此使相邻的各个单元块之间产生相对运动。进一步通过驱动线的收紧和放松，可实现整体连续体机器人在较大空间内的变形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118326199A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410429610.7
申请日：2024-04-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种双相硼化物陶瓷颗粒增强铜基复合材料及其制备方法和应用，将不同比例的TiB2与MoB2陶瓷颗粒混合，使MoB2陶瓷颗粒纳米化，随后将混合后的陶瓷颗粒与铜钛合金粉球磨，将金属粉末包裹在陶瓷颗粒表面；将混合物注入石墨模具中，通过放电等离子烧结制备双相硼化物陶瓷颗粒增强铜基复合材料，随后结合固溶处理和时效处理，同时提高复合材料的强度和导电性；最后采用电子束强化技术来提高复合材料表层的硬度及耐磨性，陶瓷颗粒与铜基体之间的界面紧密结合，其结合方式为冶金结合，实现硼化物陶瓷颗粒增强铜基复合材料强度‑导电性‑耐磨性之间的强耦合。
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公开(公告)号：CN117226815A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202211740795.0
申请日：2022-12-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种多稳态机器人模块，模块中，两个第一轮盘间隔相对布置，第一轮盘包括第一数目的第一轮齿；第一刚性块位于两个第一轮盘之间，两个第一轮盘通过紧固件对称地固接于第一刚性块两侧；第二轮盘经由啮合第一轮齿的第二轮齿连接第一轮盘；连接器位于两个第二轮盘之间，连接器包括位于上方的第二刚性块和位于下方的第三刚性块，第二刚性块和第三刚性块之间经由一对平行的柔性细杆连接以构成柔性平行四边形机构，第一刚性块经由销轴铰接第二刚性块，第一轮盘相对第二轮盘进行多稳态运动，所述多稳态运动为单自由度的旋转和往复移动的复合运动，第一轮齿的廓线与第二轮齿的廓线为多稳态运动的一对共轭曲线。
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公开(公告)号：CN117226813A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202211664769.4
申请日：2022-12-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种超冗余多稳态变刚度机械臂，机械臂中，整体驱动绳的一端连接于整体驱动装置，穿过所有模块的第二通孔，另一端固连于最远端的模块；模块驱动绳一端固连于模块驱动装置，穿过所有模块的第一通孔，在抵达末端的模块的前一个模块时，通过其第二通孔，最后连接于末端模块的第二通孔；当柔性板不发生变形时，相邻模块的多稳态轮盘之间存在间隙，第一轮齿与第二轮齿不发生接触，当柔性板发生变形时，第一刚性块向下移动，上方多稳态轮盘的第一轮齿与下方多稳态轮盘的第二轮齿接触，相邻模块进行多稳态运动，多稳态运动为单自由度的旋转和往复移动的复合运动，第一轮齿的廓线与第二轮齿的廓线为多稳态运动的一对共轭曲线。
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公开(公告)号：CN117070786A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311272903.0
申请日：2023-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种具有纳米尺度异质结构的高熵合金及其制备方法，将Al，Co，Cr，Ni，V颗粒混合得到固体混合颗粒；对真空熔炼炉进行抽真空处理并通入保护气体，然后对固体混合颗粒进行熔炼，得到AlCoCrNiV高熵合金试样；对AlCoCrNiV试样进行线切割和粗加工；对高熵合金试样进行力学性能测试和高温循环氧化测试，然后得到高熵合金AlCoCrNiV的显微硬度、抗压强度和高温抗氧化性能。本发明方法通过真空电弧熔炼得到了组织均匀的高熵合金块体，通过Al的加入，改变高熵合金的微观组织结构，在基体中出现了分布均匀的纳米析出相异质结构，有效提高材料的显微硬度和屈服强度等力学性能。
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公开(公告)号：CN116720422A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310377270.3
申请日：2023-04-10
Applicant: 西安交通大学 , 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
IPC: G06F30/27 , G06F18/214 , G06F18/25 , G06N3/006 , G06N3/084 , G06F111/08
Abstract: 本发明公开了一种基于融合神经网络的薄膜热电偶误差补偿方法及系统，包括：构建BP神经网络；将粒子群优化算法融合到BP神经网络模型中；将标准热电偶温度传感器热电势作为输出标签，薄膜热电偶热电势作为输入特征，放入训练后的神经网络，训练后的神经网络经过自身训练学习，达成训练的目标；根据MSE损失函数的计算方法，计算训练后薄膜热电偶温度传感器输出电压预测值与标准热电偶温度传感器输出电压之间的最低误差。本发明将神经网络技术引入薄膜热电偶进行补偿，在薄膜热电偶输出的后端对热电曲线进行校正，同时在硬件层面相较于现存技术大幅度简化，精度也可以随着所收集的数据集的增多而在后续不断迭代提高，且不局限于实验室工况。
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