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公开(公告)号：CN112287488B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202011228319.1
申请日：2020-11-06
Applicant: 清华大学
IPC: G06F30/17 , G06F119/14
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法，包括如下部件：若干固定体和一梁长约束体；若干直梁，若干所述直梁的第一端分别与若干所述固定体一一对应连接，若干所述直梁的第二端分别与所述梁长约束体连接；当所述直梁与所述梁长约束体连接的端点发生位移时，所述梁长约束体和所述固定体约束所述直梁在长度方向发生变形。本发明的非线性弹性约束结构与线性弹性约束结构相比，在相同的外力冲击下，可以减小可动部分的位移，避免可动部分与保护挡块碰撞，或减小碰撞时的撞击力，更好地保护器件微结构。
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公开(公告)号：CN108844531B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201810303836.7
申请日：2018-04-03
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/567
Abstract: 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置，其中，方法包括以下步骤：通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺，使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值，并获取自然频率估计值；当陀螺的振动状态达到预设条件时，将自然频率估计值作为初始频率，并通过锁相环方式驱动微机电陀螺，以使得微机电陀螺的振动频率锁定至自然频率和微机电陀螺的幅值稳定于设定值。该方法可以在仅了解高Q值微机电陀螺自然频率大致散布范围的情况下，使其快速起振并精确地锁定至自然频率稳幅工作，并且有效提高高Q值微机电陀螺驱动控制鲁棒性。
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公开(公告)号：CN107579713B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201710908802.6
申请日：2017-09-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种新型跨导运算放大器电路，该运算放大器包括相互连接的N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路以及数据驱动辅助充电支路单元；数据驱动辅助充电支路单元包括电流镜单元和比较控制单元；电流镜单元包括：电流源单元和开关单元；比较控制单元，用于检测N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路的正负输入端的输入差分信号，并当输入差分信号大于或等于比较控制单元的打开阈值时控制开关单元中相应的开关打开，以使电流源单元经过比较控制单元的输出端为负载充电。通过本发明实施例方案，提高了放大器对负载的响应速度并降低了功耗。
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公开(公告)号：CN109738093A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910097689.7
申请日：2019-01-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法，其包括微机电器件和谐振梁；微机电器件包括由上向下依次设置的结构层、锚点层和基片层；谐振梁采用U型结构，其设置在结构层和基片层之间，U型结构的顶部和底部的两端通过3个锚点固定到基片层上；谐振梁的U型结构内部设置有一个检测电极，该检测电极的端部通过锚点与基片层固定连接；谐振梁的U型结构的外部上、下两侧各设置一个外部检测电极，两外部检测电极通过锚点与基片层固定连接；谐振梁与内、外部检测电极之间设置有电容，在谐振梁与检测电极之间施加电压产生静电力驱动谐振梁振动，通过检测电极与谐振梁之间电容量的变化检测谐振梁的振动。本发明可以广泛应用于微机电器件的应力检测领域。
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公开(公告)号：CN108544739A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810319845.5
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种半球谐振器的热成型装置及半模压热成型加工方法，其中的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106587585A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611183128.1
申请日：2016-12-20
Applicant: 沈阳市超高真空应用技术研究所 , 清华大学
IPC: C03B29/06 , C03B27/012 , C03B27/00 , C03B35/00
CPC classification number: C03B29/06 , C03B27/00 , C03B27/012 , C03B35/00
Abstract: 本发明涉及一种双腔室可控压力高温急冷热成形系统及工艺，其中，热成形系统包括：高温腔室，与高温腔室相连通的低温腔室和横向设置在低温腔室内且远离高温腔室一侧的送料杆；高温腔室包括密闭金属外壳、设置在密闭金属外壳内部的保温层、设置在密闭金属外壳上的加热电极以及载物托盘放置装置；密闭金属外壳上还设置有高温放气阀门和高温抽气阀门；高温腔室内靠近低温腔室的部分设置有隔温挡板；低温腔室由低温密闭金属外壳围成，内部包括冷却腔室、换料腔室和换料窗口；低温密闭金属外壳上还设置有低温充气阀门和低温抽气阀门；送料杆的行程能穿过低温腔室直达高温腔室的内部；高温抽气阀门与低温抽气阀门相连通。
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公开(公告)号：CN104931032A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510362795.5
申请日：2015-06-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明涉及一种单锚定点四质量块MEMS谐振式陀螺仪，该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括：中心对称结构的支撑架，一端键合到基板层上、另一端固定连接于支撑架对称中心的锚定支撑柱和以锚定支撑柱为中心对称均匀分布在支撑架四周、并分别通过悬臂梁连接到支撑架上的四个质量块，每个质量块均能够在支撑架平面内产生“主模态”振动，或“次模态”振动，或同时产生“主模态”和“次模态”振动；基板层上还设置有固定电容极板，每个质量块内部设置有可动电容极板，固定电容极板与可动电容极板对应组合，形成与每个质量块相对应的驱动电容、驱动检测电容、检测电容和/或力平衡电容。本发明在角速度传感器领域有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN1490926A
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：CN03157391.6
申请日：2003-09-19
Applicant: 清华大学
IPC: H02N1/00
Abstract: 用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法，属于微机械传感器的控制技术领域。为了克服现有方法中电耦合和引入的1/f噪声的影响，本发明公开了一种用于微机械传感器的半频驱动方法，其特征在于：在静电式差动驱动器的两个驱动电极上，施加两路纯交流电压进行驱动，且所述两路电压相差90°，其频率为动子振动频率的一半。该方法可消除由驱动电压到传感器检测输出的电耦合，并能减小由驱动电压上引入的1/f噪声的影响，并针对这种驱动方法利用小范围内作近似的的办法消除电压到静电力的非线性影响，实现了闭环控制。
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公开(公告)号：CN208232294U
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201820508434.6
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型涉及一种半球谐振器的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205449087U
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201620173367.8
申请日：2016-03-08
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/574
Abstract: 本实用新型涉及一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪，该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括拥有四对称轴的八边形平面框架结构的支撑架，四根沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架外侧的锚定支撑柱，四个沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架内侧的质量块，四个分别设置在四个质量块与支撑架之间的驱动检测单元和四个分别设置在四个质量块远离支撑架一侧的驱动单元；相对的两个质量块完全相同，每个质量块接近支撑架的一侧设置有驱动检测电容可动极板、远离支撑架的一侧设置有驱动电容可动极板，质量块能在支撑架平面内产生“主模态”振动，或者产生“次模态”振动，或者同时产生“主模态”和“次模态”振动。
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