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公开(公告)号：CN103560780B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201310556667.5
申请日：2013-11-11
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: H03K19/0175
Abstract: 一种绝对光栅信号处理方法，所述信号处理方法包括以下步骤：首先，在由信号处理板卡提供的时钟信号CLK0I+、CLK0I-的激励下，绝对光栅的数据信号DATA0I+、DATA0I-共模滤波后经差分收发模块I传输给可编程逻辑器件，可编程逻辑器件对输入信号处理后输出两路与输入信号相同的信号，一路信号经差分收发模块II并共模滤波后传输给驱动器，令一路信号经差分收发模块III并共模滤波后传输给上位机。本发明将绝对光栅信号一分为二，实现了驱动器和上位机同时需要位置反馈时反馈给上位机的位置信号是绝对信号，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势。
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公开(公告)号：CN103322927B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310243132.2
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
Abstract: 一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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公开(公告)号：CN103307986B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310243113.X
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 王磊杰 , 杨开明 , 刘召 , 成荣 , 刘昊 , 徐登峰 , 叶伟楠 , 张利 , 赵彦坡 , 田丽 , 张金 , 胡金春 , 穆海华 , 尹文生 , 秦慧超
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02021 , G01B9/02022 , G01B9/02027 , G01B11/14 , G01B2290/70
Abstract: 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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公开(公告)号：CN103560643B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310508532.1
申请日：2013-10-24
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 一种印刷电路板绕组直线电动机，使得上位机控制系统有效地发挥了绝对光栅相比于增量光栅在位置控制中的优势该直线电动机使用印刷电路板制作线圈绕组阵列，准确地布置线圈绕组中的每个线圈的位置，通过多层印刷电路板相邻两层中的线圈沿电动机直线运动方向错位排布及特定的供电规律，提高线圈绕组阵列中电流形成的电场的正弦性，进而降低直线电动机的推力波动，提高直线电动机的控制精度。
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公开(公告)号：CN105141089A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510587640.1
申请日：2015-09-15
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Abstract: 一种磁流体动量球，用于卫星姿态调整，所述磁流体动量球包含定子和一个球壳；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以球壳的球心对称布置，定子内表面为球面；所述球壳采用两个半球壳组合而成，球壳材料为非铁磁性材料，定子内表面紧贴球壳外表面，球壳和定子内表面无相对运动，球壳内填充磁流体。本发明中采用磁流体的转动进行卫星姿态调整，体积和质量小，成本低，各轴之间耦合小；本发明中磁流体动量球的球壳不转动，制造简单，结构紧凑；磁流体与球壳之间的摩擦小、损耗低，可靠性和效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103186058B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310048778.5
申请日：2013-02-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种具有六自由度粗动台的掩模台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；驱动装置包括两组关于X轴方向对称布置的X方向直线电机和四组同时驱动Y方向和Z方向的两自由度直线电机，实现粗动台的六自由度运动。六自由度粗动台与六自由度精动台配合，在调整掩模台姿态的同时既提高了掩模台的速度、加速度和控制带宽，又满足了高运动精度和定位精度的要求，进而提高了光刻机的生产率、套刻精度和分辨率。
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公开(公告)号：CN103309177B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310243147.9
申请日：2013-06-19
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机工件台系统，包含机架、基台、分别运行于曝光工位和预处理工位的两个硅片台，以及测量光栅、双频激光器、三自由度外差光栅干涉仪和信号接收与处理部件。在每个硅片台四角处各安装一个三自由外差光栅干涉仪，测量光栅安装于硅片台上方的机架上。双频激光器出射的双频正交偏振激光经光纤传输至三自由度外差光栅干涉仪后至测量光栅，测量光栅的四束衍射光回射至三自由度外差干涉仪，最终出射四束测量光信号至信号接收与处理部件。当硅片台相对于测量光栅运动时，利用信号接收与处理部件中的读数通过解算获取硅片台六自由位移。该光刻机工件台系统可提高硅片台的测量精度、动态性能等指标，进而提高光刻机工件台系统整体性能。
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公开(公告)号：CN103034073B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210576830.X
申请日：2012-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 带有浸液回收装置和激光干涉仪的硅片台双台交换系统，该系统含有基台，两个硅片台，光学透镜系统、多轴激光干涉仪和激光干涉仪反射镜。硅片台带有浸液回收装置，硅片台上表面的一侧设有一块浸液回收板，浸液回收板的上表面与硅片台上表面共面，浸液回收板的侧面有一排小孔，小孔与硅片台外部的浸液回收容器相连接，用于浸没液体的回收，硅片台外围四边设置一套防撞气囊装置。当两硅片台完成交换时，硅片台上的浸液回收板设计保证了交换时浸液循环不用中断，提高了生产效率；气囊式防撞结构具有可伸缩性，与机械式防撞相比刚度低，且结构简单紧凑，可应用于光刻机双台交换系统。
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公开(公告)号：CN104049472A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410306905.1
申请日：2014-06-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20
Abstract: 一种电磁弹射启动式掩模台系统，用于光刻机系统中，所述掩模台系统包含底座、平衡块组件、掩模台动台和测量系统。所述平衡块组件包括平衡块、掩模台YZ向电机线圈和掩模台X向电机线圈；所述掩模台动台包括掩模台动台基底、掩模台YZ向电机磁钢阵列和掩模台X向电机磁钢阵列；所述电磁弹射启动式掩模台系统还包括弹射结构，所述弹射结构包括弹射结构定子磁钢阵列、弹射结构动子磁钢阵列、弹射台、弹射台电机动子、弹射台电机定子和导轨。本发明采用弹射结构，提高了光刻机掩模台的启动和停止阶段的加速度，减小了加速时间，降低了能耗和对驱动器的要求。
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公开(公告)号：CN103956880A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 陈安林 , 支凡 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02K41/03
Abstract: 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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