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公开(公告)号：CN100355056C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200510135546.9
申请日：2005-12-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。该状态检测为：设置大、中、小光强阈值分别为IO1、I1、I2，检测第一个传感器对的接收光强为IS1，若IS1＝IO1，则槽中无硅片，当IO1＞IS1＞I1为槽中只有一个硅片，I1≥IS1＞I2为槽中硅片重叠，若IS1≤I2则为硅片倾斜；该硅片圆心重定位的方法为：设定圆心对中的硅片边缘和第一个传感器对光路相切时，第二个传感器对接收光强为IO2，在该时刻检测第二个传感器对接收光强为IS2，比较IS2与IO2，根据两者的差值计算出移动距离d，然后通过传输机械手移动来补偿该硅片的圆心偏差。本发明的方法使用简便，硬件成本低廉。
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公开(公告)号：CN119207393A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411168568.4
申请日：2024-08-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出了一种语音交互识别增强方法，包括：采集说话者面向摄像头进行语音交互的视频，将其拆分为N段待识别语音和N帧待识别图像，并构成待识别数据；将待识别数据输入预设的语音交互识别增强模型，该模型包括唇语特征提取网络、语音特征提取网络、时间特征提取网络和激活网络，时间特征提取网络用于对唇语特征提取网络提取的唇语特征矩阵和语音特征提取网络提取的语音特征矩阵添加时序信息，激活网络用于模拟生物脑中视觉信息对听觉神经回路的激活‑抑制机制，实现视觉、听觉两种模态的交互，从而得到语音识别结果。本发明实现视、听觉双模态语音识别在嘈杂环境下准确识别唇语和语音，且响应能力和准确性满足要求。
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公开(公告)号：CN104706428A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510173724.0
申请日：2015-04-14
Applicant: 清华大学
CPC classification number: A61B5/055 , A61B17/00234
Abstract: 提供了在介入手术过程中实时地相对于装置坐标系定位介入治疗针的介入治疗针定位方法和相应的介入治疗针。该介入治疗针包括针头、针杆和针柄，针头和针杆能够在手术中伸入人体组织内部，该介入治疗针定位方法包括：在手术中通过跟踪定位传感器的位置来确定针尖的位置，其中，定位传感器在手术前被固定在针杆上。较佳的做法是将定位传感器紧挨针头地固定在针杆上。由于将定位传感器固定在针杆上，尤其是固定在针杆上最靠近针头的位置，该处变形很小或没有，所以针杆的变形(一般针杆中部位置变形较大)对定位传感器与针尖之间的偏移关系影响很小，能够准确地获得针尖在装置坐标系中的位置。
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公开(公告)号：CN103425871A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310303479.1
申请日：2013-07-18
Applicant: 清华大学
IPC: G06F19/00
Abstract: 本发明涉及一种面向三维元胞模型刻蚀工艺中确定刻蚀粒子到达表面元胞的方法，其特征在于：该方法首先确定刻蚀粒子的三个速度分量分别到达各自维度元胞边界所需的时间；然后根据到达边界时间最短的速度分量，计算刻蚀粒子在次短边界时间内将经过的元胞；依次判断经过的元胞是否为表面元胞，若是表面元胞则结束，否则以刻蚀粒子在次短边界时间内最终到达的新元胞位置为起点，重新进行边界时间排序、计算及判断经过的元胞，寻找表面元胞。本发明既避免了刻蚀粒子入射点错误选取的风险，同时提高了刻蚀粒子寻找表面作用点的计算速度。
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公开(公告)号：CN103336858A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310218939.0
申请日：2013-06-04
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及一种刻蚀和沉积工艺元胞自动机模拟时三维元胞信息存储结构及操作方法，属于微电子加工过程中对刻蚀和沉积过程模拟技术领域，该存储结构为：创建一个二维静态数组来表示元胞自动机模型信息,该二维静态数组每个元素的信息包括：记录(x,y)列所有表面元胞的个数和一个用来存储(x,y)列所有表面元胞一维动态数组；该一维动态数组中每个元素除记录元胞的信息外，还增加一个记录表面元胞沿z轴坐标值z，用于还原三维元胞自动机模型。一维动态数组zcell中所有元素按坐标值z由小到大排序。该元胞操作方法包括对元胞的随机访问、元胞信息的添加、删除及修改。本发明解决了现有的元胞自动机模拟时使用的三维元胞信息存储结构，不能实现高分辨率元胞自动机模拟的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102521886A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110391099.9
申请日：2011-11-30
Applicant: 清华大学
IPC: G06T19/00
Abstract: 本发明涉及一种化学气相沉积过程的三维模拟方法，属于微电子加工中沉积过程模拟领域，该方法包括用元胞方法(CM)来表示模拟区域Ω中各个位置的材料分布并将沉积图形表面剖分成若干个三角平面；用蒙特卡罗(MC)方法结合空间八叉树非均匀剖分技术实现快速跟踪沉积粒子的输运过程，计算到达沉积图形表面的三角平面，再结合当前位置材料所对应的沉积模型和三角平面的面积等，计算得到沉积图形表面各三角平面沉积速度，避免了沉积速度计算的盲目性；根据计算获得沉积速度，用水平集方法(LS)实现化学气相沉积(CVD)过程沉积表面运动的准确跟踪。该方法可以模拟低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、大气压下化学气相沉积等多种气相沉积过程，实现复杂多种材料构成的沉积图形的沉积模拟。
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公开(公告)号：CN101450652B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200810246758.8
申请日：2008-12-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种汽车防盗抢安全监控系统，属于汽车防盗抢安全监控技术领域；该系统包括安装在汽车内的嵌入式计算机和与其相连的周边设备，嵌入在所述嵌入式计算机中的开放源码的操作系统和在该操作系统平台上运行的监控程序；所说的周边设备包括采集车内和车外视频图像的摄像头、抢劫报警的紧急按钮、无线通信收发器、隐蔽安装的隐蔽信息显示器和报警扬声器；所说的监控程序包括异动监测层、中心控制层及信息发送层三个相互独立的运行层次，以及两个共享内存区域。本发明以先进的技术和低廉的成本，为普通车主提供了一种智能化、网络化的汽车防盗抢安全监控系统，安装简单，使用方便，功能丰富，对汽车的防盗抢安全问题具有实际应用价值。
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公开(公告)号：CN101881615A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010191271.1
申请日：2010-05-28
Applicant: 清华大学
IPC: G01C11/36
Abstract: 本发明涉及用于驾驶安全中的道路障碍物检测方法，属于计算机应用技术领域，该方法包括：首先车辆上的摄像头对前方路面进行采集，然后提取图像中的角点，并利用光流与K均值对障碍物初步估计，得到障碍物的候选中心位置以及大小；然后利用基于帧差的运动历史消隐法排除前面结果中运动速度不合理的区域，这样得到更加鲁棒的障碍物中心，然后把两种方法结果取并运算，在确认后的障碍物中心周围取区域边界作为每个障碍物的边界。本发明仅使用普通摄像头，实现简易低廉，该方法计算速度快，比较稳定且环境适应能力强。
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公开(公告)号：CN100355055C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200510116695.0
申请日：2005-10-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及IC制造领域硅晶圆预对准的控制方法，包括：由硅晶圆的圆周采样、数据预处理、圆拟合和硅晶圆对心组成的硅晶圆定位方法；由缺口粗定位、缺口细采样、缺口拟合和将缺口中心旋转到指定的角度组成的缺口定位方法两部分。本发明可大大提高预对准精度。
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公开(公告)号：CN1787200A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200510116695.0
申请日：2005-10-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于计算机数值控制领域，特别涉及IC制造领域硅晶圆预对准的控制方法，包括：由硅晶圆的圆周采样、数据预处理、圆拟合和硅晶圆对心组成的硅晶圆定位方法；由缺口粗定位、缺口细采样、缺口拟合和将缺口中心旋转到指定的角度组成的缺口定位方法两部分。本发明可大大提高预对准精度。
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