公开(公告)号：CN114641724B

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202080076341.0

申请日：2020-12-10

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 石川彰 ,  高村一夫

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/24 ,  G03F1/64

Abstract: 本发明的目的在于提供光掩模的污染的抑制性优异的防护膜组件的拆卸方法。提供一种防护膜组件的拆卸方法，其包括下述工序：准备层叠体的工序，所述层叠体按下述顺序的配置具备光掩模(805)、防护膜组件框(803)以及防护膜(802)；准备电极(810)的工序；以及拆卸工序，将层叠体和电极(810)以使层叠体中的防护膜(802)与电极(810)对置的方式进行配置，并且通过对于电极(810)施加电压，从而产生静电引力，通过所产生的静电引力将防护膜(802)向电极(810)的方向吸引，从而从层叠体中的光掩模(805)拆卸防护膜(802)。

公开(公告)号：CN118974649A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202380027548.2

申请日：2023-03-03

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 石川彰 ,  藤村真史 ,  大久保敦 ,  高村一夫 ,  田中博文

IPC: G03F1/64

Abstract: 本发明的目的在于提供可抑制由防护膜的张力引起的应变并且能够抑制由防护膜组件框的变形引起的原版的应变的防护膜组件框、防护膜组件以及防护膜组件的制造方法。防护膜组件框具备用于支撑防护膜的硬质框构件(12A)和用于与具有图案的原版连接的软质框构件(11X)。软质框构件(11X)与前述硬质框构件(12A)连接。前述软质框构件(11X)是由基材层(112)和粘着层(111)在与前述防护膜的面方向正交的厚度方向上以前述粘着层(111)配置于两端的方式交替层叠而成的。前述硬质框构件(12A)的杨氏模量高于前述软质框构件(11X)的表观杨氏模量。前述硬质框构件(12A)的杨氏模量为25GPa以上。

公开(公告)号：CN112088334B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN201980017088.9

申请日：2019-03-01

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 小野阳介 ,  高村一夫 ,  大久保敦 ,  种市大树 ,  石川比佐子 ,  美谷岛恒明

IPC: G03F1/64 ,  G03F1/22 ,  G03F1/62 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供抑制了从粘接层产生释气的防护膜组件。防护膜组件(100)具有：防护膜(101)；支撑上述防护膜的支撑框(103)；设置于上述支撑框的突起部(105)；设置于上述突起部的第1粘接层(107)；以及无机物层，上述无机物层与上述第1粘接层相比设置在上述防护膜所处的一侧。上述无机物层可以包含第1无机物层(109)，上述第1无机物层(109)设置于上述第1粘接层中作为与上述防护膜交叉的方向的侧面的、上述防护膜所处一侧的第1侧面(121)。

公开(公告)号：CN111919171B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN201980022551.9

申请日：2019-03-15

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 石川彰 ,  大久保敦 ,  小野阳介 ,  高村一夫

IPC: G03F1/64 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种支撑框，其能够设置能够装卸地设置了过滤器的通气孔，粘贴极端紫外光光刻用的防护膜。本发明的一实施方式的支撑框是用于配置防护膜的支撑框，具备：贯通孔，其具有在与上述防护膜的面方向大致平行的第一方向上延伸的孔以及在与上述第一方向相交的第二方向上延伸的孔；以及过滤器，其设于上述贯通孔的内部或上述贯通孔的端部，并且从上述防护膜离开地配置。

公开(公告)号：CN117270313A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311217869.7

申请日：2021-04-02

Applicant: 三井化学株式会社 ,  国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 小野阳介 ,  石川比佐子 ,  小川亮平 ,  大久保敦 ,  高村一夫 ,  关口贵子 ,  加藤雄一 ,  山田健郎 ,  周英

IPC: G03F1/62 ,  C01B32/168 ,  C01B32/17 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供曝光用防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置及曝光用防护膜的制造方法。一种曝光用防护膜，其包含碳纳米管膜，碳纳米管膜含有碳纳米管，碳纳米管膜在波长13.5nm时的EUV光的透射率为80％以上，碳纳米管膜的厚度为1nm以上50nm以下，将碳纳米管膜配置于硅基板上，对于配置后的碳纳米管膜，使用反射分光膜厚度计，以下述条件测定反射率时，反射率的3σ为15％以下。＜条件＞测定点的直径：20μm，基准测定波长：波长285nm，测定点数：121点，相邻的测定点的中心点间距离：40μm。

公开(公告)号：CN109416503B

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN201780038819.9

申请日：2017-07-03

Applicant: 三井化学株式会社 ,  国立研究开发法人产业技术综合研究所

Inventor： 小野阳介 ,  大久保敦 ,  高村一夫 ,  关口贵子 ,  加藤雄一 ,  山田健郎

IPC: G03F1/62 ,  C01B32/162

Abstract: 本发明提供EUV透射性进一步高的防护膜、防护膜组件框体、防护膜组件。此外，提供能够以此进行高精度的EUV光刻的、曝光原版、半导体装置的制造方法。一种曝光用防护膜，是铺设在支撑框的开口部的曝光用防护膜，上述防护膜的厚度为200nm以下，上述防护膜包含碳纳米管片，上述碳纳米管片具备由多个碳纳米管形成的捆，上述捆的直径为100nm以下，上述捆在上述碳纳米管片中进行面内取向。

公开(公告)号：CN107924117B

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201680047788.9

申请日：2016-08-15

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 高村一夫 ,  河关孝志 ,  种市大树 ,  前川真太朗 ,  小野阳介 ,  美谷岛恒明

IPC: G03F1/64

Abstract: 本发明的目的在于提供一种即便照射准分子光等短波长光也难以劣化，进而难以产生逸气或异物的防护膜组件框、使用其的防护膜组件。为了实现上述目的，设为如下的防护膜组件框，其为支撑防护膜的外周的防护膜组件框，包括框架和形成于所述框架的表面的含有聚酰亚胺树脂的膜。

公开(公告)号：CN110325908A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201880012953.6

申请日：2018-02-09

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 高村一夫 ,  小野阳介 ,  大久保敦 ,  种市大树 ,  石川比佐子 ,  美谷岛恒明

IPC: G03F1/64 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供EUV透射性高、释气少、污染少的EUV用防护膜组件及其制造方法。防护膜组件(100)的特征在于，具有防护膜(101)、支撑框(103)以及第1粘接层(109)，所述第1粘接层(109)设置于支撑框的与吊挂有防护膜的端部相反一侧的端部，在第1粘接层的沿与防护膜面交叉的方向且处于吊挂防护膜一侧的侧面具有无机物层(111)，上述无机物层的质量吸收系数(μm)为5×103cm2/g～2×105cm2/g的范围。

公开(公告)号：CN106462052B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201580023964.0

申请日：2015-05-12

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 小野阳介 ,  高村一夫

IPC: G03F1/62

Abstract: 防护膜具有由有机系材料和无机系材料形成的膜片，在该膜片的同一平面上存在包含有机系材料的区域和由无机系材料形成的区域，至少上述膜片的中心部为由无机系材料形成的区域，并且，至少上述膜片的周端部为包含有机系材料的区域。

公开(公告)号：CN105229776B

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201480028625.7

申请日：2014-05-20

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 小野阳介 ,  高村一夫

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/24 ,  G03F1/62

Abstract: 本发明的课题在于提供一种EUV透过性高且不易受到由热引起的损伤，进一步强度高的防护膜组件。为了达成所述课题而提供如下防护膜组件，其包括：波长550nm的光的折射率n为1.9～5.0的防护膜，以及贴附了所述防护膜的防护膜组件框。所述防护膜在组成中包含30摩尔％～100摩尔％的碳及0摩尔％～30摩尔％的氢。所述防护膜的拉曼光谱中的2D带与G带的强度比(2D带的强度/G带的强度)为1以下，或者2D带与G带的强度分别为0。