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公开(公告)号:CN101399050A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200810215456.4
申请日:2008-08-15
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/82 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/855
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法,其包括在基材(11)上形成至少包含PS和PEO的二嵌段共聚物组合物的层(12),使所述层经受相分离以获得相分离的层(13),由此形成由PS构成并且具有沿第一方向延展的圆柱体或层状构型的易蚀刻区域(14),在所述相分离的层上形成压印抗蚀剂层(16),对所述压印抗蚀剂层进行压印,以在所述压印抗蚀剂层上形成沿与所述第一方向交叉的第二方向延展的由凸起(19)和凹陷(18)构成的不规则图案,从所述压印抗蚀剂层选择性地除去所述凹陷,由此仅剩下所述凸起,并且同时选择性地从所述相分离的层除去PS以获得包含PEO的耐蚀刻的图案,以及不仅使用所述凸起而且使用所述耐蚀刻的图案作为掩模来蚀刻所述基材。
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公开(公告)号:CN100385510C
公开(公告)日:2008-04-30
申请号:CN200510084621.3
申请日:2005-07-15
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/74 , B82Y10/00 , G11B5/59688 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , G11B5/865 , G11B2005/0029
Abstract: 一种磁记录介质具有形成在基底(11)上的磁层(12),并且包括具有构成记录轨道的磁性图案的数据区域(30),并且包括具有用作地址位的磁性图案(22a,22b)的伺服区域(20),所述数据区域(30)以及伺服区域(20)被包含在磁层平面中。在依照其中一个磁性图案的一个边角最接近于另一个磁性图案的一个边角的方式来设置用作对应于两个相邻记录轨道(31)的伺服区域(20)上的地址位的两个磁性图案(22a,22b)的情况下,两个磁性图案(22a,22b)的边角基本上被接合在一起。
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公开(公告)号:CN101046976A
公开(公告)日:2007-10-03
申请号:CN200710091357.5
申请日:2007-03-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/59655 , B82Y10/00 , G11B5/743 , G11B5/855
Abstract: 一种磁记录介质包括:数据区域,其中将要记录数据;伺服区域,其中记录了用于定位记录/再现磁头的位置信号,该伺服区域设有地址部分,其中记录了地址信息,其中该地址部分具有由多列记录部分和设置在所述多个列之间的非记录部分配置的磁图案,所述多个列设置为在与记录磁道方向相交的方向上相互平行。
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公开(公告)号:CN1326121C
公开(公告)日:2007-07-11
申请号:CN200410103870.8
申请日:2004-09-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B82Y10/00 , G11B5/74 , G11B5/743 , G11B5/855 , G11B2005/001 , Y10T428/256 , Y10T428/265
Abstract: 提供一种磁记录介质及其制造方法,可以进行高密度记录且耐久性优异。该磁记录介质,其特征在于包括:在非磁性基片上形成的软磁性层上分离排列的多个铁磁性体点;以及形成在各个铁磁性体点上的碳层,该碳层在通过铁磁性体点中心的截面上的膜面形状是平滑的,且具有从所述铁磁性体点的中心向外缘逐渐减小的膜厚。
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公开(公告)号:CN1941092A
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN200610139388.9
申请日:2006-09-27
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/82 , B82Y10/00 , G11B5/743 , G11B5/855 , Y10S425/81
Abstract: 一种用于磁记录介质的压模(100,400,500,800),包括:凸起和凹陷的图形,用于制造出离散磁道记录型磁记录介质,该离散磁道记录型磁记录介质包括伺服区和数据区,其中伺服区包括地址部分、前导部分和突发部分,而数据区包括记录磁道部分,凸起和凹陷的图形以小于等于400nm的间距形成,其中对应于地址部分(401,501)、前导部分(401,501)、突发部分(402,501)和记录磁道部分(403,502)的凹陷深度的大小关系与地址部分(401,501)、前导部分(401,501)、突发部分(402,501)和记录磁道部分(403,502)的凹陷与凸起的面积比的大小关系相反。
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公开(公告)号:CN1841514A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610074110.8
申请日:2006-03-28
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 一种离散磁道介质,其具有非磁性基板,和设置在非磁性基板上并包括含记录磁道的数据区域和含前导区、地址区和分帧区的伺服区域的磁性记录层,该数据区域和伺服区域包括形成突起的铁磁性层图案和填充在铁磁性层图案之间的凹口中的非磁性材料,其中填充在数据区域的凹口中的非磁性材料的高度低于填充到分帧区凹口中的非磁性材料的高度。
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公开(公告)号:CN1734571A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510084621.3
申请日:2005-07-15
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: G11B5/74 , B82Y10/00 , G11B5/59688 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , G11B5/865 , G11B2005/0029
Abstract: 一种磁记录介质具有形成在基底(11)上的磁层(12),并且包括具有构成记录轨道的磁性图案的数据区域(30),并且包括具有用作地址位的磁性图案(22a,22b)的伺服区域(20),所述数据区域(30)以及伺服区域(20)被包含在磁层平面中。在依照其中一个磁性图案的一个边角最接近于另一个磁性图案的一个边角的方式来设置用作对应于两个相邻记录轨道(31)的伺服区域(20)上的地址位的两个磁性图案(22a,22b)的情况下,两个磁性图案(22a,22b)的边角基本上被接合在一起。
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公开(公告)号:CN1713276A
公开(公告)日:2005-12-28
申请号:CN200510074222.9
申请日:2005-05-31
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B82Y10/00 , G11B5/012 , G11B5/72 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , G11B2005/0029 , Y10T428/1164
Abstract: 通过在不恶化其电磁变换特性的情况下,容易地图形化磁记录层,通过在磁记录层(2)与光致抗蚀剂(3)之间形成基于硅的保护膜以及通过进行干蚀刻和氧等离子处理,获得磁记录介质。
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