微振荡元件
    31.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100373210C

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200510125068.3

    申请日:2005-11-17

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本发明提供一种微振荡元件,其由材料衬底一体地形成,该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于第一导电层和第二导电层之间的绝缘层制成。该微振荡元件包括:振荡部件、振荡部件支撑框架以及扭转接合部件。该振荡部件包括可移动操作部件。该扭转接合部件将该振荡部件与该框架接合,还限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴。该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分,而该框架是形成在该第二导电层中的一部分。

    微摆动元件及其制造方法
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1821830A

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200610009215.5

    申请日:2006-02-14

    Abstract: 一种微摆动元件包括框体、可移动功能部分以及用于连接框体与可移动功能部分的扭转连接部分。微摆动元件还包括第一和第二梳齿电极,用于产生使可移动功能部分绕扭转连接部分摆动运动的驱动力。第一梳齿电极包括多个第一电极齿,每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构,其中第一导体和第二导体相互电连接。第二梳齿电极包括多个第二电极齿,在非工作状态下,第二电极齿不面向第一电极齿的第二导体,但是面向第一导体。第二电极齿在摆动运动的方向上长于第一导体。

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