公开(公告)号：CN104251668A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410545752.6

申请日：2014-10-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄向东 ,  谭久彬 ,  向小燕

IPC: G01B11/14

Abstract: 基于同步移相干涉的动压马达气膜间隙测量装置及方法，涉及一种动压马达气膜间隙测量装置及方法。解决了目前电容传感器测量工作距离小、激光三角传感器测量精度受限的问题。本发明装置主要包括干涉系统、正交光栅分光以及移相装置、图像采集系统；该装置分别用圆光斑与条形光斑作轴/径向测量光斑，正交龙基光栅实现分光，四象限偏振片实现移相，CCD进行图像采集。本发明方案：将该装置探头相对待测动压马达轴/径向测量面保持一定距离垂直固定，利用同步移相干涉原理、光栅衍射分光理论、偏振移相特性以及图像采集原理，测量出动压马达气膜刚度变化相对应的轴向、径向位移变化值。本发明稳定性好，能实现共光路、大工作距、高分辨力测量。

公开(公告)号：CN103197510B

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201310084933.9

申请日：2013-03-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄向东 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种掩模台垂直运动分量的测量装置属于半导体制造装备技术领域，主要涉及一种掩模台垂直运动分量的测量装置；该装置将掩模台配置在水平运动导轨上，并且在掩模台的上方配置四个激光三角位移传感器；通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该装置采用了激光三角位移传感器，充分发挥了其测量位移的优势，因此装置结构简单，可根据被测面不同的表面特性选择不同类型的传感器，无需对被测表面进行镀膜等处理。

公开(公告)号：CN104007622A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201410268177.X

申请日：2013-03-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄向东 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/03

Abstract: 一种掩模台垂直运动分量的测量方法属于半导体制造装备技术领域；该方法通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该方法使用四组独立的位移信息，经过测量模型解算，能够精确地得到掩模台的垂直运动分量，因此测量精度高、测量范围大、直观、易于实现。

公开(公告)号：CN103292735A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310229514.X

申请日：2013-06-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄向东 ,  谭久彬 ,  尹可

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种双区域比例输出共焦探测方法与装置属于三维共焦显微测量领域，特别涉及一种双区域比例输出共焦探测方法与装置；该方法将收集物镜焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，采用不同区域光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测器108的输出；该装置设置有双区域比例输出共焦探测器，通过采用双层光敏面或采用CCD相机虚拟针孔技术，实现不同区域的探测；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响，使输出结果与输入光强及样品的反射率无关；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，使样品处于探测物镜焦平面附近位置时，通过一次测量即可获得其轴向位置。

公开(公告)号：CN103278093A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310229370.8

申请日：2013-06-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄向东 ,  谭久彬 ,  尹可

IPC: G01B11/00

Abstract: 一种差动双区域共焦轴向测量装置属于三维共焦显微测量领域；该差动双区域共焦轴向测量装置包括设置在直射光路上的激光器，扩束准直镜，偏正分光棱镜、1/4玻片，探测物镜和样品，从激光器发射的激光束，经扩束准直镜扩束准直后，平行穿过偏正分光棱镜，再经过1/4玻片，由探测物镜会聚到样品上；还包括设置在反射光路上的差动双区域共焦探测光路，从样品反射的光束，再依次经过探测物镜、1/4玻片，由偏正分光棱镜反射，入射到差动双区域共焦探测光路；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，通过一次测量即可获得样品轴向位置。

公开(公告)号：CN103197510A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201310084933.9

申请日：2013-03-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 黄向东 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种掩膜台垂直运动分量的测量装置与方法属于半导体制造装备技术领域，主要涉及一种掩膜台垂直运动分量的测量方法与装置；该装置将掩膜台配置在水平运动导轨上，并且在掩膜台的上方配置四个激光三角位移传感器；该方法通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该装置采用了激光三角位移传感器，充分发挥了其测量位移的优势，因此装置结构简单，可根据被测面不同的表面特性选择不同类型的传感器，无需对被测表面进行镀膜等处理；该方法使用四组独立的位移信息，经过测量模型解算，能够精确地得到掩膜台的垂直运动分量，测量精度高、测量范围大、直观、易于实现。

公开(公告)号：CN1281921C

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN200510072253.0

申请日：2005-05-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  敖磊 ,  崔继文 ,  黄向东

IPC: G01B11/26

Abstract: 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种基于动态差动补偿方法实时补偿光束的角漂移量的高精度二维光电自准直装置和测量方法。所述装置包括依次放置的光源、分划板、CCD图像传感器、分光棱镜、准直物镜和测量反射镜，在准直物镜和测量反射镜之间放置一分光镜片。分光镜片为光学基片的两面分别镀有分光膜和增透膜，光学基片的表面粗糙度优于0.08μm，镜片两面的平行度小于10″，所镀分光膜的分光比为：52/48≤T/R≤72/28，增透膜要求透过率系数α≥99%。本发明采用新颖的共光路光学差动结构，将光束的角漂移量转变为共模误差，实时分离和动态补偿光束的角漂移量引起的角度测量偏差，提高二维光电自准直仪的测量稳定性、重复性和测量不确定度。