-
公开(公告)号：CN103278093B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310229370.8
申请日：2013-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种差动双区域共焦轴向测量装置属于三维共焦显微测量领域；该差动双区域共焦轴向测量装置包括设置在直射光路上的激光器，扩束准直镜，偏振分光棱镜、1/4玻片，探测物镜和样品，从激光器发射的激光束，经扩束准直镜扩束准直后，平行穿过偏振分光棱镜，再经过1/4玻片，由探测物镜会聚到样品上；还包括设置在反射光路上的差动双区域共焦探测光路，从样品反射的光束，再依次经过探测物镜、1/4玻片，由偏振分光棱镜反射，入射到差动双区域共焦探测光路；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，通过一次测量即可获得样品轴向位置。
-
公开(公告)号：CN103292735A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310229514.X
申请日：2013-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种双区域比例输出共焦探测方法与装置属于三维共焦显微测量领域，特别涉及一种双区域比例输出共焦探测方法与装置；该方法将收集物镜焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，采用不同区域光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测器108的输出；该装置设置有双区域比例输出共焦探测器，通过采用双层光敏面或采用CCD相机虚拟针孔技术，实现不同区域的探测；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响，使输出结果与输入光强及样品的反射率无关；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，使样品处于探测物镜焦平面附近位置时，通过一次测量即可获得其轴向位置。
-
公开(公告)号：CN103278093A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310229370.8
申请日：2013-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种差动双区域共焦轴向测量装置属于三维共焦显微测量领域；该差动双区域共焦轴向测量装置包括设置在直射光路上的激光器，扩束准直镜，偏正分光棱镜、1/4玻片，探测物镜和样品，从激光器发射的激光束，经扩束准直镜扩束准直后，平行穿过偏正分光棱镜，再经过1/4玻片，由探测物镜会聚到样品上；还包括设置在反射光路上的差动双区域共焦探测光路，从样品反射的光束，再依次经过探测物镜、1/4玻片，由偏正分光棱镜反射，入射到差动双区域共焦探测光路；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，通过一次测量即可获得样品轴向位置。
-
公开(公告)号：CN103292735B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201310229514.X
申请日：2013-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种双区域比例输出共焦探测方法与装置属于三维共焦显微测量领域，特别涉及一种双区域比例输出共焦探测方法与装置；该方法将收集物镜焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，采用不同区域光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测器108的输出；该装置设置有双区域比例输出共焦探测器，通过采用双层光敏面或采用CCD相机虚拟针孔技术，实现不同区域的探测；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响，使输出结果与输入光强及样品的反射率无关；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，使样品处于探测物镜焦平面附近位置时，通过一次测量即可获得其轴向位置。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.021 seconds)
