公开(公告)号：CN112612210A

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN202011474923.2

申请日：2020-12-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  刘杨 ,  董岳 ,  崔宁

IPC: G05B13/04

Abstract: 本发明公开了一种精密运动台特定频率扰动抑制方法，所述方法包括如下步骤：一、由轨迹生成器Cr生成精密运动台P的期望位置信号r；二、测量P的实际位置信号y；三、将r与y作差，得到位置误差信号e，e经过反馈控制器C得到反馈控制信号ufb；四、前一周期的控制信号u经过滤波器Q之后得到信号uQ；五、计算Q与精密运动台名义模型P0的逆即的乘积，得到y经过之后得到uPQ；六、将uPQ与uQ作差得到扰动信号估计值七、将ufb与作差，得到当前周期控制信号u，u与外部扰动信号d的和up作用于P产生位置信号y。本发明不仅能够对一定频率范围内的扰动均起到一定的抑制作用，而且对特定频率扰动可以加强抑制能力，进一步提升精密运动台控制性能。

公开(公告)号：CN105116843B

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: G05B19/414

Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。

公开(公告)号：CN105182906B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201510615768.4

申请日：2015-09-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  罗皓 ,  宋法质

IPC: G05B19/19

Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。

公开(公告)号：CN105068383B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201510474811.X

申请日：2015-08-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  宋法质 ,  董岳

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种微动台机械参数误差辨识方法，属于超精密制造领域。为了解决传统间接测量方法受固定参数和固定输入输出维数的限制的问题。本发明通过对微动台的建模，描述方程的建立，通过方程和近似解得一部分机械参数误差，最后引入紧凑式教学优化算法得到剩余其他的参数误差。使参数的测量不受测量的参数和需求参数的维数所限制，不受传统方法解算方程时参数矩阵不能为奇异矩阵的限制，误差参数的个数和需要测量的参数的个数不受限制，同时能满足控制所需的高精度。本发明用于光刻机。

公开(公告)号：CN105160069A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201510474812.4

申请日：2015-08-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  赵为志 ,  董岳 ,  刘杨 ,  宋法质 ,  王一光

IPC: G06F17/50

Abstract: 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。

公开(公告)号：CN105137873A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510517576.X

申请日：2015-08-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  王一光 ,  宋法质 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  张常江 ,  宋跃

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0421

Abstract: 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法。它属于半导体制造装备的信号采集与数据通信的技术领域。其方法步骤一：将数据赋予不同的地址编码后存储在RAM内；二：DSP模块每隔200us发出一次读数请求；三：光栅数据地址编码发送模块子程序或激光干涉仪数据地址编码发送模块子程序将VME总线上的数据锁存信号置高；四：光栅数据地址编码发送模块子程序或激光干涉仪数据地址编码发送模块子程序发送要读取数据的地址编码；五：将数据读写到RAM中；六：重复执行步骤四和五，将所有路数据依次读完；七：RAM内的数据传送到DSP模块内。本发明地址线和信号线的更改权仅由主卡拥有，不会发生多卡之间的总线竞争；各卡以地址线发生变化触发读数，保证了读数的同步性。

公开(公告)号：CN105137855A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510454666.9

申请日：2015-07-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  宋法质 ,  王一光 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  张常江 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0421 ,  G05B2219/1208

Abstract: 多板卡同步读取电容传感器的实现方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一：当运动控制卡接收到同步触发信号的上升沿时，三个电容传感器给板卡发送当前测量的数据，经过串口电平转换电路到达FPGA模块引脚上，存储在双口RAM里，并且在接收数据完成后输出接收完成信号；步骤二：产生的接收完成信号触发DSP模块外部中断，在DSP模块中断程序中会将存储在双口RAM里的数据读取到DSP模块中，完成同步读取多路电容传感器信号的过程。

公开(公告)号：CN104965394A

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201510471721.5

申请日：2015-08-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  张常江 ,  宋法质 ,  万勇利 ,  王一光 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  董岳 ,  宋跃

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。

公开(公告)号：CN119065248B

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411175935.3

申请日：2024-08-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  韦鹏宇 ,  吴世豪 ,  刘杨 ,  谭久彬

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法，涉及超精密装备制造技术领域。期望位置信号、位置干扰信号和位置故障信号输入控制系统获得位置信号、控制信号和控制对象；位置信号、控制信号和控制对象输出至故障诊断系统，其中，控制对象进行左互质因式分解获得分解矩阵M(s)和N(s)，M(s)和N(s)分别与位置信号和控制信号相乘再作差获得残余误差；残余误差输入鲁棒故障诊断滤波器获得超精密运动台的故障检测信号，与设定阈值进行对比判断是否发生故障。在保证对故障信号敏感的前提下，对系统不确定性引起的误差和外部干扰具有更好的抑制效果，显著提高故障诊断的鲁棒性和准确性。

公开(公告)号：CN119200506A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411317973.8

申请日：2024-09-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  高殿淳 ,  刘杨 ,  谭久彬

IPC: G05B19/408

Abstract: 一种H桥型精密运动机构二维轨迹协同跟踪系统及方法，涉及精密数控技术领域。X轴反馈控制部分包括反馈控制器Gcx与名义对象Px，Y轴反馈控制部分包括反馈控制器Gcy与名义对象Py，耦合控制部分包括X轴耦合增益、Y轴耦合增益与鲁棒交叉耦合控制器，有无交叉耦合控制分别得到估计轮廓误差εc和ε0，建立估计轮廓误差等效反馈回路，无耦合估计轮廓误差ε0减去等效反馈回路输出得到交叉耦合估计轮廓误差εc，再输入给鲁棒交叉耦合控制器得到等效鲁棒交叉耦合控制器输出，经等效受控对象得到等效反馈回路输出。能够有效地提高轨迹的跟踪精度，具备适应任意轨迹输入的特性，可进行离线设计，设计方法简单，有助于实际应用。