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公开(公告)号：CN101285747A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810064383.3
申请日：2008-04-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 原位纳米拉伸实验测量检测装置，它涉及一种拉伸实验测量检测装置。本发明解决了现有的机械性能的测量及微观形貌的检测是独立的、分离的两个过程的问题。本发明的步进电机(1)的输出轴与联轴器(2)固接，机架底板(4)上固装有导轨(7)，导轨(7)上安装有左车架组(42)和右车架组(43)，左右旋丝杠(8)的两端分别与联轴器(2)和轴承座(21)连接，力传感器(18)的左右端面分别与右夹具连接块(14)和力传感器保持架(19)固接，读数装置(44)安装在机架底板(4)上，拉伸测量装置(41)固装在检测装置的工作台(46)上。本发明促进了需要对样品在受力状态下微观形貌变化进行动态观察的研究领域的进一步发展，对纳米复合功能材料的机械性能的测量及微观形貌的检测具有重要的理论意义和良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN1279414C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410013615.4
申请日：2004-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/18 , G05B19/408 , G05B15/02
Abstract: 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台X、Y向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在X、Y、Z向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于MEMS器件、掩膜和微小模具的制造。
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公开(公告)号：CN114034247B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202111370970.7
申请日：2021-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于球坐标测量原理的高精度球度仪，属于球度精密测量技术领域。它提供一种检测精度高，检测全面的基于球坐标测量原理的高精度球度仪；该高精度球度仪，包括高精度卧式主轴、非接触式位移传感器及高精度气体静压转台；所述非接触式位移传感器通过夹具一安装在高精度卧式主轴上，所述被测工件通过夹具二安装在高精度气体静压转台上，所述高精度卧式主轴的回转轴和高精度气体静压转台的回转轴相互垂直设置，通过控制着两个相互垂直回转轴的旋转运动可以模拟出球面的成型轨迹，用于完成球面的完整测量。本发明具有更好的精度，无需担心测量角度的问题，能适应全球面检测，可以兼顾直径大小不同的工件。
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公开(公告)号：CN115194955B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202210988689.8
申请日：2022-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种碳化硅陶瓷深小孔的超精密加工方法，属于机械加工技术领域，具体包括以下步骤：步骤一、将碳化硅陶瓷块固定在超声辅助磨削机床上；步骤二、在轴向超声振动作用下加工若干个与刀具同直径的深小孔Ⅰ，并留出余量Ⅰ；刀具进给速度为25‑35mm/min，主轴转速为6000‑10000rpm，在入口处降低进给速度至20mm/min，增大主轴转速至10000rpm；步骤三、在出口处降低进给速度至20mm/min，增大主轴转速至10000rpm，并留出余量Ⅱ；步骤四、在轴向超声振动作用下去除余量Ⅰ和余量Ⅱ，刀具进给速度为15‑20mm/min，主轴转速为8000‑10000rpm，获得碳化硅陶瓷深小孔Ⅱ。
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公开(公告)号：CN117311272A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311299947.2
申请日：2023-10-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 一种基于EtherCAT总线技术的快刀伺服控制系统和控制方法，属于自动化控制领域，具体方案如下：超精密机床运行前，将G代码文件导入PC中，运行PC中的快刀控制程序将文件中的数据读取并保存到实时域中的结构体数组。机床运行时，其X轴和C轴位置信号被EtherCAT从站模块Ⅱ采集并通过EtherCAT发送至PC中，快刀控制程序将得到的位置信息与结构体数组中的数据比对，找到快刀的位移数据，程序将该数据转化为电压值后传递至EtherCAT从站模块Ⅰ中，随后EtherCAT从站模块Ⅰ输出对应电压，驱动快刀高频位移。本发明提升了快刀的运动控制频率，解决了超精密机床数控系统无法高频控制快刀进行加工的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111948267B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202010844645.9
申请日：2020-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用超长纳米线制备电化学纳米点阵列电极的方法，属于纳米电极制备技术领域。本发明是为了简单高效可重复地制备纳米点阵列电极，在含微米沟槽阵列的硅模板上浇注PDMS；在固化完成的PDMS模具上浇注树脂，得到带有微米沟槽阵列的树脂块；在树脂块上沉积一层金属薄膜，用树脂包埋，进行纳米切片，将单个含纳米线阵列的树脂薄片或多个与空树脂薄片交替堆叠的含纳米线阵列的树脂薄片转移至基底上，将导线搭接固定在纳米线阵列的表面，加入树脂封装，将未搭接导线的一端修块抛光，得到纳米点阵列电极。本发明避免了邻近电极的电容和扩散层重叠，且通过对纳米线端面再次修块抛光可获得新的干净的纳米点阵列，有利于纳米点阵列电极的长期重复使用。
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公开(公告)号：CN114919084A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210811540.2
申请日：2022-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00 , B28D7/00 , B23K26/00 , B23K26/067 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开一种自动定位与功率可控的原位激光辅助金刚石切削装置，包括调节组件和切削组件，切削组件位于调节组件的出射光路上，调节组件与切削组件电性连接有处理系统；调节组件包括固定滑轨，固定滑轨顶端滑动连接有位置调节部，位置调节部顶端固定连接有激光调节部，切削组件位于激光调节部出射光路上，固定滑轨顶端靠近切削组件一侧固定连接有PSD位置传感器，位置调节部、PSD位置传感器均与处理系统电性连接；切削组件包括固定台，固定台顶端固定连接有力传感器，力传感器顶端固定连接有刀具组件和激光分束部，激光分束部位于激光调节部的出射光路上，激光分束部一侧对应设置有激光功率探头，激光功率探头、力传感器均与处理系统电性连接。
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公开(公告)号：CN114152236A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111372162.4
申请日：2021-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种基于球坐标球度仪的高精度球度测量方法，属于球度精密测量技术领域。包括以下步骤：S1.建立高精度球度仪；S2.调节辅助对心装置上的标准圆柱体的回转轴线与高精度球度仪的高精度卧式主轴回转轴线同轴；S3.利用辅助对心装置使非接触式位移传感器测量轴线与高精度卧式主轴回转轴线垂直相交；S4.使标准球球心在高精度气体静压转台的延长线上；S5.使非接触式位移传感器测量轴线经过标准球球心；S6.使标准球球心在高精度卧式主轴回转轴线的延长线上；S7.换成被测球，根据路径规划即可测量球体的经、纬线、或任意路径的数据。本发明实现了在高精度球坐标球度仪上的空间三维方向的对心，从而进步提高球度测量精度，测量更全面。
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公开(公告)号：CN113251907A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110529228.X
申请日：2021-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及零件测量，更具体的说是一种五自由度精密测量装置及其控制方法。所述控制方法使用控制计算机和网线LAN；利用光栅尺读数头作为位置反馈元件，UMAC控制器将各个光栅尺读数头测得各轴的位移数据与LVDT传感器位移数据相叠加，当LVDT传感器的测头与待测零件的待测表面接触时，LVDT传感器发生位移变化后，UMAC控制器获取和记录LVDT传感器的位移数据并生成位移信号，所述移信号以±10V模拟电压的形式并通过信号放大器连接到模拟电压数据采集模块上，所述的控制计算机通过网线LAN与UMAC控制器双向连接实现总体控制及测量结果显示，可实现对精密复杂微小零件形位误差的测量。
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公开(公告)号：CN111571320B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202010496823.3
申请日：2020-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微径铣刀不平衡量修正的微去除逼近方法，所述方法包括如下步骤：(1)搭建微去除逼近系统；(2)将微径铣刀按相位标记装入定相装置中进行逼近旋转运动；(3)定位横向去除位置；(4)进行逼近粗动进给；(5)进行微进给运动，并由控制系统监视微扭力传感器的输出，一经检测到微力信号，则完成此次逼近，将微径铣刀转至去除相位，启动精密去除旋转电机，实现微去除程序；(6)未能实现逼近，则退回初始位置，再启动纵向宏动精密运动平台进行柔性铰链微动工作台一半行程的粗动进给，之后再次启动(4)的过程，直至逼近成功。本发明可实现修正过程的弱刚度逼近及修正过程的大刚度去除，从而实现高分辩力高精度的修正微去除。
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