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公开(公告)号:CN118758468A
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202410877595.2
申请日:2024-07-02
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L1/18 , G01L5/00 , G01R31/392
Abstract: 一种电池膨胀力检测的柔性压力传感器,包括由上至下依次排列的上层基底、电介质层、电极层及下层基底;电极层为叉指结构的金属电极,电极层附着在下层基底的设定区域;电介质层采用采用敏感结构粘附于上层基底的设定区域;上层基底和下层基底在设定区域的周围粘贴固定;未施加压力时,电介质层与电极层之间具有间隙,叉指结构的金属电极输出电阻值信息;对上层基底或下层基底施加压力时,电介质层与电极层相接触且接触面积逐渐增大,叉指结构的金属电极输出的电阻值信息逐渐减小。本发明提高了压力传感器的稳定性和分辨率的同时降低了制作成本。
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公开(公告)号:CN118659753A
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202410798454.1
申请日:2024-06-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H03H3/02
Abstract: 本发明公开了一种三分层石英压力敏感器件键合治具及其应用,该键合治具包括石英谐振片置放工装、通过直杆对称布置在石英谐振片置放工装的上下两侧的两石英端帽夹持工装以及套设在直杆上的若干组层间弹簧,若干组层间弹簧布置在所述的石英端帽夹持工装与石英谐振片置放工装之间;石英端帽夹持工装包括两端帽夹持块,两端帽夹持块水平可调式对接,形成与石英端帽适配的端帽夹持腔;石英谐振片置放工装包括两谐振片夹持块,两谐振片夹持块水平可调式对接,形成与谐振片适配的谐振片腔;端帽夹持腔与谐振片腔的中心点在同一竖直直线上。本发明实现了对压力敏感芯体的高质量键合,提高石英谐振器的品质因数,从而制备出高精度的石英谐振式压力传感器。
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公开(公告)号:CN118362225A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202410432128.9
申请日:2024-04-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及一种石英谐振式力传感器,具体涉及一种基于质量块负载效应的大量程、高灵敏度石英谐振式力传感器,所述石英谐振式力传感器为圆盘式谐振器,所述圆盘式谐振器的结构为边缘薄、中心厚的凸透镜结构,且其悬臂梁的尾端安装有一集中质量块。本发明可有效提高谐振器在大压力下的Q值,扩大了石英谐振器能陷效应所限制的频率范围,减小中心振动能量的扩散,提升石英谐振式力传感器在大压力下的输出精度。
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公开(公告)号:CN118360580A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202410576717.4
申请日:2024-05-10
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及压力传感器领域,具体涉及一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具,包括:由两形状相同的金属外壳、四定位销和一金属盖板组成的治具本体,以及用于实现治具本体支撑限位的治具倾斜基座;所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接实现压力晶体的限位,且所述的两形状相同的金属外壳上对称开设有一组溅射孔;所述的金属盖板用于遮盖压力晶体无需溅射沉积的区域。本发明能够精准控制溅射沉积范围的治具,以实现石英晶体生产溅射沉积环节侧电极薄膜图形的一致化,并且可以通过对治具图形进行灵活的设计,以实现侧电极溅射沉积图形的不同。
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公开(公告)号:CN118191030A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410432091.X
申请日:2024-04-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及海洋测量仪器技术领域,具体涉及一种高精度的七电极电导率传感器,其电导池管为具有两端开口的管状结构,其内壁上开设有七个环状凹槽,每一所述的环状凹槽内对应设有一内电极;且每一所述的环状凹槽内设有一贯穿电导池管的通孔,每一所述的通孔的内壁均镀有金属电极层;所述的内电极、金属电极层与所述的电导池管通过高温共烧一体连接。本发明的七电极电导率传感器具有高精度、长期使用稳定好、使用寿命长的优点。
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公开(公告)号:CN118089970A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202311862849.5
申请日:2023-12-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供了一种抗氧化可拆卸敏感芯体的钨铼热电偶,包括敏感芯体、绝缘基座和封装管壳;所述敏感芯体与一固定机构连接形成一整体结构,所述整体结构的外表面包括氧化锆纳米镀膜;所述敏感芯体通过所述固定机构固定设置在所述绝缘基座上,所述绝缘基座的顶端面设置有方形孔;所述固定机构包括方形块、压片、顶丝以及多个螺丝,所述敏感芯体的底端插入轴向穿孔内,所述顶丝固定所述敏感芯体,所述方形块适配连接到所述方形孔,所述压片通过所述螺丝固定连接绝缘基座的顶端面以压抵固定所述方形块;固定有敏感芯体的绝缘基座整体置入所述封装管壳中,所述敏感芯体暴露在滞止罩中。应用本技术方案可提供一种抗氧化可拆卸敏感芯体的钨铼热电偶。
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公开(公告)号:CN117705192A
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN202311765656.8
申请日:2023-12-21
Applicant: 厦门大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明提供了一种光纤光栅和法珀谐振腔复合的温压流传感器,包括套管中呈三棱锥排布的刻有光栅的四根光纤,其中心位置的光纤端部还制备有法珀谐振腔。本发明通过测量光纤上的光纤光栅随外界温度变化同频产生中心波长的变化情况进而计算出外界温度;通过在中心位置的光纤上制备的法珀谐振腔,当其受到外界压力时,其膜片向腔内压缩,通过测量腔长改变量可计算出外界压力值;传感器上光纤不同位置的空间排布,可测量不同方向的温度变化和热流的大小。该传感器不仅具有同时测量多参量数据的能力还具有抗电磁干扰、灵敏度高、结构紧凑等优点。
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公开(公告)号:CN117451215A
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202311345746.1
申请日:2023-10-18
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供了一种基于光纤光栅的热流传感器,包括套接在四孔结构耐高温套管中呈三棱锥排布的四根光纤和采用刻写有耐高温的四个光纤光栅,光纤光栅(Ⅰ)位于三棱锥顶点的光纤上且距该光纤末端距离为≤1cm,其余位置的的光纤光栅距其所在的光纤的末端距离>1cm。本发明提出一种基于光纤光栅敏感结构的热流传感器,该传感器具有耐高温、灵敏度高、结构紧凑和抗电磁干扰等优点,且其特殊的设计结构可以有效实现空间场热流大小及方向的测量,满足航空发动机等高温复杂环境场的热流测量需求。此外本发明还提供了一套热流测试系统,装配了如上所述的热流传感器。
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公开(公告)号:CN116105899B
公开(公告)日:2025-03-14
申请号:CN202211729665.7
申请日:2022-12-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种基于一体式丝网印刷的高灵敏度离电式柔性压力传感器及其制备方法,其是分别在顶层柔性基底和底层柔性基底上采用丝网印刷的方式依次印刷电极层和敏感层,然后采用双面胶带作为间隔层进行黏附以形成对称的三明治结构。本发明利用一体式丝网印刷的大规模制备方式制备柔性压力传感器,利用特有的参杂方式以适应不同材料的丝网印刷要求,通过印刷阵列的方式满足测量压力分布的需求,采用柔性基底的方式实现传感器柔韧性的要求,最终结合电学信号测量的方式实现压力信息的数字化、可视化,可以大大加快柔性压力传感器的制备效率,且有效提升柔性压力传感器的一致性的问题。
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公开(公告)号:CN119469423A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202510040220.5
申请日:2025-01-10
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提出了一种用于辐射高温测定的同轴温度传感器及其制备方法,包括敏感芯体和封装管壳,敏感芯体包括钨铼丝基底、绝缘薄膜层和正极薄膜层,绝缘薄膜层通过浸渍提拉法在钨铼丝基底上形成梯度结构,梯度结构包括至少一层较大孔隙率的底层绝缘层和至少两层致密的上层绝缘层,钨铼丝基底与正极薄膜层分别连接有金属丝,敏感芯体与金属丝连接后固定于封装管壳内。本发明的同轴温度传感器通过检测高温物体发出的热辐射能来确定物体的温度,具有抗电磁干扰、不干扰流场、灵敏度高、尺寸小、结构精巧紧凑等优点。
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