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公开(公告)号：CN103231516A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310156513.7
申请日：2013-04-28
Applicant: 厦门大学
IPC: B29C67/00
Abstract: 一种带环形电极电液动力耦合自适应喷头，涉及电液动力耦合喷印装置。提供可对射流进行稳定性控制、提高喷头喷印精度、集成度高的一种带环形电极电液动力耦合自适应喷头。设有喷头外壳、针管、绝缘罩、内腔套、电场集中罩、环形电极、环形电极控制器、高压直流电源和脉冲电源；喷头外壳设有进液通孔、环形电极导线接口、电源导线接口；针管设于所述进液通孔中，针管外接供液装置；绝缘罩设于喷头外壳下端，绝缘罩设有喷流出口，喷流出口位于针管喷口正下方；内腔套设于绝缘罩内；电场集中罩设于喷头外壳的进液通孔和喷头外壳内底壁上；环形电极设有和间隔均布的电极瓣。
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公开(公告)号：CN103224219A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310112265.6
申请日：2013-04-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种用于微器件圆片级封装的纳米吸气剂集成方法，涉及一种吸气剂的集成方法。在硅/玻璃键合组合片上加工下沉槽和可动结构；在硅片正面加工定向碳纳米管结构；在玻璃片正面图案化印刷玻璃浆料结构，将硅片与玻璃片正面相对置于键合机内，加热到令玻璃浆料结构软化的烧结温度，控制硅片与玻璃片之间距离，使定向碳纳米管结构的上端部分与玻璃浆料结构接触，冷却后分离硅片与玻璃片，实现定向碳纳米管结构粘贴至玻璃片上；在定向碳纳米管结构上沉积吸气剂薄膜，得吸气剂结构；将硅/玻璃键合组合片与玻璃片置于键合机内对准，使定向碳纳米管结构置于下沉槽内，真空下将硅/玻璃键合组合片与玻璃片键合在一起，形成具有真空度的MEMS器件。
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公开(公告)号：CN103219915A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310156552.7
申请日：2013-04-28
Applicant: 厦门大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 基于离子聚合物金属复合物的有限转角装置，涉及一种转轴转角装置。提供结构简单、能量利用效率高、噪声小、空间利用率高的一种基于离子聚合物金属复合物的有限转角装置。设有电源控制器、驱动器、电极、限位件、转轴和转轴支撑体；电源控制器通过导线与电极连接，电极固于转轴支撑体上，驱动器与电极连接，限位件下端与驱动器间隙配合，限位件上端与转轴连接，转轴与转轴支撑体转动配合；所述驱动器为离子聚合物金属复合物驱动器。所述离子聚合物金属复合物是由离子交换树脂与贵金属电极组成的复合材料，可以通过化学镀的方法获得。
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公开(公告)号：CN103193197A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310112200.1
申请日：2013-04-02
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法，涉及一种微机电系统传感器与制动器。提供一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法。1）将玻璃片与硅片键合在一起，形成硅/玻璃组合片以及中间的牺牲氧化层；2）将步骤1）得到的硅/玻璃组合片的硅片减薄并抛光；3）在减薄后的硅片上刻蚀出可动结构；4）将硅/玻璃组合片置于氢氟酸溶液中，腐蚀可动结构底部的牺牲氧化层，使刻蚀结构与玻璃片分离，得到基于硅/玻璃阳极键合的可动结构。制备的硅层厚度均匀性更高；工艺更为简单、成本低廉，是一种有应用前景的MEMS可动结构制备工艺。
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公开(公告)号：CN103147138A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310074204.5
申请日：2013-03-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种借助双层气体加强聚焦功能的电纺直写喷印装置，涉及电纺直写喷印装置。设喷头装置、供气装置、溶液槽、供液装置、高压电源和收集板；喷头装置设外层气体喷嘴、内层气体喷嘴和液体喷嘴，3个喷嘴均设同轴中心通孔，液体喷嘴设于内层气体喷嘴的中心通孔中，内层气体喷嘴设于外层气体喷嘴的中心通孔中，外层气体喷嘴设进气口，内层气体喷嘴设进气口，液体喷嘴设进液孔，内层气体喷嘴的进气口与供气装置相连，外层气体喷嘴的进气口与供气装置相连，溶液槽设于供液装置上，溶液槽经供液管与液体喷嘴连通，高压电源正极接液体喷嘴的进液孔，高压电源负极接收集板，收集板位于喷头装置正下方。可加强约束射流、维持射流喷射稳定性，改善聚焦效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102978719A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210564303.7
申请日：2012-12-21
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 一种真空电纺装置，涉及一种纺丝装置。提供一种可控的电纺直写装置，特别是一种远距离直写微纳米纤维/纤维膜的真空电纺装置。设有真空腔、喷头、收集板、供液导管、供液装置、高压电源、真空泵、导气管、气压表、升降机构、XYZ三维运动平台和控制器；所述XYZ三维运动平台、喷头、收集板置于真空腔内部，喷头装于XYZ三维运动平台的Z轴支架上；收集板置于XYZ三维运动平台的XY水平运动平台上；高压电源正极与喷头相接，负极与收集板相接并接地；控制器分别与高压电源、XYZ三维运动平台、真空泵和气压表相连接。
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公开(公告)号：CN102191573B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201110131494.3
申请日：2011-05-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种量产纳米纤维电纺装置，涉及一种纺丝装置。提供一种可克服现有批量电纺技术存在的喷射电压阈值高、针管易堵塞、溶液难以回收、不易清理等缺点的量产纳米纤维电纺装置。设有收集板、溶液槽、直流高压电源、驱动装置和导液耙；收集板设于溶液槽上方，溶液槽内设有导电层，驱动装置设有电机和机械传动机构，电机输出轴与机械传动机构动力输入端连接，机械传动机构动力输出端与导液耙联动连接，直流高压电源的正极与溶液槽内的导电层电连接，直流高压电源的负极与收集板电连接并接地。
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公开(公告)号：CN102206878B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201110137806.1
申请日：2011-05-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种电纺纳米纤维三维可控结构装置，涉及一种纳米纤维电纺装置。设有直流高压电源、流量控制器、纺丝喷头阵列、喷头阵列支撑板、导轨、探针阵列、探针阵列基板、控制器和辅助直流高压电源；直流高压电源正极与纺丝喷头阵列电相连，直流高压电源负极与辅助直流高压电源负极电连接并接地，流量控制器通过输流管与纺丝喷头阵列的各喷头连通，纺丝喷头阵列设于喷头阵列支撑板上，喷头阵列支撑板与导轨活动配合，探针阵列设于探针阵列基板上，探针阵列位于纺丝喷头阵列下方，控制器控制信号输出端分别与探针阵列的各探针电连接，辅助直流高压电源输出端接控制器电源输入端。无需模具，生产效率高，可自由调节纳米纤维外部形状及内部孔隙率和孔径。
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公开(公告)号：CN101844406B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201010160736.7
申请日：2010-04-23
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种微纳米多孔结构制造装置及制造方法，涉及一种微纳米多孔结构。设有电纺丝溶液储存管、注射泵、输液管、电纺丝喷头、装置支架、上下旋转电机、加热器、收集带、骨架溶液槽、升降平台。收集带缠绕于上下旋转电机转动轴之间，电纺丝喷头位于上旋转电机上方，升降台位于装置支架底座，骨架溶液正好接触收集带最低处。制备时随着收集带的转动，电纺丝纳米纤维可以收集带表面均匀沉积，骨架溶液在收集带表面形成涂层，获得纳米纤维膜与溶液涂层交替的多层膜状结构。将多层膜状结构从收集带上取下，对多层结构边缘进行裁剪去除部分骨架溶液涂层出现纳米纤维膜，再浸泡于选择性溶解液中去除纳米纤维膜，加热形成多孔结构，孔径100～800nm。
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公开(公告)号：CN102530844A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210025120.8
申请日：2012-02-03
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种微器件的真空封装方法，涉及一种微器件的封装方法。采用微加工工艺在下硅片上加工硅岛、可动结构及附属金属电极和引线；采用湿法腐蚀法在上硅片正面加工出梯形通孔，在上硅片背面加工出微流道；采用硅-玻璃阳极键合技术将上硅片与玻璃盖板键合在一起；采用玻璃浆料键合技术实现下硅片与上硅片的键合；将键合后的圆片置于真空键合机中，通过微流道将腔体内气体抽走，激光局部加热技术使玻璃盖板的局部熔化，融化后的玻璃将微流道密封起来，最终实现MEMS器件的晶圆级真空封装。
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