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公开(公告)号：CN102530844A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210025120.8
申请日：2012-02-03
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种微器件的真空封装方法，涉及一种微器件的封装方法。采用微加工工艺在下硅片上加工硅岛、可动结构及附属金属电极和引线；采用湿法腐蚀法在上硅片正面加工出梯形通孔，在上硅片背面加工出微流道；采用硅-玻璃阳极键合技术将上硅片与玻璃盖板键合在一起；采用玻璃浆料键合技术实现下硅片与上硅片的键合；将键合后的圆片置于真空键合机中，通过微流道将腔体内气体抽走，激光局部加热技术使玻璃盖板的局部熔化，融化后的玻璃将微流道密封起来，最终实现MEMS器件的晶圆级真空封装。
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公开(公告)号：CN102642808B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201210145546.7
申请日：2012-05-11
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法，涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片；采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片外表面金属结构；采用机械磨削法去除覆盖硅/第1玻璃组合片外表面金属结构靠近硅片一侧表面的金属，采用化学机械抛光法抛光裸露的硅片表面，加工后硅/第1玻璃组合片的第1玻璃片表面及侧壁覆盖有金属；将硅/第1玻璃组合片以及第2玻璃片置于键合机中，硅/第1玻璃组合片覆盖金属的第1玻璃片一侧连接键合机正极，正电压通过金属电极连接至硅片，第2玻璃片连接键合机负极，采用阳极键合加工得产物。
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公开(公告)号：CN102530844B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201210025120.8
申请日：2012-02-03
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种微器件的真空封装方法，涉及一种微器件的封装方法。采用微加工工艺在下硅片上加工硅岛、可动结构及附属金属电极和引线；采用湿法腐蚀法在上硅片正面加工出梯形通孔，在上硅片背面加工出微流道；采用硅-玻璃阳极键合技术将上硅片与玻璃盖板键合在一起；采用玻璃浆料键合技术实现下硅片与上硅片的键合；将键合后的圆片置于真空键合机中，通过微流道将腔体内气体抽走，激光局部加热技术使玻璃盖板的局部熔化，融化后的玻璃将微流道密封起来，最终实现MEMS器件的晶圆级真空封装。
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公开(公告)号：CN102642808A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210145546.7
申请日：2012-05-11
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法，涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片；采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片外表面金属结构；采用机械磨削法去除覆盖硅/第1玻璃组合片外表面金属结构靠近硅片一侧表面的金属，采用化学机械抛光法抛光裸露的硅片表面，加工后硅/第1玻璃组合片的第1玻璃片表面及侧壁覆盖有金属；将硅/第1玻璃组合片以及第2玻璃片置于键合机中，硅/第1玻璃组合片覆盖金属的第1玻璃片一侧连接键合机正极，正电压通过金属电极连接至硅片，第2玻璃片连接键合机负极，采用阳极键合加工得产物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN202447780U
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201220031308.9
申请日：2012-01-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种电烙铁智能调温断电保护装置，涉及一种电烙铁。设有控制模块、传感器、显示模块、蜂鸣器、开关按钮和功率及温度控制模块；所述传感器的输出端接控制模块的输入端，开关按钮与控制模块连接，控制模块的输出端分别与显示模块的输入端、蜂鸣器的输入端和功率及温度控制模块输入端连接，功率及温度控制模块输出端外接电烙铁。由于使用本实用新型的电烙铁是依靠加速度传感器检测运动状态来实现快速增温和调温的功能，因此具有迅速预热、成本低廉、可恒温控制、断电提醒、自动断电节约能源、操作简便以及使用安全等突出优点，适合大范围推广使用。
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公开(公告)号：CN202438760U
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201220031307.4
申请日：2012-01-31
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K3/03
Abstract: 一种基于智能调温断电保护的电烙铁座，涉及一种电烙铁座。设有座体、电烙铁架、压力传递机构、显示模块、传感器、蜂鸣器、控制模块、电源控制模块、开关及按钮、电烙铁电源插口座和锡盘；所述电烙铁架、显示模块、蜂鸣器、开关及按钮、电烙铁电源插口座和锡盘设于座体上；所述压力传递机构、传感器、控制模块和电源控制模块设于座体内；所述压力传递机构设于电烙铁架下方，传感器与压力传递机构连接，传感器和开关及按钮的输出端与控制模块的输入端口连接；电源控制模块的输出端口与电烙铁电源插口座连接，电烙铁电源插口座外接电烙铁加热丝。
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公开(公告)号：CN202187098U
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201120258436.2
申请日：2011-07-20
Applicant: 厦门大学
Abstract: 可旋转式静电纺丝喷头，涉及一种静电纺丝喷头。提供一种可克服静电纺丝带电射流无序不规则运动，实现缠绕式高强度纳米纤维束制备的可旋转式静电纺丝喷头。设有喷头管体，在喷头管体管口内设有筒塞，在喷头管体的管口外壁套有绝缘环，绝缘环外套有第1齿轮，所述第1齿轮与动力元件主动轴上所套设的第2齿轮组成齿轮传动机构，所述动力元件可采用电动机或其它可提供旋转运动的动力元件，在喷头管体的底面设有至少2个喷嘴，所述筒塞上设有进液口，所述绝缘环与喷头管体的管口外壁紧配合。
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公开(公告)号：CN202090111U
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201120165486.6
申请日：2011-05-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种连续供液的近场静电纺丝装置，涉及一种纺丝装置。提供一种在实现单根纳米纤维有序可控沉积的同时，可提高纺丝溶液供给的精确性和纳米纤维直径均匀性的连续供液的近场静电纺丝装置。设有步进电机、转轴丝杆、滑块、导轨、推杆、活塞、储液缸、实芯探针、探针固定装置、螺母、收集板和高压电源。所述步进电机与转轴丝杆经联轴器连接，所述滑块与转轴丝杆间隙配合并在导轨上滑动，所述推杆一端固定在滑块上，推杆另一端与活塞固接，探针固定装置固定在储液缸的底部，实芯探针一端与探针固定装置相连，实芯探针另一端伸出设于储液缸底部的喷嘴，探针固定装置与储液缸连接，收集板接地并与高压电源负极电连接，高压电源正极与螺母所在电极相连。
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