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公开(公告)号：CN202572123U
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201220224588.5
申请日：2012-05-18
Applicant: 厦门大学
Inventor： 王凌云 , 席凯伦 , 杨争雄 , 左文佳 , 孙道恒
IPC: B24B37/27
Abstract: 一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，涉及一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备。提供一种可在同一工作台上进行晶圆加热、粘装、测量、调节，可实现粘片过程一体化，在简化操作的同时，可保证粘片精度的用于研磨抛光的晶圆粘片机。设有气缸、3个调节螺杆、压盘轴、3个数显千分表、压盘、晶圆、气缸活塞杆、基板、施力盘、压盘盖、载样盘、圆形加热平台和钢球。
