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公开(公告)号：CN102162756A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201010611298.1
申请日：2010-12-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种全对称硅微谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提供可解决上下平板驱动结构中驱动力的非线性问题，以及驱动力与压力敏感膜片间的耦合问题，基于侧向驱动的一种全对称硅微谐振式压力传感器。设有谐振结构、棱台形硅岛、正方形硅压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；硅边框内部与正方形压力敏感膜片连为一体，在正方形硅压力敏感膜片的对角线上对称设有4个棱台形硅岛，所述4个棱台形硅岛的四边与所述正方形硅压力敏感膜片的四边平行，4个棱台形硅岛通过与之相连的4根支撑梁将谐振结构平行悬置于正方形硅压力敏感膜片上方；设于硅边框上表面的4根对角线上的4个引线电极通过4根柔性梁与谐振结构连接，实现谐振结构与外界的电气连接。
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公开(公告)号：CN102494813A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110394692.9
申请日：2011-12-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器，涉及一种传感器。设谐振子、矩形硅岛、矩形压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；谐振子设有支撑梁、耦合梁、可动梳齿激励电极、可动梳齿检测电极、固定梳齿激励电极、固定梳齿检测电极和振动质量块，矩形压力敏感膜片固定在硅边框内部，矩形硅岛设在矩形压力敏感膜片受力偏转角度最大的位置，矩形硅岛通过支撑梁将谐振子悬置于矩形压力敏感膜片表面，支撑梁与矩形硅岛相连；引线电极通过柔性梁与谐振子连接；支撑梁设在谐振子四角，振动质量块与矩形硅岛相连，设于谐振子中间的机械耦合梁用于连接振动质量块，振动质量块和耦合梁都处于悬置状态，振动质量块上设有孔；下层玻璃设于硅边框底部。
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公开(公告)号：CN102162756B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201010611298.1
申请日：2010-12-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种全对称硅微谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提供可解决上下平板驱动结构中驱动力的非线性问题，以及驱动力与压力敏感膜片间的耦合问题，基于侧向驱动的一种全对称硅微谐振式压力传感器。设有谐振结构、棱台形硅岛、正方形硅压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；硅边框内部与正方形压力敏感膜片连为一体，在正方形硅压力敏感膜片的对角线上对称设有4个棱台形硅岛，所述4个棱台形硅岛的四边与所述正方形硅压力敏感膜片的四边平行，4个棱台形硅岛通过与之相连的4根支撑梁将谐振结构平行悬置于正方形硅压力敏感膜片上方；设于硅边框上表面的4根对角线上的4个引线电极通过4根柔性梁与谐振结构连接，实现谐振结构与外界的电气连接。
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公开(公告)号：CN202090111U
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201120165486.6
申请日：2011-05-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种连续供液的近场静电纺丝装置，涉及一种纺丝装置。提供一种在实现单根纳米纤维有序可控沉积的同时，可提高纺丝溶液供给的精确性和纳米纤维直径均匀性的连续供液的近场静电纺丝装置。设有步进电机、转轴丝杆、滑块、导轨、推杆、活塞、储液缸、实芯探针、探针固定装置、螺母、收集板和高压电源。所述步进电机与转轴丝杆经联轴器连接，所述滑块与转轴丝杆间隙配合并在导轨上滑动，所述推杆一端固定在滑块上，推杆另一端与活塞固接，探针固定装置固定在储液缸的底部，实芯探针一端与探针固定装置相连，实芯探针另一端伸出设于储液缸底部的喷嘴，探针固定装置与储液缸连接，收集板接地并与高压电源负极电连接，高压电源正极与螺母所在电极相连。
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