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公开(公告)号：CN105044117A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510500067.6
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于平板表面质量的检测方法与系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本发明将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测平板表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的运动获得待测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号：CN105043303A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510500204.6
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN104020562A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410213345.5
申请日：2014-05-20
Applicant: 华侨大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开一种基于数字微镜器件的光束角度调制装置及方法，包括光源、DMD及DMD控制器；光源发出的光束照射到DMD上，利用DMD控制器控制所述DMD的微镜阵列偏转，从而对光源光束的角度进行调制，使经过所述DMD反射后的光束投射在被测物面时呈现所需要的角度，实现对光束角度的调整。本发明利用DMD偏转微镜的参数可决定光束照射在被测物面上的角度的特点，利用DMD控制器控制DMD的微镜阵列偏转，实现对照射在被测物表面的光束的角度矫正。将本发明应用于光学系统测量中，无需对测量系统硬件做任何变动，仅通过软件编程实现对光源的控制，可根据需要准确地控制光源光束的角度，从而达到角度调整的要求。
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公开(公告)号：CN103486980A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310378749.5
申请日：2013-08-28
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种基于数字微镜器件的跨尺度测量方法，激光光源发出的光束经准直镜准直后，以大于0°且小于90°的入射角照射在DMD表面，利用DMD的控制系统将此光束调制成所需参数特征的结构光，此结构光由DMD的出射方向射出，先经过第一凸透镜进行聚光，再由分光镜转向90°至第二凸透镜进行聚光，照射在被测物表面，经被测物表面反射后，再依次通过第二凸透镜、分光镜和第三凸透镜，最后被CCD相机接收，通过CCD相机将光信号转成电信号，完成对被测物表面的测量。本发明利用DMD构建不同参数特征的结构光，并将其应用于材料表面形貌测量，可根据测量需要，方便、快捷、准确地控制由DMD反射后的光源的参数及其扫描方式，从而完成不同尺度的表面形貌测量要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN214200005U
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202120191637.9
申请日：2021-01-22
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。
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公开(公告)号：CN209881675U
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201920764235.6
申请日：2019-05-24
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种单激励源双向作动的直线超声电机，它包括动子、定子及弹性顶抵机构，弹性顶抵机构与定子连接并能使该定子与该动子顶抵接触，定子包括固定连接在一起的前盖板、后盖板和位于前盖板和后盖板之间的压电陶瓷片，定子的中心轴线与动子的运动方向形成一锐角的倾斜角度关系，前盖板上在沿与定子的中心轴线成一锐角的方向上设有排列圆孔。它具有如下优点：加工工艺简单，只需用一组压电陶瓷片和单激励源，即可完成电机的双向作动，简化了超声电机的驱动控制电路。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209512777U
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201920424850.2
申请日：2019-03-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本实用新型提供一种基于分离式光栅的测量装置，包括控制模块、基座、平面移动平台、光栅刚体以及光栅读数头和测头，所述光栅刚体上开设有穿孔，所述测头与所述光栅刚体的栅面位于同一平面，所述光栅刚体上设置有两组以上的栅线组，所述栅线组包括多条相互平行且等间距依次排列的栅线，所述光栅读数头的数量与所述栅线组的数量相同，各所述光栅读数头与各所述栅线组一一对应布置，且所述测头与所述光栅读数头之间的连线和与该光栅读数头对应的所述栅线组中的所述栅线垂直布置。本实用新型实现了零阿贝误差设计，对导向元件的精度要求相对较低，成本也相对较低；同时，环境适应性较强，适用范围相对较广。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN202388489U
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201120501883.6
申请日：2011-12-06
Applicant: 华侨大学
IPC: B25H1/14
Abstract: 本实用新型提出一种新型位移工作台，包括传动连接在一起的工作台和传动机构；上述传动机构包括传动连接在一起的宏传动机构和微传动机构。采用上述技术方案后，本实用新型的新型位移工作台，工作台与宏传动机构和微传动机构传动连接，宏传动机构可对工作台进行高速、低精度的大行程位移传动，微传动机构可对工作台进行平稳、高精度的小行程位移传动，与现有技术相比，本实用新型的新型位移工作台，结构简单合理，突破传统位移工作台的构造形式，将宏观和微观的位移传动机构有机结合，既具有宏观快速的粗调节，又具有微观平稳的精调节，适用范围广，方便实用。
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