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公开(公告)号：CN117888084A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410198961.1
申请日：2024-02-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本申请涉及一种原子层沉积晶圆承载装置和半导体制造设备。原子层沉积晶圆承载装置包括承载件，一侧具有承载面，多组限位组件，可拆卸地设于承载面上，每组限位组件能够形成一对晶圆的外周进行限位的限位空间，各组限位组件形成的限位空间的径向尺寸不同；顶升机构，包括多根顶升杆，承载件还具有多个贯穿的通孔，每一顶升杆的一端能够穿设对应一通孔；顶升机构能够驱使多根顶升杆相对承载件作顶升运动，在顶升运动过程中包括顶升位置和下落位置，当处于顶升位置时，多根顶升杆凸伸于承载面以承载晶圆，当处于下落位置时，多根顶升杆缩回至承载面以下，以将晶圆放置在对应的限位空间内，如此，能够满足不同场景下的异种型号的晶圆的加工。
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公开(公告)号：CN113466101B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202110706803.9
申请日：2021-06-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N15/08
Abstract: 本发明涉及一种渗透率检测设备与检测方法。渗透率检测设备包括：进气腔体；渗透腔体，多组渗透腔体均与进气腔体连接，渗透腔体与进气腔体间设有进气阀门，进气阀门打开时，进气腔体与对应的渗透腔体连通，渗透腔体内设有第一样品安装区；检测腔体，多组渗透腔体均与检测腔体连接，渗透腔体与检测腔体间设有积累阀门，积累阀门打开时，检测腔体与对应的渗透腔体连通；质谱仪，质谱仪与检测腔体连通。该设备可以对高阻隔率薄膜的渗透率进行检测，能加深对于薄膜渗透性能的了解，有利于后续对于高阻隔率薄膜的研究。
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公开(公告)号：CN115524272A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202110714639.6
申请日：2021-06-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种水氧渗透率测量方法、装置、设备及介质，用于基于数值模拟与粒子群算法测量待测薄膜的水氧渗透率数值。所述方法包括：获取质谱仪检测的实时监测数据；根据所述待测薄膜的种类确定对应的物理模型；基于所述物理模型采用数值模拟算法对所述实时检测数据进行预处理，以获取相关参数的预估值及训练样本；根据所述相关参数获取参数样本空间的范围，并根据所述训练样本及所述物理模型获取测试样本，并根据所述参数样本空间的范围、所述训练样本及所述测试样本采用粒子群算法进行参数拟合，以获取所述待测薄膜的不同时间的水氧渗透率数值。
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公开(公告)号：CN115524271A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202110714636.2
申请日：2021-06-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N15/08
Abstract: 本发明公开了一种薄膜的气体渗透率测量方法、装置、设备及介质，所述方法包括：获取温度传感器检测的温度数据及气压传感器检测的气压数据，所述温度传感器及所述气压传感器位于与所述积累室连通的检测室内；基于高斯过程回归算法对所述气压数据进行回归处理，以获取预测气压数据；根据所述预测气压数据，控制阀门开关时间，以使得所述气压数据位于预设气压范围内；基于所述阀门开关时间及渗透率计算公式，获取待测薄膜的气体渗透率测量值，所述阀门位于所述积累室与所述检测室之间。使用本申请中的薄膜的气体渗透率测量方法，能有效减小仪器检测误差，提高检测信号的准确性。
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公开(公告)号：CN113737156A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110814242.4
申请日：2021-07-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积装置与方法。原子层沉积装置包括：承载组件，承载组件包括用于容纳待包覆粉末的反应腔体；第一喷头，第一喷头位于反应腔体的下方，第一喷头包括多个沿第一方向排布的下喷入通道，以及设置于相邻的下喷入通道之间的下排出通道，下喷入通道用于朝反应腔体喷射气体，下排出通道用于排出反应腔体内的多余气体；气源组件，气源组件与第一喷头连接，气源组件用于向各个下喷入通道供应气体，沿第一方向，相邻的下喷入通道中，其中一个通入的气体为载气；驱动组件，驱动组件用于驱动待包覆粉末沿第一方向运动。该原子层沉积装置可以提高沉积效率，缩短沉积所需的时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112774665A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110129828.7
申请日：2021-01-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于莫来石型催化剂领域，具体涉及一种提高氨气选择性的莫来石型催化剂及制备方法和应用。本发明制备方法包括以下步骤：(1)测定莫来石的吸水率，按照吸水率以及负载量配制改性剂溶液，将莫来石浸渍在改性剂溶液中获得中间体；(2)将中间体干燥后焙烧，获得莫来石型催化剂，所述改性剂为Al2O3、TiO2、ZrO2和Nb2O5中的一种。本发明结合了密度泛函的理论计算方法，表明莫来石上氨气选择性氧化中生成N2的主反应，以及生成N2O副反应的势垒差别，并通过改性剂提高莫来石对N的电子对吸引进而提高NH的吸附强度和数量以降低生成N2主反应势垒，提高莫来石的N2选择性，能够在180℃前达到90％的转化率并具备大于70％的N2选择性。
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公开(公告)号：CN110212108B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910416227.7
申请日：2019-05-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于薄膜封装技术领域，并公开了一种柔性显示器的封装方法及产品。所述封装方法包括：S1将置于柔性基底上的器件置于等离子体增强原子层沉积设备的腔体中对器件的表面进行等离子活化处理；S2向所述腔体中交替循环通入多种前驱体,生成底层薄膜；S3在所述底层薄膜上溅射一层金属膜；S4将所述器件转移至等离子体增强原子层沉积设备的腔体中，重复步骤S2，以生成顶层无机薄膜；S5重复步骤S2，以生成多个呈阵列排布的柱状原子层沉积薄膜阵列，完成所述器件的致密包覆和封装。本发明还公开了相应的封装结构。本发明能够对柔性器件表面进行有效的薄膜封装，既能防止柔性聚合物基底在高温下分解，又能最大程度防止水汽和氧气的侵蚀。
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公开(公告)号：CN110039766B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910349350.1
申请日：2019-04-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/118 , B29C64/209 , B29C64/321 , B29C64/295 , B33Y30/00 , B33Y40/00
Abstract: 本发明属于熔融沉积成型3D打印技术领域，并具体公开了一种熔融沉积成型3D打印机的混粉进料喷头装置。所述装置包括送粉模块、混粉模块、加热模块以及挤出模块，送粉模块包括气泵、气流管、粉料筒、气流阀和粉料支路软管，混粉模块包括混粉管和搅拌风扇，加热模块包括加热片和测温元件；挤出模块包括设于所述混粉管内的步进电机、联轴器、变芯径螺杆以及设于所述混粉管底部的喷嘴，变芯径螺杆用于将加热片熔融的混合粉料挤压至所述喷嘴处进行打印。本发明可有效解决现有技术中多喷头打印装置的繁重复杂、难以实现高精细材料梯度成型件打印的问题，同时还具备装置结构简单、只需要单个喷头即可实现多功能复合梯度材料的高精细梯度打印。
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公开(公告)号：CN110931713A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911292224.3
申请日：2019-12-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01M4/1391 , H01M4/04 , H01M4/131
Abstract: 本发明属于锂离子电池领域，并具体公开了一种锂离子电池正极及其制备方法，包括如下步骤：S1将待修饰粉体装入反应腔体内，并使反应腔体处于真空状态，然后转动反应腔体并对其进行加热，使待修饰粉体均匀分布在反应腔体内；S2向反应腔体内交替通入前驱体和吹扫气体，前驱体与待修饰粉体反应，使待修饰粉体表面形成一层氧化物薄膜；S3重复S2若干次，使待修饰粉体表面形成若干层氧化物薄膜，完成粉体修饰；S4将修饰后的粉体调配成浆料涂覆在金属片上，并真空干燥，完成锂离子电池正极制备。本发明通过在锂离子电池正极材料粉末表面沉积氧化物膜，提高锂离子电池正极在充电和放电过程中的稳定性，增加锂离子电池的使用寿命。
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公开(公告)号：CN110773150A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911020816.X
申请日：2019-10-25
Applicant: 华中科技大学 , 无锡威孚环保催化剂有限公司
Abstract: 本发明涉及一种复合氧化物及其制备与作为碳颗粒燃烧催化剂的应用，属于碳颗粒燃烧的催化剂技术领域。该复合氧化物的化学通式为xAB2O4-(1-x)A’B2O5，其中，A为碱金属元素或碱土金属元素，A′为稀土金属元素，B为第一过渡系金属元素，x的取值范围为0
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